利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 7(@(Hm ^vn\4 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3d@ef| :Q=z=`*2w 1. 描述 !Y|8z\Q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 'f6PjI ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 I<xy?{s ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w~{| S7/ s@z{dmL 2. 系统 *) }
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文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd vQy$[D* 3. 透镜系统组件编辑 Dh?vU~v(6 enPLaiJ'|q ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 :4iU^6 ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。
N)P((>S; ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 J&
)#G@fRX ■ 包括序列光学表面和光学介质。 +.wT
9kFcc n_u`B|^Pj \boL`X 4. 光线追迹系统分析器-选项 &!6DC5 lc"qqt ret0z| ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 33,;iE ■ 可以选择选取光线的方法: y]J3hKs — 在x-y-网格 '}T;b} &s — 六边形 ;{]8>`im&4 — 自由选取 =Iy/cHK ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +!Q!m 3/I Gxo#
! 5. 系统的3维视图 &q"'_4
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'0P 6. 其他系统参数 l`G(O$ct ■ 系统由单色平面波照明 9E^~#j@Zr ■ 照明波长266.08nm [4ee <J ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: G{/; AK — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 H/pcXj — 一个虚拟屏位于焦平面 )&XnM69~b — 光束尺寸探测器置于焦平面 kAY@^vi ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 A"0wvk)UcY w[e0wh`. 9e-*JYF]C K/Sq2: wInY7uBd! 7. 光线追迹系统分析器的结果 >6XDX=JVI (LRNU)vD7$
光线经过整个光学系统的三维视图 Xm%iPrl D
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 4 |FRg ^@ M [t< `}[VwQ FPvuzBJ r>E\Cco #NWZ k.S 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Akv(} !g qo)Q}0 _yiRh: ■ VirtualLab可用于计算点列图。 V+peO ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 C2CYIok$& ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %)BwE ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 mXQl; A*rZQh
b[ 9. 焦平面上的结果 aB=vu=hF uE"5 cq'B/ bK!,Pc< ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Y||yzJdC ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 J 5Wz4`' ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm N$C{f;xV ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 f#'8"ff*1 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 di"C]" ; oK#\HD4U 10. 总结 P#w}3^ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 (m<R0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9 %D$T'K ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )?F$-~7 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 1P(%9
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