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2025-01-04 15:10 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
>:E-^t% 内容简介 oxXW`C< Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 JP*mQzZL 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Z M, ^R?e 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 G6VHl:e7z U)]natB
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 lG#&1 目录 7lPk~0 Preface 1 gt (nZ 内容简介 2 0-f- 目录 i &7u
Ra1/R 1 引言 1 =U`c
}dhS 2 光学薄膜基础 2 B F|FW 2.1 一般规则 2 U2nRgd 2.2 正交入射规则 3 iPpJ`i#@+ 2.3 斜入射规则 6 iquGLwJ 2.4 精确计算 7 Vn;]''_ 2.5 相干性 8 ]3jH^7[? 2.6 参考文献 10 6ng g*kE< 3 Essential Macleod的快速预览 10 08jQq# 4 Essential Macleod的特点 32 # |[@Due 4.1 容量和局限性 33 }"H900WE| 4.2 程序在哪里? 33 &B7KWvAy 4.3 数据文件 35 ]%hI- 4.4 设计规则 35 (1]@ fCd + 4.5 材料数据库和资料库 37 y36aoKH 4.5.1材料损失 38 O#Hz5A5 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Y2&6xTh 4.5.2 材料库 41 Z@A 1+kUS 4.5.3导出材料数据 43 L-gF$it\*b 4.6 常用单位 43 U5
"v1"Ec 4.7 插值和外推法 46 L$Z_j()2 4.8 材料数据的平滑 50 zZiVBUmE< 4.9 更多光学常数模型 54 `2 4.10 文档的一般编辑规则 55 Av]N.HB$ 4.11 撤销和重做 56 Ve)
:I 4.12 设计文档 57 ox#4|<qM 4.10.1 公式 58 [~S0b 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 4q8%!\A+ 4.10.3 沉积密度 59 bYH_U4b 4.10.4 平行和楔形介质 60 7B`0mK3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 -
[j0B|cwG 4.10.4 性能 61 G[,VPC= 4.10.5 保存设计和性能 64 ]!w52kF7 4.10.6 默认设计 64 M!'tD!NWc 4.11 图表 64 >UH=]$0N 4.11.1 合并曲线图 67 Fj4:_(%nG 4.11.2 自适应绘制 68 ,Z"sh* 4.11.3 动态绘图 68 Wfy+7$14M 4.11.4 3D绘图 69 3I(H.u 4.12 导入和导出 73 WU_Q
7%+QS 4.12.1 剪贴板 73 A???s,F_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 XW:(FzF 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 e(A&VIp 4.13 背景 77 t[~i})yS 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 2Y{9Df 4.15 生成Rugate 84 uESHTX/[ 4.16 参考文献 91 2c]O Mtk 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 E;0"1
P|S 5.1 Jobs 92 0@;E8^pa 5.2 创建一个新Job(工作) 93 6m&I_icM 5.3 输入材料 94 tvILLR 5.4 设计数据文件夹 95 u e~1144 5.5 默认设计 95 ?'r[P03 6 细化和合成 97 p9J( ,} 6.1 优化介绍 97 #D8)rs.9 6.2 细化 (Refinement) 98 HtlXbzN%) 6.3 合成 (Synthesis) 100 .~']gih# 6.4 目标和评价函数 101 b-XBs7OAx 6.4.1 目标输入 102 9AaixI 6.4.2 目标 103 ~Tolz H! 6.4.3 特殊的评价函数 104 @P/{x@J 6.5 层锁定和连接 104 x g@;d 6.6 细化技术 104 B}.ia_&DLR 6.6.1 单纯形 105 'WoX-y 6.6.1.1 单纯形参数 106 O"GzeEY7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 O.!?O( 6.6.2.1 Optimac参数 108 );vU=p"@ 6.6.3 模拟退火算法 109 Ff30% 6.6.3.1 模拟退火参数 109 GS@ wG 6.6.4 共轭梯度 111 ;Lx5r=<Hx 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]up:pddIh 6.6.5 拟牛顿法 112 ~QXNOtVsN 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Bvwk6NBN 6.6.6 针合成 113 @ M-bE= 6.6.6.1 针合成参数 114 MwZ`NH|n3" 6.6.7 差分进化 114 v{+*/NQ_ 6.6.8非局部细化 115 tW +I? 6.6.8.1非局部细化参数 115 2C>PxA6l 6.7 我应该使用哪种技术? 