利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) &J~%Nt M~1 n# 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 6s"Erq5q _4VS.~}/R 1. 描述 )~X*&(7RR} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0$9I.%4jAJ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]%K 8 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 mjd9]HgN `RG_FS"v 2. 系统 E"P5rT 3)J0f+M>dv
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd H' [#x2 3. 透镜系统组件编辑 >
CPJp!u z!={d1u#T ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #!%\97ZR ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p2UZqq2 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 G
39 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 +I?T|Iin !1H\*VM" fJ?$Z| 4. 光线追迹系统分析器-选项 &x(^=sTHI GoGo@5n(Z >qSaF ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?V}AwLX} ■ 可以选择选取光线的方法: ms%Ot:uA — 在x-y-网格 m_7)r — 六边形 *1L;%u| [ — 自由选取 B(GcPDj(K ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #egP*{F h%Nbx:vKk 5. 系统的3维视图 Z81{v<c; AID}NQQj_
Xja l6e)[ 6. 其他系统参数 o6$Q>g`] ■ 系统由单色平面波照明 TT429 ■ 照明波长266.08nm L}&U%eD ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $h Isab_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p1=sDsLL — 一个虚拟屏位于焦平面 ~lR"3z_Z} — 光束尺寸探测器置于焦平面 L7jMpz& ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 NC 0H5 SR#%gR_SC %NbhR( S-8O9 .&ynS 7. 光线追迹系统分析器的结果 >mT< AQ 7CGKm8T
光线经过整个光学系统的三维视图 wR;_x x
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) -IR9^) )>)_>[ Ml)Xq-&wc #;
I8 aMb |5}{4k~9J <R:KR(bT 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 `@{qnCNQ Dg_/Iu>OAE ku*|?uF ■ VirtualLab可用于计算点列图。 lqOv_q ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 /q%TjQ}F ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 $S$%avRX ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 GA6)O-^G 0\AYUa?RM 9. 焦平面上的结果 A+j~oR XcA4EBRj
^/HE_keY ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %@U<|9 %ua ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 apUV6h-v ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm SZ-% 0z ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 !+cRtCaA:: ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 au8bEw&W MB\vgKY 10. 总结 J$PE7*NU ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 o([+Pp ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =5_8f ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 4qjY,QJ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 KhZ'Ic[vw
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