VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
R,hwn2@B 时间地点 /u'V>=D;f 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 '8^>Z.~V 苏州黉论教育咨询有限公司 > W^"*B 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 0#sf,ja> 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 N@? z&urQi 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 !J}Q%i 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) +o6"Z) I~M@v59C 课程简介: DRu#vC 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 K}dvXO@=|c .P!pC 课程大纲: NW*$+u%/R 第一天 J.,7d , 1. 光栅结构建模 :N=S nyz 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 d?GB#N|+g 光栅的建模 QlnI &o 2. 光栅仿真算法比较 2,6|l.WFpE 薄元近似法(Thin Element Approximation) ibuoq X` 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) UDgUbi^v|D 3. 光栅严格分析实例 w2]]##J 闪耀光栅 KupQtT< 光栅与偏振 mk`#\=GE 非傍轴衍射分束器分析 ?Hf8<C} 3 4. 光栅设计与优化 ftqeiZ
2 倾斜光栅结构参数优化 LyT[ 公差分析 Q[% +y. 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 ^1+=HdN, 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 d+6-ten Q&A 4q`e<!MP)q KZsJ_t++!W 第二天 VL@eR9}9K 1. 二维光栅结构建模 li)shp) 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) :8Ql(I 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 FJ
V!B& 2. 二维光栅设计优化 uRRp8hht 抗反射蛾眼结构设计 5l
/EZ\q 公差分析 cY%6+uJ1 纳米柱的严格分析 Pu0O6@Rg 共振光子晶格仿真 `^CIOCK% 3. 超表面微纳结构 iriF'(1 超表面分光光栅设计 ty)~]!tA 设计和分析超透镜 _*dUH5 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 !Im{-t 4. 包含光栅的光学系统仿真 lZhd^69y 光栅衍射测量 y(Ck j" 结构光照明的显微镜系统 CoQ<Ky}* 微结构晶圆检测系统 Jbqm?Fy4X 泰伯效应 L=-v>YL+ Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131528]
|