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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
;Uk!jQh 内容简介 hT=f;6$ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~^7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @U7Dunu*f 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 <UK5eVQn 62NkU)u
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 rIPl6,w~ 目录 |UZOAGiBg Preface 1 =+(Q.LmhC 内容简介 2 65"uD7; 目录 i -7L 1 引言 1 '_E c_F 2 光学薄膜基础 2 d"l}Ny)C 2.1 一般规则 2 &:#A+4& 2.2 正交入射规则 3 yjv&4pIc1 2.3 斜入射规则 6 TMtI^mkB: 2.4 精确计算 7 5%qH7[dx 2.5 相干性 8 p\ok_*b 2.6 参考文献 10 JP_kQ 3 Essential Macleod的快速预览 10 KT%{G8Y@M 4 Essential Macleod的特点 32 /sH0x,V 4.1 容量和局限性 33 500>
CBL0O 4.2 程序在哪里? 33 N.n1< 4.3 数据文件 35 Nc"NObe 4.4 设计规则 35 UC;=) 4.5 材料数据库和资料库 37 }(cY| 4.5.1材料损失 38 2moIgJ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 $%;jk 4.5.2 材料库 41 mCG;[4gM 4.5.3导出材料数据 43 t}c v2S 4.6 常用单位 43 #O><A&FrF` 4.7 插值和外推法 46 VX&WlG`wa 4.8 材料数据的平滑 50 |87W* 4.9 更多光学常数模型 54 7>KQRLw 4.10 文档的一般编辑规则 55 $&Ac5Zo%} 4.11 撤销和重做 56 Bj+wayMi 4.12 设计文档 57 u<C$'V 4.10.1 公式 58 T#Fn:6_= 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "bi != 4.10.3 沉积密度 59 ,.q8Xf 4.10.4 平行和楔形介质 60 <\Vi,, 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 :=Nb=&lst 4.10.4 性能 61 CCn/ udp@ 4.10.5 保存设计和性能 64 /xF 9:r 4.10.6 默认设计 64 }*Dd/'2+1 4.11 图表 64 dGa@<hg 4.11.1 合并曲线图 67 -@#Pc# 4.11.2 自适应绘制 68 oN4G1U
Kc 4.11.3 动态绘图 68 bbO+%-(X 4.11.4 3D绘图 69 uGM>C" 4.12 导入和导出 73 D|"sE> 4.12.1 剪贴板 73 &6Ns7w6*z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 srhFEmgN7) 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4u7Cm 4.13 背景 77 m_(E(_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 c'xUJhEL 4.15 生成Rugate 84 F],TG&>5 4.16 参考文献 91 kO jEY 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 1"M"h_4 5.1 Jobs 92 aQxe) 5.2 创建一个新Job(工作) 93 a4:`2 5.3 输入材料 94 ^z38<L=z" 5.4 设计数据文件夹 95 sN;(/O 5.5 默认设计 95 xP42xv9U 6 细化和合成 97 x
Ridc^ 6.1 优化介绍 97 }Z^FEd"y 6.2 细化 (Refinement) 98 _ \_3s 6.3 合成 (Synthesis) 100 :l4^iSf 6.4 目标和评价函数 101 gZ1N&/9; 6.4.1 目标输入 102 #&}%70R) 6.4.2 目标 103 @Ap@m6K?q 6.4.3 特殊的评价函数 104 *h>OW 6.5 层锁定和连接 104 bJANZn|H 6.6 细化技术 104 bGhhh/n 6.6.1 单纯形 105 Q3(hK<Qh; 6.6.1.1 单纯形参数 106 N'I?fWN!;R 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 7 FEzak' 6.6.2.1 Optimac参数 108 A&D2T 6.6.3 模拟退火算法 109 <.;@ksCPW{ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 mi*:S%;h 6.6.4 共轭梯度 111 )J{.Cx<E 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 =;kRk.qzy 6.6.5 拟牛顿法 112 $_ST:h&C 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 [^h/(a` 6.6.6 针合成 113 MacL3f 6.6.6.1 针合成参数 114 f S(^["*G 6.6.7 差分进化 114 muW`pm 6.6.8非局部细化 115 e!TG< (S 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]kyle3#-~ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 9NJ=~Ub- 6.7.1 细化 116 ~3LhcU- 6.7.2 合成 117 Rc$=+K# 6.8 参考文献 117 ]!n*V/g 7 导纳图及其他工具 118 ~vO'p 7.1 简介 118 ;JMOsn}8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .;]YJy 7.2.1 四分之一波长规则 119 pyu46iE) 7.2.2 导纳图 120 ---Ks0\V 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 1"mnzbf8* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 jB}_Slh1j 7.5 斜入射导纳图 141
