VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
|w<H!lGe!$ 时间地点 K|hjEQRv 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 3 +G$-ru 苏州黉论教育咨询有限公司 rp!oO>F 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 n O\"HLM 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 \b?" b 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 ]);%wy{Ho 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) A|X">,A KmA;HiH%J 课程简介 AK*LyR? 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 8{^WY7.' 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 { +
Zd*)M[ 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 !y@NAa0 8T!+ZQAz 课程大纲 0;AA/ 第一天 "NXB$a!: 1. 基本干涉原理 7|$:=4 干涉发生的条件 -y8`yHb_ 杨氏双缝特性 l0PZ`m+;j 2. 典型的干涉仪系统建模 CsoiyY -2 光学层析扫描在面型检测中的应用 w~"KA6^ 基于涡旋光的干涉测量系统 >aj7||K 激光准直镜的测量 1p/3!1 基础Mirau干涉仪的仿真 DVB{2~7 4 Q&A =F]FP5V 第二天 zxbpEJzpn 1. 干涉系统的应用 W;'!gpa 光学系统部分相干性测试 M42Ssn) 法布里腔干涉仪分辨光谱 Rn9m]x 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) R3;Tk^5A 全息曝光干涉 V-Sd[ 2. 多尺度系统建模仿真 xp}hev^@$ 衍射光栅干涉测量 qB0E_y)a 阿贝成像理论 YW_Q\|p]M 单色仪/光谱仪系统仿真 zMm#Rhn 用于微结构晶圆检测的光学系统 QxVq^H 不同轮廓亚波长光栅的成像 <SgM@0m 结构光照明显微镜与STED显微镜 ktFhc3);! SPR表面等离子共振效应 ;*:]*|bw 3. 摩尔纹系统 |"/8XA 摩尔纹检测系统 :D%"EJ Q&A lOuHVa*}  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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