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飞奔的牛 2025-01-22 09:42

AR膜中间脱膜

6层膜,GE/ZNS/  GE/ZNS/  GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜,晶圆经过划成小片,边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因 Hh=D:kE  
目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好 S8+Xk= x  
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