方形晶胞

ROvY,-?   这是一个简单的二维光栅的案例，它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体)，并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 hTWZIW@   neE Zw#(Z   光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 S偏振光照明的场矢量 "kC 6G%   P偏振光照明的场矢量 }gFa9M<   g-,lY|a   后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 =M9R~J!   i[MBO`FF   参数扫描 C~ ?p85   `z.sWF|f!O   Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度： 9P,[MZ   >rSCf=   在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下，其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系 ,% 'r:@'

=[[I<[BZq

Ui-Y`