VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
juuBLv 时间地点 Q[i/] 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 HBYqqEO 苏州黉论教育咨询有限公司 mg)lr&-b 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 |i-Q fpn 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 ,-Fhb~u 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 0j%@P[zQ 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) *zX*k7LnV ^GdU$%aa 课程简介 le`&VdE^ 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 rAD5n,M] 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 Y?hC/6$7 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 z^9Yoqog b3e:F{n
^ 课程大纲 [6qa"Ie 第一天 wzB*M}3 1. 基本干涉原理 -bo2"*|m 干涉发生的条件 1QM*oj: 杨氏双缝特性 fXMVl\ < 2. 典型的干涉仪系统建模 E!'H,#"P 光学层析扫描在面型检测中的应用 [@[!esC 基于涡旋光的干涉测量系统 ''!pvxA 激光准直镜的测量
U7J0& 基础Mirau干涉仪的仿真 9}kN9u Q&A 3ydOBeY 第二天 %[ 4/UD=7 1. 干涉系统的应用 9Qp39(l: 光学系统部分相干性测试 yyh
L]Uq"= 法布里腔干涉仪分辨光谱 u3kK!2cdP 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) zLXmjrC 全息曝光干涉 mnL
\c' 2. 多尺度系统建模仿真 12Qcjj%F* 衍射光栅干涉测量 :7p0JGd 阿贝成像理论 "!XeK| Wi 单色仪/光谱仪系统仿真 PEZElB; 用于微结构晶圆检测的光学系统 c"t1E-Nsk 不同轮廓亚波长光栅的成像 +O3zeL 结构光照明显微镜与STED显微镜 $*K5 SPR表面等离子共振效应 &oiX/UaY 3. 摩尔纹系统 (,Yb]/O* 摩尔纹检测系统 8):I< }s# Q&A wXDF7tJh  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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