VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
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0\r 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 DFWO5Y_ 苏州黉论教育咨询有限公司 (o IGp 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 0D 2I)E72o 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 9o5D3
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K 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 -!_8>r;Q4 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) w -o#=R_ f%.Ngf9 课程简介 xrvM}Il 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 ?110} [jw 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 $O*@Jg= 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 s*la`(x 0c`zg7| 课程大纲 J6s]vV q" 第一天 ~x8nC%qPvq 1. 基本干涉原理 1b1Ab
zN 干涉发生的条件 =W3
K6w 杨氏双缝特性 <9ucpV 2. 典型的干涉仪系统建模 {>1FZsR49t 光学层析扫描在面型检测中的应用 ?< b{ 基于涡旋光的干涉测量系统 O_1[KiZ 激光准直镜的测量 ,9bnR;f\ 基础Mirau干涉仪的仿真 FiiDmhu Q&A HQm_ K0$ 第二天 SdYf^@%}F 1. 干涉系统的应用 Cty#|6k 光学系统部分相干性测试 Tp;W4]'a*: 法布里腔干涉仪分辨光谱 A_9^S! 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) D`WRy}o 全息曝光干涉 <r:AJ; 2. 多尺度系统建模仿真 *"w hup[ 衍射光栅干涉测量 u5A?; a 阿贝成像理论 =|P
&G~] 单色仪/光谱仪系统仿真 ;B=aK"\ 用于微结构晶圆检测的光学系统 ffmtTJFC5 不同轮廓亚波长光栅的成像 KCTX2eNN&h 结构光照明显微镜与STED显微镜 yV8J-YdsG SPR表面等离子共振效应 RN(I}]] a 3. 摩尔纹系统 aq$ hE-{28 摩尔纹检测系统 _F%`7j Q&A uTR^K=Ve  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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