中科飞测“光学系统以及检测设备”专利公布

近日，据国家知识产权局信息显示，上海中科飞测半导体科技有限公司取得一项名为“光学系统以及检测设备”的专利，授权公告号CN 222105753 U，申请日期为2024年4月。 >$RQ  
专利摘要显示，一种光学系统以及检测设备，涉及光学检测技术领域，光学系统包括：光源模块、至少两个视场光阑以及驱动组件，驱动组件与每个视场光阑连接，每个视场光阑的孔径大小均不相同；光源模块被配置为提供照明光束；驱动组件被配置为驱动至少一个视场光阑切入或切出光源模块的出射光路，该视场光阑被配置为限制光源模块提供的照明光束的光束尺寸。通过设置至少两个视场光阑，可以根据需要检测的结构的尺寸，通过驱动组件将对应的视场光阑切入光源模块的输出光路，实现对照明光束的尺寸调整，对最终的光斑大小进行调整。 M:9 6QM~