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AR膜中间脱膜
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飞奔的牛
2025-01-22 09:42
AR膜中间脱膜
6层膜,GE/ZNS/ GE/ZNS/ GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜,晶圆经过划成小片,边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因
Hh=D:kE
目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好
S8+Xk= x
[attachment=131374]
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AR膜中间脱膜
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