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飞奔的牛 2025-01-22 09:42

AR膜中间脱膜

6层膜，GE/ZNS/  GE/ZNS/  GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜，晶圆经过划成小片，边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因 4<ER dP7"-  
目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好 [ j1SX-NX  
[attachment=131374]
ouyuu 2025-02-20 11:33
真空度，温度，镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的？阻蒸还是电子枪？
nailiang 2026-07-16 13:12
楼主问题有解决吗？我们倒数第二层用的ybf3。超声过后最外层的zns出现了整块脱膜，脱膜范围是基片边缘一圈。
飞奔的牛 2026-07-17 14:18
nailiang:楼主问题有解决吗？我们倒数第二层用的ybf3。超声过后最外层的zns出现了整块脱膜，脱膜范围是基片边缘一圈。 (2026-07-16 13:12)  0=t_ a]+  
y{!`4CxF  
建议做完加个退火处理，我是修改了离子源的参数解决的
飞奔的牛 2026-07-17 14:20
ouyuu:真空度，温度，镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的？阻蒸还是电子枪？ (2025-02-20 11:33)  TD!QqLW  
J\m7U  
基本都试验了，最后改的离子源参数，增加退火处理，怀疑应力没释放掉
nailiang 2026-07-17 15:23
飞奔的牛:建议做完加个退火处理，我是修改了离子源的参数解决的 (2026-07-17 14:18)  sI9~TZ :  
~y B[}BPf  
你们的离子源是全程开启的吗？我们只是打底层使用离子源辅助
飞奔的牛 2026-07-20 13:49
nailiang:你们的离子源是全程开启的吗？我们只是打底层使用离子源辅助 (2026-07-17 15:23)  ZFz>" vt@  
9at7$Nq  
不算全程开启，中间层1-2层没加
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