VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
.iXN~*+g 时间地点 wQ}r/2n|^ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 2hh8G5IaQ 苏州黉论教育咨询有限公司 8bIP"!=*W 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 {o=?@ $6C 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 iI3:<j
l 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 18X@0e 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) } M#e\neii /jbAf ]"F; 课程简介 FFHq':v 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 -d ntV= 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 9d(\/
7 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 6Rc=!_v^ l$42MRi/ 课程大纲 9U8M|W|d 第一天 %y1!'R:ZW 1. 基本干涉原理 d*(aue= 干涉发生的条件 hHs/Qtq 杨氏双缝特性 Q8p6n 2. 典型的干涉仪系统建模 @u~S!(7.Wi 光学层析扫描在面型检测中的应用 04a
^jjc 基于涡旋光的干涉测量系统 F:{*4b 激光准直镜的测量 k+<945kC 基础Mirau干涉仪的仿真 ;b~ S/ Q&A g:
i5%1 第二天 >lI7]hbIs 1. 干涉系统的应用 U|^xr~q!f- 光学系统部分相干性测试 OM*_%UF 法布里腔干涉仪分辨光谱 #c"eff 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) tne_]+ 全息曝光干涉 FDHW'OP4 2. 多尺度系统建模仿真 96=<phcwN[ 衍射光栅干涉测量 mxc)Wm<4 阿贝成像理论 z>x@o}#u\| 单色仪/光谱仪系统仿真 8@3K, [Mo 用于微结构晶圆检测的光学系统 QY\k3hiqn 不同轮廓亚波长光栅的成像 U&?hG> 结构光照明显微镜与STED显微镜 hI[}
- SPR表面等离子共振效应 #&3,T1i` 3. 摩尔纹系统 @[GV0*yz$ 摩尔纹检测系统 h`[$
Bp Q&A /y$Omc^  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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