116 -z@}:N-uR 6.7.1 细化 116 y g7z?AZ 6.7.2 合成 117 &E~7ty' 6.8 参考文献 117 hH~Z hB 7 导纳图及其他工具 118 4YJs4CB 7.1 简介 118 @eul~%B{X 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Sc(2c.HO* 7.2.1 四分之一波长规则 119 ~![R\gps 7.2.2 导纳图 120 Xc.~6nYp 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 U i;o/Z3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 7~
2X/ 7.5 斜入射导纳图 141 ]yyfE7{q 7.6 对称周期 141 n*V^Qf 7.7 参考文献 142 HV>W f"1 8 典型的镀膜实例 143 /lUb9&yV 8.1 单层抗反射薄膜 145 LY"/ Q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 l\bBc,%jt 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \J6T:jeS, 8.4 W-膜层 148 7dLPy[8";t 8.5 V-膜层 149 FD8aO?wvg 8.6 V-膜层高折射基底 150 ][9M_. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 +`ZcYLg)# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 v{I:Wxe 8.9 四层抗反射薄膜 153 ~ohW9Z1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 BZE19! 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 SFuzH)+VO 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 n'&WIf3 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ^rI&BN@S 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "<kmiK/ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 tFRWxy[5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 tTY (I1 8.17 1/4波长堆栈 162 7XZ!UC;i 8.18 陷波滤波器 163 z E{.oi 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (2S,0MHk 8.20 褶皱 165 sI`Lsd'V 8.21 消偏振分光器1 169 \aG>(Mr 8.22 消偏振分光器2 171 :Y"f.> 8.23 消偏振立体分光器 172 Qf"gH<vT 8.24 消偏振截止滤光片 173 R+5x:mpHy 8.25 立体偏振分束器1 174 |*!I(wm2i 8.26 立方偏振分束器2 177 i~4:]r22 8.27 相位延迟器 178 Yx,
8.28 红外截止器 179 e-Eoe_k 8.29 21层长波带通滤波器 180 [
%r :V" 8.30 49层长波带通滤波器 181 idV4hMF9 8.31 55层短波带通滤波器 182 #T+%$q [: 8.32 47 红外截止器 183 zd+8fP/UB 8.33 宽带通滤波器 184 |n0 )s% 8` 8.34 诱导透射滤波器 186 l("_JI 8.35 诱导透射滤波器2 188 -O{Af 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 gXG1w> 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $ U<xrN>O 8.35 增益平坦滤波器 193 BK,=(;d3 8.38 啁啾反射镜 1 196 )t=Cj?5 8.39 啁啾反射镜2 198 5pz%DhjLo 8.40 啁啾反射镜3 199 .HMO7n6)8l 8.41 带保护层的铝膜层 200 v50=D/&w 8.42 增加铝反射率膜 201 sz_|py?0 8.43 参考文献 202 ppS,9e- 9 多层膜 204 m39 `f,M 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 53#7Yy 9.2 内部透过率 204 n
pBpYtG 9.3 内部透射率数据 205 +oeO0 9.4 实例 206 Qu!Lc:oM? 9.5 实例2 210 Wl}d6ZTm 9.6 圆锥和带宽计算 212 HA>b'lqBM 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 #R@{Bu=C 10 光学薄膜的颜色 216 7\eN8+ 10.1 导言 216 <$_B J2Z 10.2 色彩 216 rj<r6 10.3 主波长和纯度 220 (@~d9PvB> 10.4 色相和纯度 221 EG2NE,,r 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nJlrBf_Kj 10.6 色差 226 J6Cw1Pi 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $#1i@dI 10.8 颜色渲染指数 234 36e!je 10.9 色差计算 235 V`=#j[gX)= 10.10 参考文献 236 d0eMDIm3R\ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6;k#|-GU& 11.1 短脉冲 238 \2@OS6LUe 11.2 群速度 239
