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2024-12-03 14:29 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
7B\Vs-d 内容简介 N%*5 T[. Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 V^Q#:@0 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 O#S;q5L@ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &N\jG373 vRHd&0
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 [8=vv7wS 目录 rFj-kojg Preface 1 Pu*6"}#~ 内容简介 2 \Ani}qQ%| 目录 i D)m5 1 引言 1 q$B>|y U 2 光学薄膜基础 2 iA' lon 2.1 一般规则 2 rzm:Yx 2.2 正交入射规则 3 YW( Qmo7 2.3 斜入射规则 6 G <i@ 5\# 2.4 精确计算 7 lrIS{MJ+- 2.5 相干性 8 rPLm5ni 2.6 参考文献 10 (2^gVz=j 3 Essential Macleod的快速预览 10 YSTv\y 4 Essential Macleod的特点 32 0c<.iM 4.1 容量和局限性 33 0+kH:dP{ 4.2 程序在哪里? 33 %&w3;d;c 4.3 数据文件 35 2Q/4bJpd 4.4 设计规则 35 LIvFx| 4.5 材料数据库和资料库 37 lFV N07hG
4.5.1材料损失 38 g" .are'7 4.5.1材料数据库和导入材料 39 p8h9Ng*&` 4.5.2 材料库 41 ~,oMz<iMV 4.5.3导出材料数据 43 5ft`zf 4.6 常用单位 43 |yQZt/*SOZ 4.7 插值和外推法 46 FrL]^59a 4.8 材料数据的平滑 50 Z\ja 4.9 更多光学常数模型 54 B"TAjB&
* 4.10 文档的一般编辑规则 55 7!EBH(,z 4.11 撤销和重做 56 #t:S.A@ 4.12 设计文档 57 N343qU 4.10.1 公式 58 ,y
2$cO_> 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 i]6`LqlO 4.10.3 沉积密度 59 2\jPv`Ia 4.10.4 平行和楔形介质 60 p~BRh 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 V C24sU 4.10.4 性能 61 a1+#3X. 4.10.5 保存设计和性能 64 lyy W 4.10.6 默认设计 64 AGQ#$fh>7= 4.11 图表 64 T_@K&< 4.11.1 合并曲线图 67 r^3acXl
4.11.2 自适应绘制 68 Q@<S[Qh[. 4.11.3 动态绘图 68 k@f g(}6 4.11.4 3D绘图 69 <`B,R*H{ 4.12 导入和导出 73 j3{I /m 4.12.1 剪贴板 73 >*#1ZB_l 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Crho=RJPR 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (Pf+0,2 4.13 背景 77 v/68*,z[ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 (e!0]Io@ 4.15 生成Rugate 84 mpI5J'>] 4.16 参考文献 91 +e yc`J 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ZUVA EH% 5.1 Jobs 92 gQxbi1!;9 5.2 创建一个新Job(工作) 93 [E!oQVY 5.3 输入材料 94 ![YX]+jqNp 5.4 设计数据文件夹 95 ftvG\T f 5.5 默认设计 95 K?B{rE Lp 6 细化和合成 97 RrX[|GLSJ 6.1 优化介绍 97 86 W9rR 6.2 细化 (Refinement) 98 }XV+gyG=@ 6.3 合成 (Synthesis) 100 -:2$ % 6.4 目标和评价函数 101 !}v=N";c 6.4.1 目标输入 102 u frW\X 6.4.2 目标 103 }=gx# 6.4.3 特殊的评价函数 104 s+,OxRVw( 6.5 层锁定和连接 104 Hv
sob 6.6 细化技术 104 ^)(bM$(` 6.6.1 单纯形 105 m?pstuUK( 6.6.1.1 单纯形参数 106 ,SynnE68 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 *1p|5!4c 6.6.2.1 Optimac参数 108 M)'HCnvs' 6.6.3 模拟退火算法 109 Bg5Wba%NK 6.6.3.1 模拟退火参数 109 iOR_[ y, 6.6.4 共轭梯度 111 dv8>[# 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 !UG
7Uer 6.6.5 拟牛顿法 112 x }\64 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 42e|LUZg 6.6.6 针合成 113 <tF9V Jq 6.6.6.1 针合成参数 114 ;1`fC@rI 6.6.7 差分进化 114 @R/07&lBR 6.6.8非局部细化 115 ?t/~lv 6.6.8.1非局部细化参数 115 !c}O5TI|# 6.7 我应该使用哪种技术? 116 e,F1Xi#d 6.7.1 细化 116 Q1O}ly}JS 6.7.2 合成 117 ,k{#S?:b 6.8 参考文献 117 1rv)&tKs 7 导纳图及其他工具 118 9N9L}k b 7.1 简介 118 !>{G,\^=pT 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 rR9|6l
