VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
r.^0!(d 时间地点 +8LM~voB 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 V;>9&'Z3 苏州黉论教育咨询有限公司 M(n<Iu4^_ 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 nuf@}W>y 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 }Kvh`@CiJ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 +G*"jI8W 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) `FZ(#GDF jGO9n 课程简介 O{lIs_1.Z 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 l?3vNa FeR 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 :[y]p7;{f 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 BKa A=Bl =3h+=l[ 课程大纲 >X;xIyRL 第一天 aqcFY8b
' 1. 基本干涉原理 j4E H2v 干涉发生的条件 Xtuhc dzu[ 杨氏双缝特性 T6sr/<#<( 2. 典型的干涉仪系统建模 GwgFi@itN 光学层析扫描在面型检测中的应用 _oQtk^fp 基于涡旋光的干涉测量系统 ;V|M3 激光准直镜的测量 Y*5Z)h
1 基础Mirau干涉仪的仿真 *e(:["v Q&A Dl0/-=L 第二天 T$: >* 1. 干涉系统的应用 xL9:4'I 光学系统部分相干性测试 !a' K & 法布里腔干涉仪分辨光谱 5."5IjZu 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) >nc4v6s 全息曝光干涉 P#AAOSlLV 2. 多尺度系统建模仿真 \BN|?r$a 衍射光栅干涉测量 ~Y\QGuT 阿贝成像理论 k%{ l4 单色仪/光谱仪系统仿真 aXRv}WO$>k 用于微结构晶圆检测的光学系统 m,\i 不同轮廓亚波长光栅的成像 ]b}B~jD 结构光照明显微镜与STED显微镜 " <<A SPR表面等离子共振效应 Xy:Gj,@ 3. 摩尔纹系统 X7e>Z)l 摩尔纹检测系统 `-~`<#E[ Q&A C>AcK#-x,{  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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