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2024-11-28 08:02 |
光栅结构中场分布的严格分析
案例024(3.0) dLQV>oF 4%do.D* 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 1DPgiIG~ "|&xUWJ!) 1. 建模任务1:金属光栅 ^W-03 I9GRSm;0< 5(kRFb'31F 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 DuJbWtA 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 (orO=gST-/ ,gHgb 2. 建模任务2:介质光栅 cX'&J_T+ z.itVQs$I 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 v^_OX$=, 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 /I@nPH<y /(-X[[V 3. 建模任务 vr#_pu)f4 9
z_9yT i}mvKV?!|1 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 TqURYnNd 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 xB=~3 场分布计算能够检测结构内部的热点 i6F`KF'i& M5DW!^ 4. TE和TM照明线性光栅 G
@ib p7y8/m\6 5. 铬狭缝的分析 |1vikG8 )sg@HFhY' Qx,jUL#2 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 }Xv2I$J 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 +/ ,J$( 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 p]z
* 红线说明了结构的形状(手动添加) afEhC0j @ %LrpD 6. 三角光栅的分析 4?GW]'d 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 78't"2> G2Zr(b') Y>}[c
如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 "?E>rWz 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 UR;FW` 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ^F@z+q 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 AN;SRl &HdzbKO= 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 0zR4Kj7EE e)I-|Q4^% 7. 总结 -z"=d<@ ;E? Z<3{ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 1^<R2x 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 O=c^Ak 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 7;H!F!K] 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
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