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infotek 2025-02-18 15:22

VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

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时间地点 wQ}r/2n|^  
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 2hh8G5IaQ  
苏州黉论教育咨询有限公司 8bIP"!=*W  
授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 {o=?@$6C  
授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 iI3:<j l  
课程讲师:讯技光电工程师团队成员 18X@0e  
课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) } M#e\neii  
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课程简介 FFHq':v  
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 -dntV=  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 9d(\/ 7  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 6Rc=!_v^  
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课程大纲 9U8M|W|d  
第一天
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1. 基本干涉原理 d*(aue=  
 干涉发生的条件 hHs/Qtq  
 杨氏双缝特性 Q8p6n  
2. 典型的干涉仪系统建模 @u~S!(7.Wi  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 04a ^jjc  
 基于涡旋光的干涉测量系统 F:{*4b  
 激光准直镜的测量 k+<9 45kC  
 基础Mirau干涉仪的仿真 ;b~ S/   
Q&A g: i5%1  
第二天
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1. 干涉系统的应用 U|^xr~q!f-  
 光学系统部分相干性测试 OM*_%UF  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 #c"eff  
 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) tne_]+  
 全息曝光干涉 FDHW' OP4  
2. 多尺度系统建模仿真 96=<phcwN[  
 衍射光栅干涉测量 mx c)Wm<4  
 阿贝成像理论 z>x@o}#u\|  
 单色仪/光谱仪系统仿真 8@3K, [Mo  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 QY\k3hiqn  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 U& ?hG>  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 hI[} -  
 SPR表面等离子共振效应 #&3,T1i`  
3. 摩尔纹系统 @[GV0*yz$  
 摩尔纹检测系统 h`[$ Bp  
Q&A
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