利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) ({)+3]x |O+H[;TB6 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 On.{!:"I/ gp?uHKsM 1. 描述 2tEkj=fA- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /NFj(+&g+ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,WYPU ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LEf^cM=> u@M,qo` 2. 系统 0<@KG8@hI; q`a'gJx#y
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd H;LViP2K* 3. 透镜系统组件编辑 At>DjKx]O T/~f~Z z ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 iByf{ I>+ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 lU\[aNs ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 hEH?[>9 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 c_pr 5m 4P\y^a {duz\k2 4. 光线追迹系统分析器-选项 ,PW'#U: n'LrQU 783,s_ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "m8^zg hL ■ 可以选择选取光线的方法: b\!_cb~ "@ — 在x-y-网格 p)-^;=<B3 — 六边形 p27~>xQ — 自由选取 ZJJY8k ` ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v{N`.~,^ /-'}q=M 5. 系统的3维视图 5Ln,{vsv 'GWN~5
[l??A3G 6. 其他系统参数 B dfwa ■ 系统由单色平面波照明 3jU&zw9 ■ 照明波长266.08nm k]|~>9eY] ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T3<4B!UB& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |syR6(U} — 一个虚拟屏位于焦平面 AV]2euyn — 光束尺寸探测器置于焦平面 2@],ZLa ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ec;o\erPG Mfuv0P~ pah'>dAL `/+>a8 #:_Kws>+ 7. 光线追迹系统分析器的结果 EME|k{W _N cR)2
光线经过整个光学系统的三维视图 RbnVL$c
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) ; DR$iH-F
8dA~\a ,ZNq,$j _|2:_N= vA{-{Q ]F~dlH1Wp 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 9.-S(ZO 0[(8 !;A\.~-!G ■ VirtualLab可用于计算点列图。 `U_)98 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Wn2NMXK ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 }($5k]]clP ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 q3!bky\ B9z?mt'|r) 9. 焦平面上的结果 mq.`X:e T!#GW/? !Ai@$tl[S ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2%m BK ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 LEdh!</'24 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm b8UO,fY q ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 *i%d,w0+ ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 C&%_a~ ^ZcGY+/~ 10. 总结 tyFzSrfc ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 XpHrt XD ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 #;yZ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 1))8
A@, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ti5-6%~&
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