3 7.2.1 四分之一波长规则 119 pP*zq"o 7.2.2 导纳图 120 L\)ZC 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Kqp(%8mf 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 i@P)a'W_ 7.5 斜入射导纳图 141 ]+|~cRQ9I 7.6 对称周期 141 SSz~YR^}Sr 7.7 参考文献 142 eqP&8^HP 8 典型的镀膜实例 143 GNXHM*~ 8.1 单层抗反射薄膜 145 PZE0}>z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ?]Pmxp
H} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 AvxfI"sp 8.4 W-膜层 148 (g[h
8
c 8.5 V-膜层 149 B^j 8.6 V-膜层高折射基底 150 e\Y*F 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 J)`-+}7$v 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 }`W){]{kO 8.9 四层抗反射薄膜 153 x^kp^
/f 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 V.O(S\ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 .q
`Hjmg< 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 gCioq. 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 2q3+0Et8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 q;<h[b? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Cnbz=z 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 v%"|WV[N 8.17 1/4波长堆栈 162 ]8Q4BW 8.18 陷波滤波器 163 |$Xl/)Oq 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 bn^{c 8.20 褶皱 165 E"+QJ~! 8.21 消偏振分光器1 169 i\KQ!f>A 8.22 消偏振分光器2 171 JHz
[ 7 8.23 消偏振立体分光器 172 Min
^> 8.24 消偏振截止滤光片 173 <F}_ /q1 8.25 立体偏振分束器1 174 AWP"b?^G| 8.26 立方偏振分束器2 177 2$?C7(kW 8.27 相位延迟器 178 a^`rtvT 8.28 红外截止器 179 |&FkksNAl\ 8.29 21层长波带通滤波器 180 RLbKD> 8.30 49层长波带通滤波器 181 9?0^ap,T 8.31 55层短波带通滤波器 182 :^kZ.6Q@ 8.32 47 红外截止器 183 gW-V=LV ( 8.33 宽带通滤波器 184 kPVO?uO 8.34 诱导透射滤波器 186 7g%E`3)" 8.35 诱导透射滤波器2 188 4:|S` jm 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 .Nw=[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 cm?\
-[cV 8.35 增益平坦滤波器 193 U-IpH+E 8.38 啁啾反射镜 1 196 kL$!E9 8.39 啁啾反射镜2 198 kO|L bQ@=q 8.40 啁啾反射镜3 199 ~xD={9BL 8.41 带保护层的铝膜层 200 yp$_/p O=2 8.42 增加铝反射率膜 201 NMa}
< 8.43 参考文献 202 TMig-y*[ 9 多层膜 204 nHm}zOLc 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 TNGU6j}oq 9.2 内部透过率 204 H`0|tepz 9.3 内部透射率数据 205 s (zL 9.4 实例 206 jg.QRny^ 9.5 实例2 210 *.!Np9l,V 9.6 圆锥和带宽计算 212 KU8Jbl*
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 t0IEaj75c 10 光学薄膜的颜色 216 (+B5|_xQu 10.1 导言 216 13@|w1/Z 10.2 色彩 216 m06ALD_ 10.3 主波长和纯度 220 C}_ ojcR 10.4 色相和纯度 221 ynE)Xdh 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 YhDtUt}? 10.6 色差 226 VzY8rI 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 I~ok4L?VB 10.8 颜色渲染指数 234 *T5!{ 10.9 色差计算 235 mT.u0KUIy 10.10 参考文献 236 jV4\A
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 BDR.AZ 11.1 短脉冲 238 3?1`D/ 11.2 群速度 239 D^=J|7e 11.3 群速度色散 241 %O! v"Xh 11.4 啁啾(chirped) 245 T[j#M+p 11.5 光学薄膜—相变 245
w-Da~[J 11.6 群延迟和延迟色散 246 ~c %hWt 11.7 色度色散 246 @Ub"5Fl4 11.8 色散补偿 249 X)7x<?DAy 11.9 空间光线偏移 256 ~v6OsH%vx 11.10 参考文献 258 k3)dEH1z 12 公差与误差 260 ?XA2& 12.1 蒙特卡罗模型 260 $shoasSuI 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 xHz[t6;4; 12.2.1 误差工具 267 a{
