VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
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时间地点 lq'MLg 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 Q%T[&A}3B 苏州黉论教育咨询有限公司 or<n[<D-C 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 n5qg6(Tl] 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 dilom#2l 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 ](@HPAG] 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) #Ch*a.tI@ .D8|_B 课程简介 ]Y.GU 7` 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 V$?@
z>7 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 14DHU 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 KkJrh@lk zBjtPtiiI8 课程大纲 iVSN>APe 第一天 ~[@gu,Wb 1. 基本干涉原理 ^Ay>%`hf* 干涉发生的条件 UURYK~$K: 杨氏双缝特性 ?:AD&Dn 2. 典型的干涉仪系统建模 BN>t"9XpW 光学层析扫描在面型检测中的应用 G2y`yg 基于涡旋光的干涉测量系统 $p;<1+! 激光准直镜的测量 '#eY4d<i]n 基础Mirau干涉仪的仿真 &l8eljg Q&A - _?U/k(Hi 第二天 N|5fkx<d^ 1. 干涉系统的应用 [C^&iLX/F* 光学系统部分相干性测试 oniVC', 法布里腔干涉仪分辨光谱 ascY E 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) Q8Fqf
;4 全息曝光干涉 xg;I::hE7X 2. 多尺度系统建模仿真 ZJf:a}=h 衍射光栅干涉测量 ^B?brH} 阿贝成像理论 ;O~k{5.iS 单色仪/光谱仪系统仿真 xf4CM,Z7( 用于微结构晶圆检测的光学系统 IzI2w6a 不同轮廓亚波长光栅的成像 {A`J0ol<B9 结构光照明显微镜与STED显微镜 V'^E'[Dd{ SPR表面等离子共振效应 Liv.i;-qE 3. 摩尔纹系统 E=#
O|[= 摩尔纹检测系统 vq` M]1]FO Q&A J?%e cCN  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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