VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
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EI 时间地点 2i_k$- 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 >hmBV7nR 苏州黉论教育咨询有限公司 ,O/ t6' 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 z#elwL6 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 -}9a% 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 K.K=\
Y2 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 6Z3L=j #)N}F/Od^ 课程简介 #Z]l4d3{T 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 {]6Pd`- 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 ?B~S4:9 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 },LO]N| =;?afUj 课程大纲 j>-O'CO 第一天 ^9*kZV<K 1. 基本干涉原理 qt!0#z8 干涉发生的条件 Zw<\^1 杨氏双缝特性 I[v6Y^{q 2. 典型的干涉仪系统建模 ^J-\s_)" 光学层析扫描在面型检测中的应用 z->[:)c 基于涡旋光的干涉测量系统 _)?59 激光准直镜的测量 OkaNVTB 基础Mirau干涉仪的仿真 =7212('F Q&A /f0*NNSat- 第二天 ic(`E v 1. 干涉系统的应用 8\{1y:| 光学系统部分相干性测试 txp^3dZ`^ 法布里腔干涉仪分辨光谱 ~ '/Yp8( 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) -\V!f6Q 全息曝光干涉 :@8N${7`$A 2. 多尺度系统建模仿真 5:sk&0:@U 衍射光栅干涉测量 i~0x/wSl_ 阿贝成像理论 FLzC kzJ:6 单色仪/光谱仪系统仿真 Tz?0E"yx 用于微结构晶圆检测的光学系统 K~ob]I<GiB 不同轮廓亚波长光栅的成像 Uop`) 结构光照明显微镜与STED显微镜 $zUHka SPR表面等离子共振效应 ;S.o`z1GI 3. 摩尔纹系统 vQ",rP% 摩尔纹检测系统 z+(V2?xcvt Q&A .L#U^H|  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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