利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) )uC],CbW{ nDuf<mw 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 /ts=DxCC; 7zXFQ|TP 1. 描述 I_6NY,dF ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0{^vqh.La ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _x&;Fa% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 l9KLP d9>*a$x;/ 2. 系统 0<_|K>5dS| BZejqDr*
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd Oo|*q+{ 3. 透镜系统组件编辑 ~XN--4%Q
UhN16|x ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L9Sd4L_e ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 sd9$4k" ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vw5f.8T;w ■ 包括序列光学表面和光学介质。 K]ob>wPf rqW[B/a{ z%$ E6Im 4. 光线追迹系统分析器-选项 '{dduHo (XA=d
4 <k?ofE1o ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 K~ ,|~ ■ 可以选择选取光线的方法: j[l6&eX — 在x-y-网格 9zSHn.y — 六边形 `q|&;wP. — 自由选取 OzY55 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !+T\}1f7d Py7!_TX 5. 系统的3维视图 W9n0Jv S$J}>a#Ry
arJ4^ d 6. 其他系统参数 qcMVY\gi ■ 系统由单色平面波照明 !`=ms1%U ■ 照明波长266.08nm BCsz8U! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y$xO&\&) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .{sKEVK — 一个虚拟屏位于焦平面 J$6h%Eyo — 光束尺寸探测器置于焦平面 dp`xyBQ3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 T'\B17
:* r@N 0%JZZ "hwg";Z$n $jT&]p (ii6w d<* 7. 光线追迹系统分析器的结果 -
s[=$pDU 1=BDqSZ@9
光线经过整个光学系统的三维视图 lOIBX@K E
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) jv$Y]nf +Qy*s1fit ?#8',: ]=\Mf< }OY]mAv-B $YZsaw 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Y[%1?CREP b3(pRg[Fp i0F.c\ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 g8^\| ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 w-2&6o<n- ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 mF!/8qk ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 )aoB-Lu Z(Da?6#1 9. 焦平面上的结果 d:/8P985 []HMUL]" m-f"EFmP ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m87,N~DP ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 UeWEncN( ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm TU ]Ed*'& ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 89@\AjI ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~3}Gu^@ =Y`P}vI]w% 10. 总结 cBf9-k ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 (Wkli:Lq ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9hAS#|vK ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ""Ul6hRgv ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 F#=XJYG1
|