VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
k}r)I.Lp 时间地点 Z5%T pAu[ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 -y5Zc?e 苏州黉论教育咨询有限公司 Zk#?.z} 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 |y~un9j+ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 H]JVv8 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 5*31nMP\ 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 6K
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~ &6}] v: 课程简介 .7Lv 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 jYi{[** 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 %V&I${z 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 TDnbX_xC< <<:a>)6\ 课程大纲 [H8QxJk 第一天 {po f=G 1. 基本干涉原理 6ISDY>p 干涉发生的条件 b/dyH 杨氏双缝特性 ;UB$Uqs6 2. 典型的干涉仪系统建模 ?=X_a{}/ 光学层析扫描在面型检测中的应用 Vn1hr;i] 基于涡旋光的干涉测量系统 )TFBb\f>v 激光准直镜的测量 "-;l{tL 基础Mirau干涉仪的仿真 %B{NH~ Q&A |L"!^Y#=D 第二天 h]z>H~.<* 1. 干涉系统的应用 F6h|AF|" 光学系统部分相干性测试 A"8"e* 法布里腔干涉仪分辨光谱 ZD'fEqM 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) o)hQ]d 全息曝光干涉 xHMbtY 2. 多尺度系统建模仿真 sXaIQhZ 衍射光栅干涉测量 &^W91C?<6 阿贝成像理论 r$Z_Kwe.|& 单色仪/光谱仪系统仿真 |,wp@)e6h 用于微结构晶圆检测的光学系统 4z##4^9g 不同轮廓亚波长光栅的成像 4[]/ 结构光照明显微镜与STED显微镜 P,[O32i# SPR表面等离子共振效应 k)a-odNrb 3. 摩尔纹系统 =1}Umn|ZLS 摩尔纹检测系统 :W\xZ Q&A eHjn<@  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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