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2024-11-28 08:02 |
光栅结构中场分布的严格分析
案例024(3.0) .lOEQLt "<txg%j\J 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 <?2[]h:wp rnEWTk7& 1. 建模任务1:金属光栅 +f;z{)%B rF>:pS,`& $l 0^2o= 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 h9 [ov) 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ,d&~#W] `?2S4lN/ 2. 建模任务2:介质光栅 G'#a&6 ft?J|AG 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 <G}>Gk8x 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 eiJ $}\qJL 83OOM;' 3. 建模任务 HwiG~'Ah9 }+,1G!?z X<vv: VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 B
,e3r 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 - YJ7ne] 场分布计算能够检测结构内部的热点 Z
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AQ'~EbH( 4. TE和TM照明线性光栅 > ~J&i3 GbBcC#0 5. 铬狭缝的分析 q: ?6 j@&F[ r cQA;Y!Q# 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 jaFBz&P/# 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 u01x}Ff~6 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 qMmh2a& 红线说明了结构的形状(手动添加) A)/_: m';:): 6. 三角光栅的分析 ROW8YTYb 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 !%_}Rv!JT v0apEjT o/)]z 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 z|<6y~5, 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 TMT65X! 红线说明了结构的形状(手动添加)。 :-69,e 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 XSpX6fq &Plc 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ;Ze}i/l .Q>.|mu 7. 总结 #JWW ;M6F Kn?>XXAc VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 hDSt6O4za 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 g-bHf]' 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 [K9l>O 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
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