VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
QIB\AAclO 时间地点 U@HK+C"M| 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 :K-~fA%kt? 苏州黉论教育咨询有限公司 o<[#0T^K 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 E;Y;z 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 jE}33" 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 4(|cG7>9- 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) =osv3>&q 8.XoVW# 课程简介 #pb92kA' 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 rf?qdd(~cH 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 7[> 6i 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 Km(n7Ah" U&Wt%U{ 课程大纲 AfX}y+Ah 第一天 =<{np 1. 基本干涉原理 <J`0mVOX 干涉发生的条件 \MbB# 杨氏双缝特性 [3(74 2. 典型的干涉仪系统建模 fDT%! 光学层析扫描在面型检测中的应用 %/|9@e r 基于涡旋光的干涉测量系统 `Gn50-@ 激光准直镜的测量 Ove<mFI\ 基础Mirau干涉仪的仿真 g+pml*LJ Q&A #:[t^} 第二天 q=%RDG+ 1. 干涉系统的应用 S 5/R_5 光学系统部分相干性测试 g]4(g<:O
法布里腔干涉仪分辨光谱 }% `.h" 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) DVSL [p?_ 全息曝光干涉 w2
a1mU/ 2. 多尺度系统建模仿真 i+p^ ^t\ 衍射光栅干涉测量 i.3=!6z 阿贝成像理论 Y8m1M-#w 单色仪/光谱仪系统仿真 d/BM&r 用于微结构晶圆检测的光学系统 *h'=3w:G 不同轮廓亚波长光栅的成像 |N%fMPKa 结构光照明显微镜与STED显微镜 ZUoxMm
SPR表面等离子共振效应 I aGq]z 3. 摩尔纹系统 2w["aVr
= 摩尔纹检测系统 0`X]o'RxS Q&A [H6hyG~  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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