VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
Fs $FR-x 时间地点 X=)L$Kd7 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 Q5Nbu90 苏州黉论教育咨询有限公司 __QnzEF 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 Tc||96%2^ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 w`f66*@Q1 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 e.DN,rhqI 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) I5l%X{u"N NcF>}f,}\ 课程简介 H7&y79mB 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 S}U_uZ$b 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 ^"
g?m 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 ciml:"nQ .$x}~Sw 课程大纲 h~Z &L2V 第一天 Tr:@Dv.O 1. 基本干涉原理 V
)oXJL 干涉发生的条件 x/M$_E<G 杨氏双缝特性 D3dh,&KO\ 2. 典型的干涉仪系统建模 R--s
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光学层析扫描在面型检测中的应用 l9eTghLi 基于涡旋光的干涉测量系统 (n?f016*%d 激光准直镜的测量 XfVdYmii 基础Mirau干涉仪的仿真 HP[B% Q&A NJr)f 第二天 y|MhV/P04 1. 干涉系统的应用 %gFIu.c 光学系统部分相干性测试 YB4
ZI 法布里腔干涉仪分辨光谱 %u&Vt"6m= 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) \{ QH^ 全息曝光干涉 Y96<c" t 2. 多尺度系统建模仿真 *'aJO}$ 衍射光栅干涉测量 :'ZR!w 阿贝成像理论 E8sM`2z5 单色仪/光谱仪系统仿真 WeH_1$n5 用于微结构晶圆检测的光学系统 We}9'X} 不同轮廓亚波长光栅的成像 ,#,K_oz 结构光照明显微镜与STED显微镜 vqf}(/.D SPR表面等离子共振效应 H'YK j' 3. 摩尔纹系统 8w[O% 摩尔纹检测系统 ETL7|C" Q&A L{>rN`{  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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