VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
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时间地点 .?`8B9w 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 bkuJN% 苏州黉论教育咨询有限公司 <A(Bq'eQM 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 G<-<>)zO! 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 LAFxeo 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 ,8.$!Zia 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) v|MT^. j&u/T 课程简介 Zts1BWL[ 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 J4x|Af p 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 T/FZn{I 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 j}O qWX>/ `mH]QjAO 课程大纲 F`La_]f?b\ 第一天 $>7T s>8 1. 基本干涉原理 E{P94Phv 干涉发生的条件 b<%c ]z 杨氏双缝特性 g[*"LOw 2. 典型的干涉仪系统建模 <#wVQ\0C 光学层析扫描在面型检测中的应用 zGdYk-H3TH 基于涡旋光的干涉测量系统 i;atYltEJ2 激光准直镜的测量 ,^7]F"5 基础Mirau干涉仪的仿真 D |=L)\ Q&A @+0dgkJ 第二天 ][KlEE>W2 1. 干涉系统的应用 AB{zkEuK 光学系统部分相干性测试 v>HOz\F 法布里腔干涉仪分辨光谱 xs&xcRR" 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) (d/!M
n6L 全息曝光干涉 [mQdc?n\ 2. 多尺度系统建模仿真 L?Ys(a"k 衍射光栅干涉测量 -&Q+x,.% 阿贝成像理论 S.{
单色仪/光谱仪系统仿真 K$:+]fJK 用于微结构晶圆检测的光学系统 `kE7PXqa 不同轮廓亚波长光栅的成像 /+*N.D'`t, 结构光照明显微镜与STED显微镜 XjdHH.) S SPR表面等离子共振效应 8A5/jqnqt 3. 摩尔纹系统 /OYa1, 摩尔纹检测系统 %NfXe[T Q&A cU-A1W  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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