VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
GAz-yCJp 时间地点 [&)]-2w2 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 pgU[di 苏州黉论教育咨询有限公司 O2w-nd74U 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 A;oHji#* 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 >B BV/C'9 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 FK%b@/7s~ 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 'p@f5[t ^_2c\mw_I 课程简介 $J[( 3 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 TEtmmp0OD 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 u47<J?!Q 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 n;g'?z=hy -+R,="nRQ 课程大纲 Q:}]-lJg 第一天 8wU$kK 1. 基本干涉原理 [!'+} 干涉发生的条件 YQBLbtn6( 杨氏双缝特性 ,81%8r 2. 典型的干涉仪系统建模 Jw)JV~/0 光学层析扫描在面型检测中的应用 {}O~tf_ 基于涡旋光的干涉测量系统 56v G R( 激光准直镜的测量 ]Q^)9uE\D 基础Mirau干涉仪的仿真 +QChD* Q&A 7'0Vb!( 第二天 =[B\50] 1. 干涉系统的应用 tsXKhS;/w 光学系统部分相干性测试 YQMWhC,8hy 法布里腔干涉仪分辨光谱 mZ)>^.N6 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) _imuyt".+ 全息曝光干涉 D"7}&Ry: 2. 多尺度系统建模仿真 RSX27fb4 衍射光栅干涉测量 6^`iuC5 阿贝成像理论 K-RmB4WI 单色仪/光谱仪系统仿真 oC0ndp~+& 用于微结构晶圆检测的光学系统 X\^V{v^- 不同轮廓亚波长光栅的成像 O]N /(pe:d 结构光照明显微镜与STED显微镜 fBS a8D3}` SPR表面等离子共振效应 !_fDL6a- 3. 摩尔纹系统 AwM`[`ReE 摩尔纹检测系统 %M6OLq!K Q&A lC<;Q*Y  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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