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infotek 2024-12-04 07:52

VirtualLab Fusion应用:非近轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要
\}?X5X>  
直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 L!If~6oD(  
]2wxqglh)  
设计任务 4}uOut  
{4G/HW28  
aIV / c  
使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响
=\WF +r]V  
f|~{j(.v  
光栅级次分析模块设置 o'!=x$Ky  
7t:RQ`$:  
使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
M}V!;o<t^  
*7jz(iX  
1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 QkdcW>:a7  
2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 <ukBAux,D  
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 d}[cX9U/  
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
-V|"T+U  
衍射分束器表面 qJrT  
为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 U\Wo&giP[  
+ O.-o/  
衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) (?na|yd  
t~->&Ja   
 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 I4X9RYB6c  
 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 T$xB H  
 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
%M@K(Qu  
E[]5Od5#  
光栅级次和可编程光栅分析仪 qUkM No3  
N7+L@CC6T  
o eU i  
设计与评估结果 5QMra5Nk  
相位功能设计 JNfL jfE)<  
结构设计 5 8bW  
TEA评价 }'$PYAf6  
FMM评估 N]A# ecm  
"<!U  
通用设置 vjuFVJwL  
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 !qt2,V  
通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 o8bdL<  
6}"c4 ^k6  
纯相位传输设计 /o;M ?Nt6  
gsk? !D  
L (Y1ey9x  
结构设计 5I622d  
08`|C)Z!  
%c }V/v_h  
更深的分析 wGc7  
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ?l0eU@rwQ  
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 &]nx^C8V;  
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 c{1;x)L  
HC%Hbc~S_Q  
使用TEA进行性能评估 r7m~.M+W"  
HEF e?  
/<J(\;Jr6  
使用FMM进行性能评估 fjh|V9H  
1@F-t94I  
-K64J5|b7  
进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 +1ICX  
m\L`$=eO8  
m@td[^O-  
进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 w&p+mJL.  
a5 D|#9  
C0wtMD:G  
进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
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