VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
5wU]!bxr 时间地点 J\=*#*rJ1 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 b^vQpiz 苏州黉论教育咨询有限公司 mgU<htMr1 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 B/Ws_Kv 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 +k R4E23: 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 jT;;/Fd3/ 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) C~exi[3 k$:|-_(w 课程简介: &_8947 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 _Y m2/3! @oGcuE 课程大纲: 2y1Sne=<Kb 第一天 pT6$DB# 1. 光栅结构建模 0JujesUw( 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 Q22 GIr 光栅的建模 ?:9"X$XR 2. 光栅仿真算法比较 wVtwx0|1 薄元近似法(Thin Element Approximation) <IW$m!{VG 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) I)HPO,7 3. 光栅严格分析实例 ql~J8G9 闪耀光栅 o^wqFX(Y 光栅与偏振 dlnX_+((KC 非傍轴衍射分束器分析 L-&\\{X 4. 光栅设计与优化 &BSn? 倾斜光栅结构参数优化 5#z1bu 公差分析 oxtay7fx 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 #Bw0,\ 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 wb ;xRP"w Q&A %@Jsal' ]/{)bpu 第二天 7uk[Oy<_ 1. 二维光栅结构建模 $<OD31T 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) )O6>*wq 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 MWh6]gGs 2. 二维光栅设计优化 u$`a7Lp,n 抗反射蛾眼结构设计 8xMX 公差分析 6wg^FD_Q 纳米柱的严格分析 @E8+C8' 共振光子晶格仿真 WfRXP^a 3. 超表面微纳结构 FC4wwzb 超表面分光光栅设计 H6gSO(U 设计和分析超透镜 OcO3v'& 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 Y|/ 8up 4. 包含光栅的光学系统仿真 %SUQ9\SEs 光栅衍射测量 T6kdS]4- 结构光照明的显微镜系统 N)Z?Z+}h 微结构晶圆检测系统 nT)vNWT= 泰伯效应 4`=mu}Y2 Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131528]
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