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infotek 2025-02-18 15:22

VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

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时间地点 c-CYdi@  
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 "x*-PFT  
苏州黉论教育咨询有限公司 I mym+  
授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 j"7 JLe*  
授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 #a9_~\s  
课程讲师:讯技光电工程师团队成员 `M@Ak2gcR+  
课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) +,flE= 5]s  
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课程简介 N$alUx*  
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 q<{NO/Mm  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 "="O >  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 H\G{3.T.9  
0[a}n6X Tk  
课程大纲 CjL<RJR=  
第一天
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1. 基本干涉原理 eD;6okdP  
 干涉发生的条件 XutF"9u  
 杨氏双缝特性 JMyTwj[7  
2. 典型的干涉仪系统建模 RtV.d \  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 %:u[MBe,  
 基于涡旋光的干涉测量系统 FGanxv@15  
 激光准直镜的测量 xJ(:m<z  
 基础Mirau干涉仪的仿真 yTAvF\s$(  
Q&A ffcLuXa  
第二天
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1. 干涉系统的应用 Nhf~PO({&  
 光学系统部分相干性测试 \0*l,i1&  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 N:BL=} V  
 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) TZB+lj1  
 全息曝光干涉 /iM$Tb5  
2. 多尺度系统建模仿真 clDHTj=~  
 衍射光栅干涉测量 UTk r.T+2X  
 阿贝成像理论 >Hwc,j q  
 单色仪/光谱仪系统仿真 a/:XXy |  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 ~1(j&&kXet  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 kU*{4G|6  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 g`,AaWlF  
 SPR表面等离子共振效应 +]!lS7nsW  
3. 摩尔纹系统 Ka-p& Uv1<  
 摩尔纹检测系统 kDsIp=  
Q&A
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