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2025-02-05 08:03 |
VirtualLab Fusion应用：F-Theta扫描透镜的性能评估
摘要 unN*L
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 6se[>'5
建模任务 1[Jv9S*f/
系统构建块-扫描源 $4C siZ6
系统构建块-透镜系统组件 5.Nc6$
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系统构建块-参数耦合 cbx(
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系统构建块-畸变分析仪 b:*(
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通用探测器和探测器附加组件 b~rlh=(o#_
总结-组件… Xr|e%]!**
系统查看 \T`iq[+6
通过系统：三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 _cc9+o
性能评估-光斑位置偏差 a&n}pn En)
性能评估-光斑直径测量 Eds{-x|10
VirtualLab Fusion技术 N2EX`@_2
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