VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
10^=1@U 时间地点 /2q%'"x( 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 *<1m
2t>. 苏州黉论教育咨询有限公司 |Gi/=[Tp 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 ?K"]XXsI 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 zx*f*L,6F 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 |99eDgK, 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) T /uu='3 3#unh`3b 课程简介 C&gJP7 UF 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 WRCi! 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 B7;MY6h# 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 ,D1QJPM "+AD+D 课程大纲 "cx" d: 第一天 BlCKJp{m$ 1. 基本干涉原理 4M}/PoJ 干涉发生的条件 |u[gI+TUE 杨氏双缝特性 ^.Q),{%Xo 2. 典型的干涉仪系统建模 M-_)CR 光学层析扫描在面型检测中的应用 .755-S 基于涡旋光的干涉测量系统 n$QFj' 激光准直镜的测量 sQw-#f7t 基础Mirau干涉仪的仿真 hS
Sq=(S Q&A 9]iDNa/D 第二天 $8)/4P?OL 1. 干涉系统的应用 xS'So7: h 光学系统部分相干性测试 U,N4+F}FR 法布里腔干涉仪分辨光谱 cQjJ9o7 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) k95vgn% 全息曝光干涉 W+vm!7wX0 2. 多尺度系统建模仿真 O7W}Z1G 衍射光栅干涉测量 K^+B" 阿贝成像理论 !jm
a -- 单色仪/光谱仪系统仿真 PNq#o%q 用于微结构晶圆检测的光学系统 7">.{
@S 不同轮廓亚波长光栅的成像 [0$Y@ek[ 结构光照明显微镜与STED显微镜 W!g
, SPR表面等离子共振效应 %2.T1X%! 3. 摩尔纹系统 4d O>L" 摩尔纹检测系统
eUl[gHP Q&A @0G}Q  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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