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infotek 2025-02-18 15:10

VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

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时间地点 6szkE{-/?  
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 (jm.vL&5j  
苏州黉论教育咨询有限公司 5{u6qc4FW  
授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 (Dar6>!  
授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 kCwTv:)  
课程讲师:讯技光电工程师团队成员 - dOT/%Ux  
课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) : te xl  
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课程简介 x@Y2jM  
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 8x9kF]=  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 0%qUTGj  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 `HS4(2+C  
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课程大纲 .#:,j1L"53  
第一天
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1. 基本干涉原理 >b ["T+  
 干涉发生的条件 E&>,B81  
 杨氏双缝特性 Me}TW!GC  
2. 典型的干涉仪系统建模 0`P]fL+&  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 r~}}o o4K  
 基于涡旋光的干涉测量系统 psZeu*/r  
 激光准直镜的测量 XsOOkf\_  
 基础Mirau干涉仪的仿真 )a^Yor)o"  
Q&A jSFN/C.9h  
第二天
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1. 干涉系统的应用 -/-6Td1JY>  
 光学系统部分相干性测试 |g7h#F~  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 7RP_ ^Cr+  
 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) `oMeR]~  
 全息曝光干涉 K7hf m%`N  
2. 多尺度系统建模仿真 ]hj1.V+  
 衍射光栅干涉测量 |%}s$*s  
 阿贝成像理论 P*PL6UQ  
 单色仪/光谱仪系统仿真 3] qlz?5  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 xplo Fw~  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 8`G{1lr4o  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 A&P1M6Of  
 SPR表面等离子共振效应 VWshFI  
3. 摩尔纹系统 PEBFN  
 摩尔纹检测系统 &'7"i~pC  
Q&A
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