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infotek 2025-02-19 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             SA@MJ>Z  
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T 7`9[  
"X4L+]"$g  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             ZS[(r-)$F  
72@lDY4cE  
仿真任务                                                                             PI@/jh  
   A??(}F L  
QB p`r#{I{  
MN1 kR  
连接建模技术:倾斜光栅 <8Y;9N|94!  
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                                                                     /c/t_xB  
<8#Q5   
可用的微结构建模技术: JQ|qg\[  
+mP&B<=H)  
1d)wE4c=Z  
                                                                                 NMq#D$T  
光栅阶数分析仪 J-C3k`%O  
CMI'y(GN  
&<8Q/m]5  
2D|2/ >[  
参数变化分析仪                                                                             M JJ]8:%  
   *K#7,*Oz  
                                                                             Sj?u^L8es}  
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参数优化                                                                             py#`  
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                   ~<b/%l>h1  
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优化结果-平均效率 5)X;q-  
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优化结果-对比度 @j +8M  
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