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infotek 2025-02-18 15:21

VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真

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时间地点 JUE>g8\b  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 7Ctm({I-  
苏州黉论教育咨询有限公司 8P*n|]B.'  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 UJZa1p@L  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 _CZ*z  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 :!/}*B  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 'W#<8eJo  
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课程简介： 0L6L_;o  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 =19]a  
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课程大纲：  }QI*Ns  
第一天 O$$N{  
1. 光栅结构建模 ABSeX  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 Ue%0.G|<W  
 光栅的建模 Bj2rA.M  
2.  光栅仿真算法比较 M$GD8|*e  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） :eO]65N  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） MT*b+&1e  
3. 光栅严格分析实例 u Qj#U m8  
 闪耀光栅 )SQ g  
 光栅与偏振 52~k:"c  
 非傍轴衍射分束器分析 ux }DWrR  
4.  光栅设计与优化 qM`SN4C  
 倾斜光栅结构参数优化 v`fUAm/  
 公差分析 /x-t -}  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 =SdWU}xn2  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 <HD/&4$[  
Q&A N>z8\y  
q&M;rIo?  
第二天 MVCCh+,GI  
1. 二维光栅结构建模 qm '$R3g  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） ~\^8 ^  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 Qw ^tzP8  
2. 二维光栅设计优化 .{} t[U  
 抗反射蛾眼结构设计 I@\{6hw  
 公差分析 )CB?gW  
 纳米柱的严格分析 "6}+|!"$  
 共振光子晶格仿真 Ns $PS\  
3. 超表面微纳结构 Glwpu-@X  
 超表面分光光栅设计 \uaJw\EZ  
 设计和分析超透镜 fx|9*|E  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 N+tS:$V  
4. 包含光栅的光学系统仿真 q8D1MEBL`  
 光栅衍射测量 p[wjHfIq  
 结构光照明的显微镜系统 M}vPWWcl  
 微结构晶圆检测系统 +2g3%c0}  
 泰伯效应 u>E+HxUJ  
Q&A
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