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infotek 2024-11-26 07:57

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0)  Mp js  
~[F7M{LS  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 e)s l  
@[v,q_^8  
1. 描述  +mft  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 k{{ Y2B?C  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 e1b?TF@lz  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Cj}H'k<B  
/j3",N+I  
2. 系统 xxg/vaQt=s  
: ^p aI  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"3++S  
3. 透镜系统组件编辑 fVZ9 2Xw B  
Wm{ebx  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <l!:#u  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 # bjK]+  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @+nCNXK  
包括序列光学表面和光学介质。 PZ#up{[o  
.*n*eeD,  
_KtV`bF  
4. 光线追迹系统分析器-选项 b)#rUI|O  
I5QtPqB>  
-awG1 4%  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 g[O  
可以选择选取光线的方法: ]1zud  
— 在x-y-网格 \N-3JOVy  
— 六边形 FSz<R*2  
— 自由选取 QrFKjmD<  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
#=0 BjW*  
[+l6x1Am  
5. 系统的3维视图 +*`kJ)uP  
rtbV*@Z  
- q(a~Ge  
6. 其他系统参数 h 2JmRO  
系统由单色平面波照明 x)Zm5&"Gg  
照明波长266.08nm Qc!3y>Y=_  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: UqsOG<L'6  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 _ iDVd2X"H  
— 一个虚拟屏位于焦平面 T*8 S7l  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 liy/uZ  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zN;P_@U  
br TP}A  
VR1[-OE  
'Q 7^bF^  
8lDb<i  
7. 光线追迹系统分析器的结果 $B<:SuV#  
g]N'6La  
光线经过整个光学系统的三维视图
}kItVx  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
G,B4=[Y  
SO STtuT  
IC8%E3  
~:0w%  
4{vEW(  
-I6t ^$HA  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 fE)o-q6Z  
XpkOCo02  
XjP;O,x  
VirtualLab可用于计算点列图。  f}*:wj  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %{3q=9ii  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ac*J;fI  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 n53c} ^  
'+vmC*-I(  
9. 焦平面上的结果 @OFxnF`  
S-3hLw&?  
D*PEIsV  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S3WUccv  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 > KdV]!H  
焦平面上的光斑尺寸为183mm E,K>V:P*  
此外,背景颜色也可以预先设置。 Y6)o7t  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
rev*G:  
HOCj* O4  
10. 总结 @^.W|Zh[&  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ITn PF{N  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -/Wf iE  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 vp*+C kd  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 y:Of~ ]9@  
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