VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
I?Zs|A 时间地点 6szkE{-/? 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 (jm.vL&5j 苏州黉论教育咨询有限公司 5{u6qc4FW 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 (Dar6>! 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 kCwTv:) 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 - dOT/%Ux 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) :te xl 1`}fbX;"m) 课程简介 x@Y2jM 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 8x9kF]= 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 0%qUTGj 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 `HS4(2+C {4QOUqA u 课程大纲 .#:,j1L"53 第一天 9V],X=y~ 1. 基本干涉原理 >b["T+ 干涉发生的条件 E&>,B81 杨氏双缝特性 Me}TW!GC 2. 典型的干涉仪系统建模 0`P]fL+& 光学层析扫描在面型检测中的应用 r~}}o o4K 基于涡旋光的干涉测量系统 psZeu*/r 激光准直镜的测量 XsOOkf\_ 基础Mirau干涉仪的仿真 )a^Yor)o" Q&A jSFN/C.9h 第二天 g&"(- : 1. 干涉系统的应用 -/-6Td1JY> 光学系统部分相干性测试 |g7h#F~ 法布里腔干涉仪分辨光谱 7RP_
^Cr+ 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) `oMeR]~ 全息曝光干涉 K7hf m%`N 2. 多尺度系统建模仿真 ]hj1.V+ 衍射光栅干涉测量 |%}s$*s 阿贝成像理论 P*PL6UQ 单色仪/光谱仪系统仿真 3] qlz?5 用于微结构晶圆检测的光学系统 xploFw~ 不同轮廓亚波长光栅的成像 8`G{1lr4o 结构光照明显微镜与STED显微镜 A&P1M6Of SPR表面等离子共振效应 VWshFI 3. 摩尔纹系统 PEBFN 摩尔纹检测系统 &'7"i~pC Q&A }iSakq'  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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