VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
ZibODs=f; 时间地点 "~;jFB8 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 t_N
`e(V 苏州黉论教育咨询有限公司 <HD/&4$[ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 WP>O7[| 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 WsoB!m 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 <s:Xj 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) #4hP_Vhc
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课程简介: EZHEJW'JnE 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 nMnc&8r ]uZH 0 课程大纲: "6}+|!"$ 第一天 Ns $PS\ 1. 光栅结构建模 UOY1^wY 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 p$V+IJtO( 光栅的建模 p-}:7CXP 2. 光栅仿真算法比较 VMHY.Rf 薄元近似法(Thin Element Approximation) ;~K($_#H 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) =f["M=)ZJ 3. 光栅严格分析实例 _&M>f? l 闪耀光栅 '=2t(@aC 光栅与偏振 i6-K! 非傍轴衍射分束器分析 HqgH\ 4. 光栅设计与优化 w"e2}iE7 倾斜光栅结构参数优化 uqn Z 公差分析 ZQ:Y5ph 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 Y}6)jzBV 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 M{H&5 9v Q&A 8%"e-chd w7C=R8^ 第二天 k8ck#%#}Wu 1. 二维光栅结构建模 X*~YCF[_ 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) -K!-a'J 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 -"<f( 2. 二维光栅设计优化 5YCbFk^ 抗反射蛾眼结构设计 0jmlsC> 公差分析 $_VD@YlAp 纳米柱的严格分析 t|q=NK/ 共振光子晶格仿真 M~6I-HexT| 3. 超表面微纳结构 NplSkv 超表面分光光栅设计 9~_6mR< 设计和分析超透镜 O^GX Fz^ 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 <ZiO[dEV 4. 包含光栅的光学系统仿真 _H,RcpyJ 光栅衍射测量 1K`A.J:Uy 结构光照明的显微镜系统 lO
*Hv9# 微结构晶圆检测系统 p
c],H 泰伯效应 v\Hyu1;8 Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131534]
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