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infotek 2024-12-04 07:52

VirtualLab Fusion应用:非近轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 6* 0vUy*"  
YlR9 1L X  
设计任务 T`]P5Bk8r  
CT'#~~QB  
$H&:R&Us  
使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响
d b *J  
g yT0h?xDt  
光栅级次分析模块设置 d'b9.ki\  
.SNg2.  
使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
8= =_43  
A8:eA  
1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 9w=[}<E  
2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 7" )~JBH  
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 \: B))y?}d  
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
nU isC5HW  
衍射分束器表面 bU/YU0ZIT  
为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 NYzBfL x  
zw iS%-F  
衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) #u +~ ^M  
&)_ z!  
 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Q^* 3 3  
 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 s%RG_"l  
 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
k~fH:X~x  
0]^gT'  
光栅级次和可编程光栅分析仪 \5Y<UJ Ki  
tZu1jBO_Q4  
`}rk1rl6  
设计与评估结果 #wZH.i #  
相位功能设计 k~, k@mR  
结构设计 $R:Q R?   
TEA评价 I~;H'7|e  
FMM评估 =1<v1s|)q  
5du xW>D  
通用设置 .1_kRy2*.  
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Yb1Q6[!  
通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 \Pe+]4R-Xo  
:H+8E5  
纯相位传输设计 k+Z2)j"  
x0)WrDb  
>2X-98,  
结构设计 : LT'#Q8  
Z#YNL-x  
MV07RjeS  
更深的分析 KKWv V4u  
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 p./0N.  
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 &:1q3 gDm  
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 {-%8RSK=<  
v-/vj/4>  
使用TEA进行性能评估 wN :"(mQ  
 'S:$4j  
II Amx[ b  
使用FMM进行性能评估 R'" c  
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进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 14 (sp  
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 B&6lG!K'?  
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进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
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