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小火龙果 2024-12-23 09:59

如何查看光学系统的衍射强度 | SYNOPSYS光学设计软件课程第93课

本文主要讲如何查看光学系统的衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF,同时也会用到DIFF指令。 BHE((3  
首先,我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’,在像质分析功能中选择PSF:
pHFh7-vj  
镜头文件
请联系工作人员获取
_,i]ra{%  
`MgR/@%hr  
此刻可以看到相关的衍射强度图。
zv]-(<B  
U n#7@8,  
那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢?它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令,类似于一个点扩散函数,例如,我们要检查10以内的艾里斑直径,这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。
&X +Qi  
,uD F#xjl,  
得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令, hv'~S  
保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。
h94SLj]  
宏文件
请联系工作人员获取
xQ62V11R6  
bh&,*Y6=  
zi23k=  
接下来我们就得到了这样一张二维衍射强度图:
ujZki.x  
,epKt(vl  
可以用有以下指令获得沿单线穿过中心轴上场的衍射图样,同样以80%的遮挡为例。重新创建一个宏文件并输入:并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’,
宏文件
请联系工作人员获取
&+-ZXN  
FDaHsiI:  
_7YAF,@vT  
可以得到这样一张衍射强度图,如图所示艾里衍射环很明显。
p;:tzH\l  
2B_6un];W  
在DIFF中加入log可以查看衍射强度的对数图,并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.3.MAC’
宏文件
请联系工作人员获取
aC>r5b#:  
v.)'b e*u  
然后可以得到这样一张衍射强度图,如下图所示,远离中心的微弱条纹显示出一个低价纹波,这是一个环隙宽度孔径的艾里斑衍射大小的函数。
fMr6ZmB  
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