利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) a] :tn:q ||v=in 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 x_1JQDE 8Ml&lfn_8 1. 描述 y e!Bfz> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 F\1nc"K/( ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zx^]3} ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C("PCD
OJE<2:K 2. 系统 9@AGx<S1 .4={K)kz|F
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd k5G(7Ug=g~ 3. 透镜系统组件编辑
'$Jt}O }GvoQ#N ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ;SQ<^"eK ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 C%d 4ItB > ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ~45u
a ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Myss$gt} /=Ug}%. 9dA(f~ 4. 光线追迹系统分析器-选项 ,2S
<#p! Cus=UzL FzmCS@yA ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3ojK2F(1D ■ 可以选择选取光线的方法: qG"|,bA
— 在x-y-网格 Sp)KtMV — 六边形 -Nmf}`_ — 自由选取 7=XQgbY/ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 aKs!*uo0H hTI8hh 5. 系统的3维视图 BOJh-(>I UCYhaD@sP
475yX-A 6. 其他系统参数 Ku LZg ■ 系统由单色平面波照明 b{)('C$ ■ 照明波长266.08nm Ff>Y<7CQ
v ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Gb61X6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 jIE>t5 fy — 一个虚拟屏位于焦平面 Wq)'0U;{$ — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~J2-B2S! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 DGY#pnCu L*tXy>&b. A(_AOoA' QxnP+U~N x$CpUy{6 7. 光线追迹系统分析器的结果 :w_F<2d0
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光线经过整个光学系统的三维视图 0 w\X
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) cNC\w% !|_
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T| wI>JOV7 XBhWj\`(T &ukNzV}VW ZJ"*A+IJx[ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /iif@5lw{ p@i U}SUaE a2/r$Tgm ■ VirtualLab可用于计算点列图。 4\pA^%73 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,<hXNN ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Y'fI4 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 zq!2);, N)Qj^bD! 9. 焦平面上的结果 %fP^Fh W3UK[_qK PL~k
`L ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 UShn)3F ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 R,Zuy(g ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm L:Wy- Z ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 i?=3RdP/R1 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 SJU93n"G/ CcY.8|HT 10. 总结 i`& |