VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
sYgnH:t X 时间地点 Z9^$jw] 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 H
>{K]7D/y 苏州黉论教育咨询有限公司 9Q1GV>j>B 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 `roSOX1f 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 []Ea0jYu 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 T480w6-@ 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) {`zF{AW8q @>j \~<% 课程简介: #|i{#~gxM 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 ;~;St>?\R\ r8.v0b"1 课程大纲: &Hxr3[+$ 第一天 v a;wQ~& 1. 光栅结构建模 Nf'9]I 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 =h;!# ZC 光栅的建模 U:e9Vq'N m 2. 光栅仿真算法比较 ,oe{@z{*@ 薄元近似法(Thin Element Approximation) ,;18: 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) /B7
GH5 3. 光栅严格分析实例 mY(
_-[W 闪耀光栅 -9"Ls?Cu 光栅与偏振 Uo
,3 lMr 非傍轴衍射分束器分析 t79MBgZ 4. 光栅设计与优化 w>s 倾斜光栅结构参数优化 ^D|c 公差分析 ~s_$a8 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 U\{Z{F%8 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 NU[{oI<a Q&A VJaL$Wv)H 0a'y\f:6* 第二天 %9.KH 1. 二维光栅结构建模 |&Q=9H*e 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) @:I/lg=Qd 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
dp"w=~53 2. 二维光栅设计优化 m.*+0NG 抗反射蛾眼结构设计 ;Z*RCuwg 公差分析 LzfLCGA^ 纳米柱的严格分析 voxlo>: 共振光子晶格仿真 ;`+,gVrp 3. 超表面微纳结构 L%"Mp(gZ 超表面分光光栅设计 HNPr|
( 设计和分析超透镜 ~6nQ- 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 ajAEGD2Zq 4. 包含光栅的光学系统仿真 ')+EW"
e 光栅衍射测量 ?8 F7BS4oQ 结构光照明的显微镜系统 )".gjW8{#L 微结构晶圆检测系统 i=4bY[y 泰伯效应 }!LYV Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131528]
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