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infotek 2024-11-26 07:57

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) J3,m{%EtNM  
)l[bu6bM  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 /L*JHNu"_  
H?tX^HO:q  
1. 描述 <_~e/+_.  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^Rc*X'Iz(!  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u @#fOu  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 OO*2>Qy~z  
 7 j8Ou3  
2. 系统 K| '`w.  
^!sIEL  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
_FtsO<p)"  
3. 透镜系统组件编辑 >m# bj^F\  
yrQf PR  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 sglH=0MP  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !?5YXI,  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {{@*  
包括序列光学表面和光学介质。 h@%a+6b?  
`PS>"-AY2  
xj;V  
4. 光线追迹系统分析器-选项 d34BJ<  
`/JuItL-  
|VQmB/a  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -~v1@  
可以选择选取光线的方法: (Fs{~4T  
— 在x-y-网格 J/B`c(  
— 六边形 17F<vo>l%  
— 自由选取 "WZ|   
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
&l?AC%a5  
M$UZn  
5. 系统的3维视图 5%RiM|+  
{B[ }}wX$  
C@{-$z)  
6. 其他系统参数 S<eB&qT$  
系统由单色平面波照明 LsO}a;t5  
照明波长266.08nm '^%kTNn  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: RZP7h>y6@  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 P(cy@P,D  
— 一个虚拟屏位于焦平面 ~DP_1V?  
— 光束尺寸探测器置于焦平面  {[dY$  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 OTzuOP 8  
SVBo0wvz-  
<h%I-e6  
Fs&r ^ [/b  
(!%9#  
7. 光线追迹系统分析器的结果 uF+0nv+  
;@xlrj+  
光线经过整个光学系统的三维视图
.?kq\.rQ  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
}/2M?W0  
kxmc2RH>nB  
~3Y4_b5E  
$[\\{XJ.  
Q) =LbR{#  
Vrs?VA`v$  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 g cb6*@u!  
0+F--E4  
LB`{35b-  
VirtualLab可用于计算点列图。 -ARks_\  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 xJ9aFpTC  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Up5|tx7  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 sO{TGk]*  
wKKQAM6P1  
9. 焦平面上的结果 .F G%QFF~  
#mkf2Z=t-  
EB VG@  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 psUT2  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \/ ipYc  
焦平面上的光斑尺寸为183mm [0vqm:P  
此外,背景颜色也可以预先设置。 e~7FK_y#0  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
glLoYRTi  
"SRS{-p0  
10. 总结 bEln.)  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。  QJ!2Vw4K  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 N(V_P[]"*,  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 T^vhhfCUr  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %OOkPda  
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