VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
KR4X&d6 时间地点 ^[6eo8Ck> 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 ew
-5VL 苏州黉论教育咨询有限公司 |pxM8g1w 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 xD+n2:I{ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 Bc3(xI'>J 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 `7$0H]*6 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) F,}wQN ]FV,}EZ 课程简介 l?GN& u 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 cnJ(Fv_F$ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 `%_ yRJd|; 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 j xB tmEF7e`(o 课程大纲 wh8h1I
第一天 k+
[V%[U 1. 基本干涉原理 uj#bK
7 干涉发生的条件 :k9n
9
杨氏双缝特性 [yj-4v%u` 2. 典型的干涉仪系统建模 VBV y3fnj 光学层析扫描在面型检测中的应用 46`(u"RP 基于涡旋光的干涉测量系统 OSACH0h 激光准直镜的测量 MNd8#01q` 基础Mirau干涉仪的仿真 iV<4#aBg Q&A w5zrEk# 第二天 FVw;`{ 1. 干涉系统的应用 06pEA.ro 光学系统部分相干性测试 ^W!w~g+ 法布里腔干涉仪分辨光谱 \yDr 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) a&oz<4oT 全息曝光干涉 'MZX"t 2. 多尺度系统建模仿真 Q'-g+aN 衍射光栅干涉测量 nGb%mlb 阿贝成像理论 b
{fZU?o 单色仪/光谱仪系统仿真 JAPiR= 用于微结构晶圆检测的光学系统 @hC ,J 不同轮廓亚波长光栅的成像 n:QFwwQ`Q; 结构光照明显微镜与STED显微镜 4#D=+70' SPR表面等离子共振效应 K(bid0Y 3. 摩尔纹系统 F?"#1je 摩尔纹检测系统 i$`OOV=/e Q&A rBNl%+ sB  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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