VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
.`oJcJ 时间地点 oUW)H 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 W?*Xy6",JF 苏州黉论教育咨询有限公司
zjluX\ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
:BewH?Ku 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 :FX'[7;p 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 k #1` 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) }-REBrb- _n-VgPRn 课程简介: Sqp;/&Ji 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 )GiFkG eT7!a']x 课程大纲: m#5|J@] 第一天 ;n( #b8r9 1. 光栅结构建模 \_*?R,$3Y, 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 1g~Dm}m 光栅的建模 bE7(L
$UF 2. 光栅仿真算法比较 n/9 LRZD|w 薄元近似法(Thin Element Approximation) jMm_A#V>p 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) AijPN 3. 光栅严格分析实例 jI*}y[o 闪耀光栅 9[epr+f 光栅与偏振 9%p7B ~}E 非傍轴衍射分束器分析 EIq{C-( 4. 光栅设计与优化 l _kg3e4 倾斜光栅结构参数优化 "_ PH "W 公差分析 <Um1h:^ 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 &A ;3; R 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 <GL}1W"Ay Q&A )0Y #-=.< <3SFP3^: 第二天 ?G~/{m. 1. 二维光栅结构建模 p`E|SNt/W 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) .c=$ bQ>^ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 WL
IDw@fv 2. 二维光栅设计优化 xh+AZ3 抗反射蛾眼结构设计 8!`7- 公差分析 ,(@Y%UW: 纳米柱的严格分析 zer&`Vr 共振光子晶格仿真 |0C|$2 3. 超表面微纳结构 boC>N 超表面分光光栅设计 ,mO(!D 设计和分析超透镜 x*loACee. 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 xWenKY, 4. 包含光栅的光学系统仿真 .NV)hg)|cZ 光栅衍射测量 }<5\O*kX4 结构光照明的显微镜系统 FT*yso:X/ 微结构晶圆检测系统 U(S@1i( 泰伯效应 "xvV'&lQ Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131534]
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