VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
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SUQ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 @oz& 苏州黉论教育咨询有限公司
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5f|1O 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 Ef`5fgp?
S 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 "T a9
课程讲师:讯技光电工程师团队成员 { 1@4}R4 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) *%N7QyO`I k~jKJb-_ 课程简介: +/3
Z 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 0"kE^= bmO__1 课程大纲: RC8)f8n 第一天 N^Hn9n 1. 光栅结构建模 t$y&=v 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 G{f`K^ 光栅的建模 2u~c/JryN 2. 光栅仿真算法比较 l<aqiZSY 薄元近似法(Thin Element Approximation) ~t${=o430 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) urrO1 3. 光栅严格分析实例 )"_Ff,9Z! 闪耀光栅 -[f"r` 光栅与偏振 Tw}?(\ya 非傍轴衍射分束器分析 Z9"{f)T 4. 光栅设计与优化
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-/'; 倾斜光栅结构参数优化 oBRm\8 2| 公差分析 y#Mc4? 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 J\xz^%p 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 npO@Haw Q&A o0aO0Y !Bk[p/\ 第二天 IYfV~+P 1. 二维光栅结构建模 #}/cM2m 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) k+WO &g*| 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 N;C"X4rV 2. 二维光栅设计优化 -[zdX}x.: 抗反射蛾眼结构设计 Ms:KM{T0 公差分析 +QIGR'3u 纳米柱的严格分析 QH7V_#6bKP 共振光子晶格仿真 L876$ 3. 超表面微纳结构 zj~nnfoys 超表面分光光栅设计 X+dR<GN+YX 设计和分析超透镜 9?u9wuH 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 n0+g]|a
AF 4. 包含光栅的光学系统仿真 t4f
(Y,v 光栅衍射测量 bU;}!iVc] 结构光照明的显微镜系统 c!\.[2n 微结构晶圆检测系统 6CcB-@n4 泰伯效应 -Q<z1vz Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131528]
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