\r:m({G 7.6 对称周期 141 A}az
m> 7.7 参考文献 142 R^n*
o 8 典型的镀膜实例 143 v'mJ~tz 8.1 单层抗反射薄膜 145 K *
xM[vO 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 J"m%q\' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 DW'0j$; 8.4 W-膜层 148 uJ2C+$=Ul 8.5 V-膜层 149 >FK)p
8.6 V-膜层高折射基底 150 wFKuSd 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ]w1BJZa36 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 n_e}>1_ 8.9 四层抗反射薄膜 153 k1~nd=p 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 g_-?h&W 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #n6FQ$l8m 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 T%N~oa 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Rx@%cuP* 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 wN/*|?`Z 8.15十五层宽带抗反射膜 159 t-?KKU8 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9-X{x95] 8.17 1/4波长堆栈 162 S)Ub/`f{s 8.18 陷波滤波器 163 '#pMEVP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 =Qjw.6@ 8.20 褶皱 165 WrIL]kJw^ 8.21 消偏振分光器1 169
f4A4 8.22 消偏振分光器2 171 ,?7xb]h 8.23 消偏振立体分光器 172 yhJA;&}> 8.24 消偏振截止滤光片 173 4{Yy05PFS 8.25 立体偏振分束器1 174 7g4M/?H}K 8.26 立方偏振分束器2 177 UIm[DYMS 8.27 相位延迟器 178 .f?qUg 8.28 红外截止器 179 Lk8W&|;0| 8.29 21层长波带通滤波器 180 d~P<M3#> 8.30 49层长波带通滤波器 181 ~%8Q75tn. 8.31 55层短波带通滤波器 182 ]ft~OqLg! 8.32 47 红外截止器 183 <MWXew7b 8.33 宽带通滤波器 184 O=!)})YG 8.34 诱导透射滤波器 186 ,_5YaX:<4 8.35 诱导透射滤波器2 188 TCEXa?,L 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /w}B07. 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 5pKvNLy.t 8.35 增益平坦滤波器 193 {{4p{ 8.38 啁啾反射镜 1 196 y. ivz 8.39 啁啾反射镜2 198 iA^+/Lt 8.40 啁啾反射镜3 199 t^bdi}[ 8.41 带保护层的铝膜层 200 @FnI?Rx 8.42 增加铝反射率膜 201 :DJ7d 8.43 参考文献 202 6Mf3)o2 9 多层膜 204 yjM@/b 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 S$kuhK>W! 9.2 内部透过率 204 i?i7T` 9.3 内部透射率数据 205 s&QBFyKtJ 9.4 实例 206 c|!A?>O? i 9.5 实例2 210 w$U/;C 9.6 圆锥和带宽计算 212 W2W2WyPk 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 \+evZ{Pu 10 光学薄膜的颜色 216 Fv7%TK{oe 10.1 导言 216 >b!X&JU 10.2 色彩 216 f2w=ln 10.3 主波长和纯度 220 GJ^]ER-K 10.4 色相和纯度 221 _ \y0 mc4 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 y
T1Qep 10.6 色差 226 HC;I0&v> 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 z
kX-"}$8 10.8 颜色渲染指数 234 |au qj2 10.9 色差计算 235 ,Dii?P 10.10 参考文献 236 #()cG 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zcD_}t_K 11.1 短脉冲 238 D@4&@> 11.2 群速度 239 BHJ'[{U*w 11.3 群速度色散 241 :hhE=A>X 11.4 啁啾(chirped) 245 Mn }Z9S[ 11.5 光学薄膜—相变 245 ,O&PLr8cJ? 11.6 群延迟和延迟色散 246 ]Re~V{uh 11.7 色度色散 246 C +?@iMh 11.8 色散补偿 249 mP$G9R 11.9 空间光线偏移 256 N5 rG.6K 11.10 参考文献 258 3}#XA+Z 12 公差与误差 260
\#+2;L 12.1 蒙特卡罗模型 260 :2UC{_ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Pq J* 12.2.1 误差工具 267 c%LB|(@j{ 12.2.2 灵敏度工具 271 :@@A 12.2.2.1 独立灵敏度 271 va/4q+1GfH 12.2.2.2 灵敏度分布 275 I\uB"Z{9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )Y,?r[4{ 12.3 参考文献 276 Va
