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infotek 2025-02-18 15:21

VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真

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时间地点 -|I_aOC@  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 r9n:[A&HE  
苏州黉论教育咨询有限公司 MH|R@g  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 zBc |gx  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 R#ZO<g%'  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 7G%:ckg  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) >fzFNcO*  
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课程简介： 1vdG \$  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 ^O,r8K{1n  
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课程大纲： 5]K2to)>`  
第一天 B7PdavO#  
1. 光栅结构建模 +v< \l=  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 d<[L^s9  
 光栅的建模 v1p^=" IHI  
2.  光栅仿真算法比较 5YYBX\MV  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） 1rON8=E  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） n?"("Fiw  
3. 光栅严格分析实例 |)S*RQb\  
 闪耀光栅 b4 Pa5 w  
 光栅与偏振 6G{ Q@  
 非傍轴衍射分束器分析 A2SDEVU  
4.  光栅设计与优化 +G)a+r'0Q  
 倾斜光栅结构参数优化 /!fJ`pu!  
 公差分析 8vQR'<,  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 A=wG};%_  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 y-{?0mLq  
Q&A ZS[Ut  
<6+T&Ov6  
第二天 } L _Zmi$  
1. 二维光栅结构建模 nd&i9l  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） Yr[& *>S  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 yW&ka3j\  
2. 二维光栅设计优化 #7@p  
 抗反射蛾眼结构设计 XSGBC:U)l  
 公差分析 ^I) +u>fJ  
 纳米柱的严格分析 ^bq,+1;@Q  
 共振光子晶格仿真 V[n,fEPBr  
3. 超表面微纳结构 k U0.:Gcc  
 超表面分光光栅设计 +!ZfJZls  
 设计和分析超透镜 sG\K$GP!  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 d.HcO^  
4. 包含光栅的光学系统仿真 T3I{D@+0  
 光栅衍射测量 !j}L-1*{ l  
 结构光照明的显微镜系统 "C?H:8W  
 微结构晶圆检测系统 =.w~qL  
 泰伯效应 >`p? CE  
Q&A
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