利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) @ 6V H% Z=5}17kA 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 r(xlokpnb6 hZ / 1. 描述 QT&Ws+@
s{ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !Pjg&19 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Hn]n]wsLy ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 kG7,1teMk X]^E:'E! 2. 系统 GWE0 UO} v]Q_
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd lp%.n= '\ 3. 透镜系统组件编辑 ii]=C(e9 iI Nu`>I ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 'L+BkE6+% ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "Ohpb!J9 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 O0*L9C/Q ■ 包括序列光学表面和光学介质。 +mW$D@Pf oHFDg?Z` i}{Q\#=# 4. 光线追迹系统分析器-选项 $=QO_t)? &Or=_5Y` ,(kXF: ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m~IWazj;A ■ 可以选择选取光线的方法: >oaEG5%d — 在x-y-网格
ex!wY — 六边形
o*ED!y7 — 自由选取 |DS@90} ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1,!\7@<CT -oT+;2\2 5. 系统的3维视图 3S|;yOl#X v2=!*
>{)#|pWU 6. 其他系统参数 W%ZU& YBc ■ 系统由单色平面波照明 ;Sl0kSu ■ 照明波长266.08nm 0aoHv ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: *H<g9<Dn — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 JkDZl?x5 — 一个虚拟屏位于焦平面 pXEVI6 } — 光束尺寸探测器置于焦平面 !w\;Q8irN ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 f9=X7"dzP Im1qWe . pEeR .wn_e=lT >w;W&[ 7. 光线追迹系统分析器的结果 "/h"Xg>q wyEgm:Vt
光线经过整个光学系统的三维视图 eZkz 1j~
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) c)YGwkY,, 4J|t} vX24W*7 #/=yz<B #IA(*oM !0+Ex
F 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 b<cM[GaV~ 8=AKOOU7> u)]sJ1p
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ~}ZX^l&k{P ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 <
l ^ Z;. ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 9+|,aG s ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 m;1e xa B y8Tw;aL 9. 焦平面上的结果 1OeDWEcB >~InO^R`5 R6.#gb8^oS ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 jM<Ihmh| ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 WX"M_=lc-@ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm -iX!F~qS, ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Ot<!Y M ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $X]v;B)J| \{mJO>x 10. 总结 rqo<Xt` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Db:WAjU ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 tC~itU=V ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 bv];Gk*Z- ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 W5g!`f
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