首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 元件内部场分析仪:FMM [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2025-01-07 07:55

元件内部场分析仪:FMM

摘要 % tN{  
e3yBB*@  
o=X6PoJ N_  
o2He}t2o  
元件内部场分析器:FMM允许用户可视化和研究微结构和纳米结构内部的电磁场分布。为此,使用傅立叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算周期性结构(透射或反射、电介质或金属)内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化:正向模式、反向模式或两者同时显示。 FQ*4?D,A  
_iO,GT=J-  
元件内部场分析仪:FMM k ?X  
[ft#zxCJ  
Ont4-AP   
元件内部场分析器:FMM是光栅光学装置的独有功能,可提供光栅结构内部电磁场的可视化。 Vp  .($  
1l"A7 V  
评估模式的选择 cP''  
  
h1^q};3!W\  
&~29%Ns  
为了更容易地区分入射场、反射场和透射场,可以仅评估正向或反向传播模式,或者评估两者的总和。 ;3s_#L  
Em N0K'x  
评价区域的选择 }H&NR?Ax  
   F0t!k>  
#joGIw  
T@;z o8:  
元件内部场分析器:FMM可以输出整个元件(包括基板)内部的场,或者只输出一个堆栈或基块(基板)中的场。 Y4sf 2w  
h3$.` >l  
不同光栅结构的场分布 t|jX%s=  
j{?,nJdQ  
任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子: p6$ QTx  
{0+gPTp  
c^S^"M|  
光栅结构的采样 a;|C51GH  
12M&qqV  
虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项,但系统中定义的光栅表面必须正确采样(例如,分解点和过渡点的层数足够)。 -o#HO_9  
\Lv eZ_h5  
4\H:^U&  
8l-+ 4~mH  
分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。 XO~xbG7>gZ  
3@kiUbq7Eu  
光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛,即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如,如果层分解过于粗糙,则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。 Z"<aS&GH  
7afD^H%  
Ad xCP\S&  
输出数据的采样:一维周期光栅(Lamellar) Wky=]C%  
?dP3tLR  
5M4mFC6  
对于1D周期性(片状)光栅,分析仪使用对话框“采样”部分中指定的参数生成2D横截面图像。 3<LG~HWST  
=/&ob%J)9]  
输出数据的采样:二维周期光栅 J?&lpsB3_l  
jbcJ\2  
当分析的光栅设置为2D Periodic时,Field Inside Component Analyzer:FMM将通过结构生成一系列二元截面,z方向的采样参数决定执行的切割次数。
dPwe.:  
查看本帖完整版本: [-- 元件内部场分析仪:FMM --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计