|9)m 13 Runsheet 与Simulator 277 xjhAAM 13.1 原理介绍 277 548[!p4 13.2 截止滤光片设计 277 n-b<vEZw# 14 光学常数提取 289 /E4 }d=5L 14.1 介绍 289 (8-lDoW 14.2 电介质薄膜 289 "O*W]e 14.3 n 和k 的提取工具 295 , w'$T) 14.4 基底的参数提取 302
&pY G 14.5 金属的参数提取 306 $@qs(Xwr 14.6 不正确的模型 306 k-ex<el)# 14.7 参考文献 311 f~" V 15 反演工程 313 v yLAs; 15.1 随机性和系统性 313 -z 5k4Y 15.2 常见的系统性问题 314 nM.?Q}yO~ 15.3 单层膜 314 vsz^B
:j 15.4 多层膜 314 Mm7n?kb6 15.5 含义 319 ?^$4)Y>Kf 15.6 反演工程实例 319 B?ob{K@ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 WKIiJ{@L 15.6.2 反演工程提取折射率 327 +l?ro[#6&. 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,8o*!(uO2 16.1 光学性质的热致偏移 329 ^YJ^+:D( 16.2 应力工具 335 $E,DxDT 16.3 均匀性误差 339 ;1g-z] 16.3.1 圆锥工具 339 HJ1\FO9\ 16.3.2 波前问题 341 w$;*~Qc 16.4 参考文献 343 Y7V&zF{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 . nF 17.1 引言 345 ?M-8Fp3 + 17.2 操作数 345 &aAo:pj 18 如何在Function中编写脚本 351 4Z~Dxo 18.1 简介 351 i[\u-TF 18.2 什么是脚本? 351 %3+hz$E 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Nl<,rD+KSD 18.4 基础 352 No&[ \; 18.4.1 Classes(类别) 352 iN4'jD^oP 18.4.2 对象 352 p>tdJjnt 18.4.3 信息(Messages) 352 wYMX1= 18.4.4 属性 352 ?| LB:8
18.4.5 方法 353 /^eemx 18.4.6 变量声明 353 dlzamoS@AR 18.5 创建对象 354 9c %Tv 18.5.1 创建对象函数 355 ^?]H$e 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 n9/0W%X> 18.5.3 丢弃对象 356 {5IG3' 18.5.4 总结 356 N5Mz=UgB 18.6 脚本中的表格 357 @OY-(cW 18.6.1 方法1 357 Ml/p{ *p 18.6.2 方法2 357 yIf}b 18.7 2D Plots in Scripts 358 \J:T] 18.8 3D Plots in Scripts 359 gI5nWEM0{ 18.9 注释 360 / lM~K: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :QL p`s 18.11 一个更高级的脚本 362 M*6@1.n 18.12 <esc>键 364 N_Ld,J%g 18.13 包含文件 365 Bg0cC 18.14 脚本被优化调用 366 M>gZVB,eP> 18.15 脚本中的对话框 368 Jv.R?1;8i 18.15.1 介绍 368 ({nSs5)$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 [IBk-opap 18.15.3 输入框函数 370 KmOa^vY1.T 18.15.4 自定义对话框 371 V@'S#K# 18.15.5 对话框编辑器 371 }Y ];ccT 18.15.6 控制对话框 377 TC{Qu;`H+U 18.15.7 更高级的对话框 380 *9(1:N;# 18.16 Types语句 384 PM>XT 18.17 打开文件 385 Z2jb>% 18.18 Bags 387 c+/C7C o 18.13 进一步研究 388 YY~=h5$ 19 vStack 389 32P ]0&_O 19.1 vStack基本原理 389 K.1yncS^ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 V>92/w.fe 19.3 五棱镜 393 s;WCz 19.4 光束距离 396 2vQ^519 19.5 误差 399 2B dr#qr 19.6 二向分色棱镜 399 l*H"]6cXRL 19.7 偏振泄漏 404 1 ZFSz{ 19.8 波前误差—相位 405 ea>\.D-S 19.9 其它计算参数 405 4H)"d 20 报表生成器 406 =T}uQ$X 20.1 入门 406 QXj(Urp 20.2 指令(Instructions) 406 Wj=ex3K3u. 20.3 页面布局指令 406 NP*0WT_gB 20.4 常见的参数图和三维图 407 E2kRt'~N 20.5 表格中的常见参数 408 hP<qK Vy 20.6 迭代指令 408 S]=Vr%irX 20.7 报表模版 408 M)^9e? 20.8 开始设计一个报表模版 409 1u+(rVQN 21 一个新的project 413 [V0 h9! 21.1 创建一个新Job 414 S9oGf 21.2 默认设计 415 S`w)b'B!M 21.3 薄膜设计 416 >{Z=cv/6o 21.4 误差的灵敏度计算 420 j!7Uj] 21.5 显色指数计算 422 gj
X1b2 21.6 电场分布 424 S6tH!Z=(g 后记 426 3[Iw%% q 感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131234] AB\4+ CLV
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