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飞奔的牛	2025-01-22 09:42
AR膜中间脱膜 6层膜，GE/ZNS/ GE/ZNS/ GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜，晶圆经过划成小片，边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因 =v<A&4 目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好 ;Sg.E8 [attachment=131374]

ouyuu	2025-02-20 11:33
真空度，温度，镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的？阻蒸还是电子枪？

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