VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
d!57`bVOd 时间地点 3ch<a0 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 ~cv322N 苏州黉论教育咨询有限公司 ]C'^&:&< 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 NJ^Bv` 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 {<cL@W 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 QJ\+u 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) y:',)f } 56JxHQu 课程简介: /6y9u} 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 *q&^tn b ^V}c8 P| 课程大纲: +7\"^D 第一天 +-r ~-b s 1. 光栅结构建模 B@j2^Dr~! 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 NoOrQ m 光栅的建模 8AVtUU 2. 光栅仿真算法比较 kk>z,A4
h_ 薄元近似法(Thin Element Approximation) U3**x5F_ 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) k3+LP7|* 3. 光栅严格分析实例 z[Ah9tM% 闪耀光栅 A('o&H 光栅与偏振 `O0bba=:= 非傍轴衍射分束器分析 "l 8YD&q 4. 光栅设计与优化 "T@9#7Obu 倾斜光栅结构参数优化 (nu;o!mo9 公差分析 xs6kr 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 7v&>d, 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 !aB~G}' Q&A i@`qam
"c.@4#/_ 第二天 0Ke2%+yqJ 1. 二维光栅结构建模
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,zxs 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) RkZyqt
@+ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 -}1TT@ 2. 二维光栅设计优化 o<gK"P 抗反射蛾眼结构设计 TKp2C5bX 公差分析 <v6W
l\ 纳米柱的严格分析 EQtY b"_ 共振光子晶格仿真 k:F{U^!p| 3. 超表面微纳结构 %Yt;)q3U 超表面分光光栅设计 "m%EFWUOl 设计和分析超透镜 Pcjrv:0$ 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 :K~sazs7J 4. 包含光栅的光学系统仿真 |~o0-: 'C 光栅衍射测量 "l{{H&d 结构光照明的显微镜系统 %'uei4 微结构晶圆检测系统 sXmP<c 泰伯效应 Y P,>vzW Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131534]
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