VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
{ :^;byd 时间地点 IjshxNk 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 v--Qbu 苏州黉论教育咨询有限公司 xOKLc!J 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 ||xiKg 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 <`PW4zSI 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 QsXy(w#F 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) -l:4I6-hi @Rc/^B: 课程简介 ZqONK^ 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 \/wbk`2 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 6k4ZzQ} 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 z(o zMH Ml"i^LR+ 课程大纲 WLO4P 第一天 b6]MJ0do 1. 基本干涉原理 [|5gw3y 干涉发生的条件 k}0Y&cT!rU 杨氏双缝特性 UPE9e
2. 典型的干涉仪系统建模 =x &"aF1 光学层析扫描在面型检测中的应用 6d# 7 基于涡旋光的干涉测量系统 c[E" 激光准直镜的测量 cZb5h 9 基础Mirau干涉仪的仿真 dcn/|"jr Q&A f4mQDRlD 第二天 XCo3pB
Wq~ 1. 干涉系统的应用 5s7C;+ 光学系统部分相干性测试 ;Xr|['\' 法布里腔干涉仪分辨光谱 @5=2+ M 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) [ Q@rW5,- 全息曝光干涉 D#.N)@\ 2. 多尺度系统建模仿真 4#MPD 衍射光栅干涉测量 lihV! 1 阿贝成像理论 *WQl#JAr 单色仪/光谱仪系统仿真 gP13n!7 用于微结构晶圆检测的光学系统 ##\
<mFE 不同轮廓亚波长光栅的成像 U+4W9zhwo 结构光照明显微镜与STED显微镜 qQ{i2D%)?f SPR表面等离子共振效应 m4m,-}KNi 3. 摩尔纹系统 b}-/~l-: 摩尔纹检测系统 xQ]^wT.Q Q&A -50Nd=1  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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