利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) Mp
js ~[F7M{LS 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 e)s
l @[v,q_^8 1. 描述 +mft ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 k{{
Y2B?C ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 e1b?TF@lz ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Cj }H'k<B /j3",N+I 2. 系统 xxg/vaQt=s :^paI
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd "3 ++S 3. 透镜系统组件编辑 fVZ92Xw
B Wm{ebx ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <l!:#u ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 # bjK]+ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @+nCNXK ■ 包括序列光学表面和光学介质。 PZ#up{[o .*n*eeD, _KtV`bF 4. 光线追迹系统分析器-选项 b)#rUI|O I5QtPqB> -awG14% ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 g[O ■ 可以选择选取光线的方法: ]1zud — 在x-y-网格 \N-3JO Vy — 六边形 FSz<R*2 — 自由选取 QrFKjmD< ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #=0 BjW* [+l6x1Am 5. 系统的3维视图 +*`kJ)uP rtbV*@Z
- q(a~Ge 6. 其他系统参数 h 2JmRO ■ 系统由单色平面波照明 x)Zm5&"Gg ■ 照明波长266.08nm Qc!3y>Y=_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: UqsOG<L'6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 _iDVd2X"H — 一个虚拟屏位于焦平面
T*8S7l — 光束尺寸探测器置于焦平面 liy/uZ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zN;P_@U br TP}A VR1[-OE
'Q7^bF^ 8lDb<i 7. 光线追迹系统分析器的结果 $B<:SuV# g]N'6La
光线经过整个光学系统的三维视图 }kItVx
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) G,B4=[Y SO STtuT IC8%E3 ~:0w% 4{vEW( -I6t ^$HA 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 fE)o-q6Z XpkOC o 02 XjP;O,x ■ VirtualLab可用于计算点列图。 f}*:wj ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %{3q=9ii ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ac*J;fI ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 n53c}^ '+vmC*-I( 9. 焦平面上的结果 @OFxnF` S-3hLw&? D *PEIsV ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S3WUccv ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >KdV]!H ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm E,K>V:P* ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Y6)o7t ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 rev*G: HOCj* O4 10. 总结 @^.W|Zh[& ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ITn PF{N ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -/Wf iE ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 vp*+Ckd ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 y:Of~
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