VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
N}{V*H^0QU 时间地点 4mX]JH`UTe 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 }v_|N"@ 苏州黉论教育咨询有限公司 Ep')@7^n 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 +#(GU9_i+M 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 NxK.q)tj6 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 Tgi7RAY 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) L6!Hv{ijn Pmr'W\aIR 课程简介: _)3C_G1! 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 4ISIg\:c* iF.f*3-NJB 课程大纲: ;4v`FC> 第一天 [E2".F3 1. 光栅结构建模 `G*fx=N 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 Jk{v(W# 光栅的建模 61HJ% 2. 光栅仿真算法比较 Cyg(~7] 薄元近似法(Thin Element Approximation) v"Ryg]^_ 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) 8/ukzY1! 3. 光栅严格分析实例 ;\j'~AyCn 闪耀光栅 c5i7mx:. 光栅与偏振 ^HI2Vp 非傍轴衍射分束器分析 4`RZ&w;1H2 4. 光栅设计与优化 9uX15a 倾斜光栅结构参数优化 { W5
_KX 公差分析 |&bucG= 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 eU]I !pI< 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 g^i\7' Q&A 5pHv5e iT{[zLz>1 第二天 TvRm 7 1. 二维光栅结构建模 6D{70onY+ 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) ,&Zk63V 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 n1'i!NWt 2. 二维光栅设计优化 #}tdA(
- 抗反射蛾眼结构设计 CWd
& 公差分析 ;oVOq$ql 纳米柱的严格分析 TKEcbGhy 共振光子晶格仿真 n2[h`zm1{B 3. 超表面微纳结构 @bnw$U`+ 超表面分光光栅设计 yy3`E}vX7 设计和分析超透镜 Q yQ[H 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 /Vx
EqIK 4. 包含光栅的光学系统仿真 -`t9@1P>
= 光栅衍射测量 MdTu722 结构光照明的显微镜系统 AOTtAV_e 微结构晶圆检测系统 : 'jVA 泰伯效应 C 8d9(u Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131528]
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