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infotek 2025-02-18 15:22

VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

 K V  
时间地点 2-W y@\  
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 EJQT\c  
苏州黉论教育咨询有限公司 @8+v6z  
授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 ^4'!B +}F  
授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 MZB}O" r  
课程讲师:讯技光电工程师团队成员 7,8TMd1`M  
课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) F%af05L[  
B#35)QI  
课程简介 Li$2 Gpc/  
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 j)Kd'Va  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 WwWCN N~}  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 m6]6 !_  
c@)?V>oe  
课程大纲 wO`G_!W9  
第一天
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1. 基本干涉原理 e=eip?p  
 干涉发生的条件 zA:q/i  
 杨氏双缝特性 x25zk4-  
2. 典型的干涉仪系统建模 *[BtW5 6-  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 G007[|  
 基于涡旋光的干涉测量系统 3(vm'r&5n>  
 激光准直镜的测量 bd% M.,  
 基础Mirau干涉仪的仿真 *!{&n*N  
Q&A x; -D}#  
第二天
KaH e(  
1. 干涉系统的应用 F- u"zox  
 光学系统部分相干性测试 SBf=d<j 1)  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 \Sv|yQUT  
 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) J#t8xL  
 全息曝光干涉 $J,$_O6  
2. 多尺度系统建模仿真 XW@C_@*J  
 衍射光栅干涉测量 /=A@O !l  
 阿贝成像理论 C>mFylN  
 单色仪/光谱仪系统仿真 &0"*.:J9  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 mFxt +\  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 YI> xxWA  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 a" T+CA  
 SPR表面等离子共振效应 ]=I2:Rb  
3. 摩尔纹系统 G"kX#k0S  
 摩尔纹检测系统 [z+YX s!N  
Q&A
3d7A/7S  
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