VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
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主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 Cua%1]"4w 苏州黉论教育咨询有限公司 ;_(PVo 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 JMS(9>+TA 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 3tmdi 3s 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 wHem5E 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) zP;cTF(C hG_?8:W8HT 课程简介 hHPs&EA.p 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 7lo|dg80 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 $7'gRb4 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 5&f{1M6l> @Fpb-Qd" 课程大纲 Fbp{,V@F2 第一天 :Yj)CGl$ 1. 基本干涉原理 !8@*F 干涉发生的条件 )C. yF)Ql 杨氏双缝特性 &
``d 2. 典型的干涉仪系统建模 7 ua6l[c 光学层析扫描在面型检测中的应用 *E~VKx1 基于涡旋光的干涉测量系统 AC.A'|"]i 激光准直镜的测量 )!Bd6- 基础Mirau干涉仪的仿真 Zh/Uu6 Q&A M@thI%lR 第二天 YUdxG/~' 1. 干涉系统的应用 L@^~N$G&u 光学系统部分相干性测试 f):~8_0b 法布里腔干涉仪分辨光谱 XIWm>IQ[) 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) o_Si mJFK 全息曝光干涉 3?E&}J<n 2. 多尺度系统建模仿真 h)v^q: =' 衍射光栅干涉测量 ~=Ncp9ej# 阿贝成像理论 #2tCV't 单色仪/光谱仪系统仿真 C`'W#xnp1 用于微结构晶圆检测的光学系统 i%#$* 不同轮廓亚波长光栅的成像 \NqEw@91B 结构光照明显微镜与STED显微镜 pX=,iOF[I SPR表面等离子共振效应 z\/53Sy< 3. 摩尔纹系统 IF@HzT;Q 摩尔纹检测系统 ?R5'#|EyX Q&A p$k\m|t  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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