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infotek 2025-02-18 15:21

VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真

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时间地点 iBE|6+g~Cj  
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 rpk8  
苏州黉论教育咨询有限公司 8%4;'[UV  
授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 x1=`Z@^  
授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 [_N1 .}e  
课程讲师:讯技光电工程师团队成员 F'~r?D  
课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) l6zAMyau5  
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课程简介 f:j:L79}  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 h!B{7J  
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课程大纲  v9T 3=  
第一天 \t{iyUxY  
1. 光栅结构建模 #jbC@A9Pe  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 /G5KNSi  
 光栅的建模 lB}?ey   
2.  光栅仿真算法比较 zDg*ds\  
 薄元近似法(Thin Element Approximation) (~@.9&cBD  
 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) uVYn,DB`  
3. 光栅严格分析实例 X8}r= K~  
 闪耀光栅 ['QhC({  
 光栅与偏振 Ioe.[&o6B  
 非傍轴衍射分束器分析 :M6|V_Yp  
4.  光栅设计与优化 h`Jc%6o  
 倾斜光栅结构参数优化 ' !huU   
 公差分析 ZW M:Wj192  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 h5{//0 y  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 !fs ~ >  
Q&A iBWzxPv:z  
s=$xnc}mf  
第二天 CCpRQKb=  
1. 二维光栅结构建模 M_O$]^I3w  
 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) /{({f?k<\/  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 oD%n}  
2. 二维光栅设计优化 .0nT*LF  
 抗反射蛾眼结构设计 fq1w <e  
 公差分析 [\F:NLjiUy  
 纳米柱的严格分析 ,T;sWl  
 共振光子晶格仿真 dLQp"vs$  
3. 超表面微纳结构 r E1ouz!D  
 超表面分光光栅设计 ||2%N/?  
 设计和分析超透镜 =ZHN]PP  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 02 FLe*zQ  
4. 包含光栅的光学系统仿真 n4?;!p<F  
 光栅衍射测量 5I* 1CIO  
 结构光照明的显微镜系统 pg!mOyn  
 微结构晶圆检测系统 kW+>"3  
 泰伯效应 ym p*:lH(  
Q&A
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