?`t| 12.2.2 灵敏度工具 271 $`)/0{qY- 12.2.2.1 独立灵敏度 271 rvXWcu -" 12.2.2.2 灵敏度分布 275 NiU2@zgl 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 :}@g6 12.3 参考文献 276 |MFF7z{% 13 Runsheet 与Simulator 277 STxKE %l 13.1 原理介绍 277 bO'Sgc[] 13.2 截止滤光片设计 277 L5
veX} 14 光学常数提取 289 6WU(% 14.1 介绍 289 >hk=VyU; 14.2 电介质薄膜 289 j(RWO 14.3 n 和k 的提取工具 295 )6|yb65ZUX 14.4 基底的参数提取 302 B[Zjfc 14.5 金属的参数提取 306 mR}6r2O2\Q 14.6 不正确的模型 306 S$Q8>u6Wk 14.7 参考文献 311 v"OY 1<8 15 反演工程 313 6P5Ih
15.1 随机性和系统性 313 Q4f/Z 15.2 常见的系统性问题 314 ;9#Z@]p 15.3 单层膜 314 5A
sP5 15.4 多层膜 314 ^OstR`U3 15.5 含义 319 ReM=eS 15.6 反演工程实例 319 (UU(:/ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ~~SwCXZ+b^ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 D"J!\_o 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 rmE" rf 16.1 光学性质的热致偏移 329 ^!9~Nwn 16.2 应力工具 335 j}~86JO+Cw 16.3 均匀性误差 339 nIU 6h 16.3.1 圆锥工具 339 D (h18 16.3.2 波前问题 341 pBETA'fY 16.4 参考文献 343 ~[\_N\rm 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 b#K:_ac5 17.1 引言 345 %=/) 17.2 操作数 345 K)\M5id] 18 如何在Function中编写脚本 351 IGtl\b= 18.1 简介 351 \>7^f
3m 18.2 什么是脚本? 351 l&?}hq^'Dn 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 c2e
tc8 18.4 基础 352 ad:&$ 18.4.1 Classes(类别) 352 OU/MiyP2 18.4.2 对象 352 qeL5D* 18.4.3 信息(Messages) 352 1. rj' 18.4.4 属性 352 K00
87}H 18.4.5 方法 353 /C4^<k\ 18.4.6 变量声明 353 V( -mD 18.5 创建对象 354 Dg}
Ka7H 18.5.1 创建对象函数 355 OnK~3j 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ;ByOth|9P 18.5.3 丢弃对象 356 DBT&DS 18.5.4 总结 356 N9vP7 18.6 脚本中的表格 357 3Ei5pX =g 18.6.1 方法1 357 #:^YI
c 18.6.2 方法2 357 82]vkU 18.7 2D Plots in Scripts 358 R8T]2?Q1 18.8 3D Plots in Scripts 359 &'DU0c& 18.9 注释 360 r%.do;5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 E5N{j4\F 18.11 一个更高级的脚本 362 V2i@.@$j 18.12 <esc>键 364 7g(F#T?;' 18.13 包含文件 365 ODC8D>ZYl 18.14 脚本被优化调用 366 tc!wLnhG 18.15 脚本中的对话框 368 k:#P|z$UD 18.15.1 介绍 368 V`7FKL@" 18.15.2 消息框-MsgBox 368 WN_pd%m 18.15.3 输入框函数 370 {FG|\nPw 18.15.4 自定义对话框 371 TM|)Ljm 18.15.5 对话框编辑器 371 >+
4huRb 18.15.6 控制对话框 377 =@8H"&y` 18.15.7 更高级的对话框 380 =n'
4?W@ 18.16 Types语句 384 l+g9 5mjP 18.17 打开文件 385 o`q_wdy? 18.18 Bags 387 BYo/57&: 18.13 进一步研究 388 ;x8k[p~2 19 vStack 389 lME)?LOI 19.1 vStack基本原理 389 t6A:ZmG_ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
u*#ZXW 19.3 五棱镜 393 LI6hEcM= 19.4 光束距离 396 3RR_fmMT) 19.5 误差 399 Q]w&N30 19.6 二向分色棱镜 399 yT#{UA^ 19.7 偏振泄漏 404 k!KDWb
19.8 波前误差—相位 405 !DI{:I_h( 19.9 其它计算参数 405 eU N"w,@y 20 报表生成器 406 l$jxLZ 20.1 入门 406 v^_mFp-}\ 20.2 指令(Instructions) 406 .^m>AKC0cX 20.3 页面布局指令 406 bgK<pi)d 20.4 常见的参数图和三维图 407 /2HN>{F^Y 20.5 表格中的常见参数 408 %T[^D&9$, 20.6 迭代指令 408 H=\!2XS 20.7 报表模版 408 PGARXw+ 20.8 开始设计一个报表模版 409 ZZ.m(ATR 21 一个新的project 413 `)Z!V?& | |