VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
4-H+vNG{% 时间地点 2?ez,*-[ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 B; h"lv 苏州黉论教育咨询有限公司
qwgPk9l 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 =QiI :|eRA 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 JL}_72gs 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 c>:wd@w 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 62o:,IcoG k],Q9 课程简介 8ek@: Mw 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 ryUQU^v 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 ;m{1_ 1 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 'UX!*5k<: Y}|X|!0x 课程大纲 ;1O_M9 第一天 YdC6k?tzS 1. 基本干涉原理 Mhf5bN|wQ 干涉发生的条件 -g Sa_8R
杨氏双缝特性 }1i`6`y1 2. 典型的干涉仪系统建模 4,gK[ dc 光学层析扫描在面型检测中的应用 ][h%UrV 基于涡旋光的干涉测量系统 P& -Qc 激光准直镜的测量 j8{i#;s!" 基础Mirau干涉仪的仿真 as4;: Q&A .A{tQ1&_ 第二天 Jg\zdi:t 1. 干涉系统的应用 ~{B7 k: 光学系统部分相干性测试 QP8Ei~ 法布里腔干涉仪分辨光谱 j94=hJVKi 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) C>j@,G4 全息曝光干涉 yyRiP|hJ 2. 多尺度系统建模仿真 1AfnzGvA 衍射光栅干涉测量 |[ k.ii6iO 阿贝成像理论 xU>WEm2 单色仪/光谱仪系统仿真 7#ibN! 用于微结构晶圆检测的光学系统 #9}D4i.`} 不同轮廓亚波长光栅的成像 X0H!/SlS 结构光照明显微镜与STED显微镜 2%@4] SPR表面等离子共振效应 NAQAU
*yP 3. 摩尔纹系统 tip+q d 摩尔纹检测系统 ith
3=`3 Q&A [OV"}<V  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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