利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) RZgklEU ye-EJDZN 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @F-InfB8. .yF@Ow 1. 描述 `+\6;nM ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S#{jyU9 ] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,Hzz:ce ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 zJ=lNb?q .S{FEV 2. 系统 q9h3/uTv Tx19\\r
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd O?=YY@j 3. 透镜系统组件编辑 5Qh$>R4!" :]rb} 1nLB ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4!</JZX~$ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 :Rftn6! ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 7'~Oai~r ■ 包括序列光学表面和光学介质。 I""zg^Rq Pss$[ % Km)VOX[ZZ 4. 光线追迹系统分析器-选项 cEK<CV 2A95vC'u>| \`:nmFO(9 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Xt.ca,`U ■ 可以选择选取光线的方法: X 3dXRDB' — 在x-y-网格 1o8C4?T& — 六边形 #lY_XV. — 自由选取 7K 'uNPC ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /=(PMoZu @PZ{( 5. 系统的3维视图 ]wZlJK`K z|$M,?r'
!0Mx Bem 6. 其他系统参数 (B^rW,V[R ■ 系统由单色平面波照明 JE*d- ■ 照明波长266.08nm dHsI< |