VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
9rXbv4{ 时间地点 X8~dFjhX 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 }/~%Ysl 苏州黉论教育咨询有限公司 rt">xVl 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 PN9^ sLx= 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
h4rIt3` 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 "hwg";Z$n 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) $jT&]p 4w,=6|# 课程简介: [-o`^; 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 :#D?b.= ! |SPOk 课程大纲: <!b~7sZkTc 第一天 +Qy*s1fit 1. 光栅结构建模 ?#8',: 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 r@C2zF7 光栅的建模 L%](C 2. 光栅仿真算法比较 $YZsaw 薄元近似法(Thin Element Approximation) dFY]~_P472 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) b3(pRg[Fp 3. 光栅严格分析实例 z _qy> 闪耀光栅 g8^\| 光栅与偏振 eduaG,+k7p 非傍轴衍射分束器分析 mF!/8qk 4. 光栅设计与优化 )aoB-Lu 倾斜光栅结构参数优化 Z(Da?6#1 公差分析 d:/8P985 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 V]b1cDx{ 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 5.gM]si Q&A bqugo xlPUum-o 第二天 Bvzu{B% 1. 二维光栅结构建模 0kN;SSX! 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) .C^1.) 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 RjS;Ck@; 2. 二维光栅设计优化 {FzL@!|| 抗反射蛾眼结构设计 J ytY6HF 公差分析 [NcS[*qp 纳米柱的严格分析 ^NJ]~h{n$ 共振光子晶格仿真 9hAS#|vK 3. 超表面微纳结构 ""Ul6hRgv 超表面分光光栅设计 F#=XJYG1 设计和分析超透镜 gfQ&U@N 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 -r/G)Rs 4. 包含光栅的光学系统仿真 >cwyb9;!kK 光栅衍射测量 }* iag\ 结构光照明的显微镜系统 `(A6uakd 微结构晶圆检测系统 (H *-b4]/ 泰伯效应 [% chN/ Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131534]
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