VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
dm{/ 时间地点 7[YulC-pH 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 G@1T!` 苏州黉论教育咨询有限公司 3TNj*jo 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 OF 1Qr bj 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 Hni?r!8r 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 QlH,-]N$L 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) $6*6%T5} &h;J_Ps 课程简介 70T{tB 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 je5GZFQw 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 &z;1Z 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 ]+@I]\S4 A=\:b^\ 课程大纲 !2]'S=Y 第一天 n]v,cfn/=< 1. 基本干涉原理 DM3 %+ xY 干涉发生的条件 JnXVI!+JDL 杨氏双缝特性 M IR))j; 2. 典型的干涉仪系统建模 i-`J+8|d 光学层析扫描在面型检测中的应用 W=!di3IA 基于涡旋光的干涉测量系统 1\%2@NR 激光准直镜的测量 `(lD]o{,s 基础Mirau干涉仪的仿真 eBg:[44V Q&A :o}LJc)| 第二天 *dX
7 1. 干涉系统的应用 # 4;(^`? 光学系统部分相干性测试 asKAHVT( 法布里腔干涉仪分辨光谱 \EQCR[7qu7 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) #;F*rJ[XY 全息曝光干涉 ,O1/|Y 2. 多尺度系统建模仿真 ^y<8&ZFH 衍射光栅干涉测量 'XW9+jj)/ 阿贝成像理论 k/2TvEV3= 单色仪/光谱仪系统仿真 )]3_o!o 用于微结构晶圆检测的光学系统 +L|-W9"@3 不同轮廓亚波长光栅的成像 >4]y)df5 结构光照明显微镜与STED显微镜 bTW#
f$q:4 SPR表面等离子共振效应 m"RSDM!
3. 摩尔纹系统 2rG$.cGN" 摩尔纹检测系统 Hm
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