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infotek 2025-02-19 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             tPa( H;  
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%K+hG=3O  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             <ne?;P1L  
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仿真任务                                                                             q:nUn?zB  
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连接建模技术:倾斜光栅 u$CN$ynS  
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                                                                     7Vk9{x$z  
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可用的微结构建模技术: C =CZtjUt  
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                                                                                 s$zm)y5  
光栅阶数分析仪 rg ; 4INs#  
Z t4q= Lr  
MLlvsa0  
e$teh` p3  
参数变化分析仪                                                                             33KCO  
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                                                                             bHcBjk.\  
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参数优化                                                                             #6 ni~d&0  
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                   RT3(utwO  
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优化结果-平均效率 Nmd{C(^o  
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                                                   }A]e C  
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优化结果-对比度 K2e68GU  
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