VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
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主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 VY/r2o# 苏州黉论教育咨询有限公司 iB0r+IbR 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 (B` NnL$ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 b$2=w^* 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 5JOfJ$(n 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) rE*yT(:w %#%YU|4R 课程简介 Q8HNST($? 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 9ZOQNN<ex 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 QY+{ OCB 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 /;_$:`|/ 4 4QW&qL!( 课程大纲 v0r:qku 第一天 BSS4}qyS 1. 基本干涉原理 e`+ 干涉发生的条件 Rq15AR 杨氏双缝特性 8k{XUn 2. 典型的干涉仪系统建模 TFbc@rfB 光学层析扫描在面型检测中的应用 Tx?s?DwC 基于涡旋光的干涉测量系统 PM*lnd#J 激光准直镜的测量 `mkOjsj & 基础Mirau干涉仪的仿真 ?z`yNx6 Q&A wB 8548C}- 第二天 hpOY&7QUTD 1. 干涉系统的应用 (q"S0{ 光学系统部分相干性测试 }f>
81[^ 法布里腔干涉仪分辨光谱 lN.&46
e 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) !6.LSY,E 全息曝光干涉 7<jr0) 2. 多尺度系统建模仿真 [9EL[} 衍射光栅干涉测量 $xvwnbq#y 阿贝成像理论 o)\EfPT 单色仪/光谱仪系统仿真 "`K73M,c?9 用于微结构晶圆检测的光学系统 B%Oi1bO 不同轮廓亚波长光栅的成像 5'Mw{` 结构光照明显微镜与STED显微镜 F[ ^ p~u{ SPR表面等离子共振效应 <O9WCl 3. 摩尔纹系统 ygm=q^bV]s 摩尔纹检测系统 ^CwS'/fdN Q&A W*c^(W  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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