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2025-02-05 08:03 |
VirtualLab Fusion应用：F-Theta扫描透镜的性能评估
摘要 )s_n
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 dU) ]:>Uz
建模任务 1MlU G5
系统构建块-扫描源 ldha| s.*
系统构建块-透镜系统组件 $+JS&k/'m
系统构建块-参数耦合 ]\-^>!F #K
系统构建块-畸变分析仪 az0<5 Bq)
通用探测器和探测器附加组件 Fm\"{)V:b
总结-组件… E 99hlY~1:
系统查看 5r~# 0Zf*
通过系统：三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 j#r6b]k(Hv
性能评估-光斑位置偏差 ) J]9 lW&y
性能评估-光斑直径测量 `Z: R Ce^
VirtualLab Fusion技术 GSclK|#t E
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