VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
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主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 'lZ.j& 苏州黉论教育咨询有限公司 //Ai.Q.J[ 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 a ,7&" 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 /+e~E;3bO 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 I^Z8PEc+ 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) -6sW6;Q $<p8TtI=YQ 课程简介 1nPZ<^A&@ 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 o/o:2p. 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 (qwdQMj` 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 _#o'
+_Z !G_jGc=v 课程大纲 zdSh: 第一天 U/;]zdP.K 1. 基本干涉原理 j<"nO( 干涉发生的条件 <5@PWrU?[[ 杨氏双缝特性 `P@- %T 2. 典型的干涉仪系统建模 Tp<k<uKD 光学层析扫描在面型检测中的应用 >5T_g2pkv 基于涡旋光的干涉测量系统 `:M^8SYrL 激光准直镜的测量 TFDm5XJ 基础Mirau干涉仪的仿真 &@ 3m-Z Q&A *R% wUi 第二天 ,)~E>[=+ 1. 干涉系统的应用 6aOp[-Le 光学系统部分相干性测试 {F|48P;J 法布里腔干涉仪分辨光谱 _x1EZ&dh 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) \.e4.[%[2- 全息曝光干涉 H^1gy=kdj 2. 多尺度系统建模仿真 (P6vOo 衍射光栅干涉测量 v[<Bjs\q5 阿贝成像理论 0=v{RQ;W4 单色仪/光谱仪系统仿真 TJ6#P<M 用于微结构晶圆检测的光学系统 ;+pOP |P= 不同轮廓亚波长光栅的成像 ;K:8#XuV 结构光照明显微镜与STED显微镜 LZ*R[ SPR表面等离子共振效应 j?n+>/sG, 3. 摩尔纹系统 2Ohp]G 摩尔纹检测系统 \)m"3yY Q&A 6ew "fCrH!  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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