VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
6GxQ< 时间地点 Sv*@ 3x 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 dQoZhE 苏州黉论教育咨询有限公司 ZS&n,<a5L} 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 \hjGw,d 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 :$bp4+3> 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 _(CuuP$`I 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) x=+R0ny 1E(~x;*) 课程简介 =j)y.x( 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 - nWs@\ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 l!n<.tQW 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 e
~X<+3< 64Ot`=A" 课程大纲 U6hT*126 第一天 )+^1QL 1. 基本干涉原理 b.qp&2 A 干涉发生的条件 :<-,[(@bR 杨氏双缝特性 4T*RJ3Fz! 2. 典型的干涉仪系统建模 RwH<JaL: 光学层析扫描在面型检测中的应用 b&LfL$
基于涡旋光的干涉测量系统 o8 A]vaa 激光准直镜的测量 }yCw|B|a 基础Mirau干涉仪的仿真 -IBf;"8f Q&A /PP\L]( 第二天 sZ,MN F8i 1. 干涉系统的应用 G;:D6\ 光学系统部分相干性测试 %5X}4k!p 法布里腔干涉仪分辨光谱 ~R`Rj*Q2Y 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) dg%Orvuz 全息曝光干涉 &&iZ?JteZ 2. 多尺度系统建模仿真 KFCL|9P 衍射光栅干涉测量 -*[?E!F
阿贝成像理论 K^V*JH\G 单色仪/光谱仪系统仿真 F{1;~Yg% 用于微结构晶圆检测的光学系统 9/lCW 不同轮廓亚波长光栅的成像 RB5fn+FiZ 结构光照明显微镜与STED显微镜 Evz;eobW/ SPR表面等离子共振效应 O<3i6 3. 摩尔纹系统 '4PAH2&n 摩尔纹检测系统 }*!7
Vrep Q&A +ahr-v^R<  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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