r1)Og 11.3 群速度色散 241 BJwPSKL 11.4 啁啾(chirped) 245 )EcE{!H6+ 11.5 光学薄膜—相变 245 )k{zRq:d 11.6 群延迟和延迟色散 246 I HgYgn 11.7 色度色散 246 Q
>] v?4 11.8 色散补偿 249 "8>*O;xk 11.9 空间光线偏移 256 +2!F6"hP 11.10 参考文献 258 ?dY}xE
12 公差与误差 260 }>>lgW>n,; 12.1 蒙特卡罗模型 260 .|;`qUo 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ]N,n7v+} 12.2.1 误差工具 267 7'k+/rAO 12.2.2 灵敏度工具 271 ,~p'p) 12.2.2.1 独立灵敏度 271 );'8*e' 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Tn8Z2iC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 FE,&_J" 12.3 参考文献 276 ]^uO3!+ 13 Runsheet 与Simulator 277 2'$p( 13.1 原理介绍 277 "z8L}IC!e5 13.2 截止滤光片设计 277 q4C$-W%rj 14 光学常数提取 289 t ]7>' U 14.1 介绍 289 :$lx] 14.2 电介质薄膜 289 wK!4:]rhG 14.3 n 和k 的提取工具 295 LzEs_B=9 14.4 基底的参数提取 302 1-!u=]JDE 14.5 金属的参数提取 306 3@f@4t@5V 14.6 不正确的模型 306 ?KDI'>"-v 14.7 参考文献 311 RBd{1on 15 反演工程 313 #p_3j 0S 15.1 随机性和系统性 313 9
N[k ?kUZ 15.2 常见的系统性问题 314 ,IX:u1mO 15.3 单层膜 314 .gh3" 15.4 多层膜 314
I4.^I/c( 15.5 含义 319 I"eXoqh 15.6 反演工程实例 319 hosw :% 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 WLqwntzk 15.6.2 反演工程提取折射率 327 gpB3\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?{ns1nW: 16.1 光学性质的热致偏移 329 PBc.}TSGj 16.2 应力工具 335 zZE
2%fqM 16.3 均匀性误差 339 OsAH!e 16.3.1 圆锥工具 339 jl YnV/ ] 16.3.2 波前问题 341 Ke@zS9 16.4 参考文献 343 {B8W>>E 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 gh>'O/9 17.1 引言 345 ^kA^>vi 17.2 操作数 345 {p@u H<) 18 如何在Function中编写脚本 351 {L^b['h@ 18.1 简介 351 \x\_I1| 18.2 什么是脚本? 351 2A'!kd$2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 aVcQ 18.4 基础 352 xFvDKW)_X7 18.4.1 Classes(类别) 352 m08:EXP 18.4.2 对象 352 B/u0^! 18.4.3 信息(Messages) 352 aUUr&yf_L 18.4.4 属性 352 ?$T!=e" 18.4.5 方法 353 R1 u1 18.4.6 变量声明 353 3}V`]B#a 18.5 创建对象 354 'S]7:/CI 18.5.1 创建对象函数 355 |>(d^<nR^v 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 #Ux*": 18.5.3 丢弃对象 356 0EiURVX 18.5.4 总结 356 t '
_Au8 18.6 脚本中的表格 357 (:v|(Gn/ 18.6.1 方法1 357 -?{bCq 18.6.2 方法2 357 }+ ";W) R 18.7 2D Plots in Scripts 358 c@H:?s!0R 18.8 3D Plots in Scripts 359 #~<cp)!3 18.9 注释 360 e%.Xya#\ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 F/GfEMSE 18.11 一个更高级的脚本 362 O/b~TVA 18.12 <esc>键 364 )pELCk 18.13 包含文件 365 k1Cx~Q)XC 18.14 脚本被优化调用 366 ernZfd{H 18.15 脚本中的对话框 368 {!h|(xqN+ 18.15.1 介绍 368 W3K&C[f 18.15.2 消息框-MsgBox 368 49.
@Uzo 18.15.3 输入框函数 370 MR:GH.uM: 18.15.4 自定义对话框 371 < | |