VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
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xFB 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 kH*l83 苏州黉论教育咨询有限公司 r:K)Q@ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 3P Twpq1 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 )xCpQ=nS 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 f]"][!e!, 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) >bxT_qEm ==(9P`\ 课程简介: 5)V]qV$
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 gVCkj!{ q:#,b0|bv 课程大纲: #/sKb2eQ 第一天 ]+)z}lr8 C 1. 光栅结构建模 jo=XxA 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 ;+K:^*oJ 光栅的建模 O;
EI& 2. 光栅仿真算法比较 >#dNXH]9 薄元近似法(Thin Element Approximation) |DfYH~@( 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) "[@-p 3. 光栅严格分析实例 qhVDC 闪耀光栅 N J:]jd 光栅与偏振 $f>Mz|j 非傍轴衍射分束器分析 #0`2wuo
{ 4. 光栅设计与优化 jEklf0Z 倾斜光栅结构参数优化 tr7FV1p 公差分析 lW'6rat 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 s2g}IZfo 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 D9e"E1f+" Q&A gqNd@tYI hF+YZU]rT 第二天 #QZg{ 1. 二维光栅结构建模 oe`oUnN 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) 2i',
e 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 $y\'j5nk3 2. 二维光栅设计优化 8kAG EiC 抗反射蛾眼结构设计 00?^!'; 公差分析 GB\.msls 纳米柱的严格分析 X55Eemg/ 共振光子晶格仿真 NWwfNb> 3. 超表面微纳结构 MR%M[SK1 超表面分光光栅设计 Bcrd}'no 设计和分析超透镜 e+bpbyV_# 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 nk1(/~` 4. 包含光栅的光学系统仿真 B;N40d*W 光栅衍射测量 sq*R)cZ 结构光照明的显微镜系统 .qy._C2(
微结构晶圆检测系统 T_6,o[b8 泰伯效应 ko
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