VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
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QV/o; 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 sCG[gshq 苏州黉论教育咨询有限公司 YB{hQ<W 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 r}ZL{uWMW 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 !#P|2>>u 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 1"k"<{% 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) It.G-( 2L}F=$zz 课程简介 []R`h*# 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 c zTr_> 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 F!m/n!YR 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 PMPB}-d =?fxPT[1K 课程大纲 $*EK
v'g[n 第一天 8!87p?Mz 1. 基本干涉原理 QR4!r@*=
干涉发生的条件 ox9$aBjJ 杨氏双缝特性 hxcRFqX" 2. 典型的干涉仪系统建模 +dd\_\ 光学层析扫描在面型检测中的应用 os/_ObPiX 基于涡旋光的干涉测量系统 :=
OdjfhY 激光准直镜的测量 ~Y=v@] 2/ 基础Mirau干涉仪的仿真 BK._cDR Q&A ,CACQhrng 第二天 zq ;YE 1. 干涉系统的应用 M1(+_W` 光学系统部分相干性测试 3q7Z?1'o
法布里腔干涉仪分辨光谱 pRS+vV3 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) Kgev*xg 全息曝光干涉 3|1ug92
2. 多尺度系统建模仿真 9I3vW]0x[ 衍射光栅干涉测量 " sh%8
<N 阿贝成像理论 rybs9:_} 单色仪/光谱仪系统仿真 WDznhMo 用于微结构晶圆检测的光学系统 &fH;A X. 不同轮廓亚波长光栅的成像 05_aL` &eb 结构光照明显微镜与STED显微镜 9a_B SPR表面等离子共振效应 C:Tjue{G2 3. 摩尔纹系统 lP$bxUNt 摩尔纹检测系统 Qoa gy L Q&A 2flgfB}2k  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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