利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) M /"I2m
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关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 z7fp#>uw ?^al9D[:lz 1. 描述 *nkoPVpC ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 i9,geQ7d ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 <Zmg# ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 'a@/vx&J I 5^!y 2. 系统 Q+{xZ'o"Z s"r*YlSp"
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd _@
qjV~%Sy 3. 透镜系统组件编辑 OrY/`+Cog L>Fa^jq5 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M P Y[X[ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 m[~y@7AK< ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .SU8)T ■ 包括序列光学表面和光学介质。 8V`WO6* "*e$aTZB\ 2} /aFR 4. 光线追迹系统分析器-选项 V]lLw) NJWA3zz
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M4JJV( ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3M[!N ■ 可以选择选取光线的方法: $r@zs'N — 在x-y-网格 bN1|q|9 — 六边形 *&^Pj%DX — 自由选取 t%/&c::(6 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 BYL)nCc ,~N/- 5 5. 系统的3维视图 On9A U:\ FpmM63$VN[
k8&;lgO' 6. 其他系统参数 =(j1rW! ■ 系统由单色平面波照明 {HltvO%8 ■ 照明波长266.08nm X!TpYUZ' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q4#m\KK;i9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?jv/TBZX4 — 一个虚拟屏位于焦平面 aFX=C>M — 光束尺寸探测器置于焦平面 dVtG/0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 NvceYKp: WUn]F~Lt Q%`@0#"]Sv xX&+WR 'urafE4M 7. 光线追迹系统分析器的结果 |.: q ]v UwG--*
光线经过整个光学系统的三维视图 M6"PX *K
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) !GjQPAW t%0VJB,Q2 @alK;\ ?=Z?6fw KxJ!,F{>H Uiw2oi&_ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 XJ;57n-? g*AWE,%=| @Md/Q~> ■ VirtualLab可用于计算点列图。 w3ResQ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~g]Vw4pv ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .5_2zat0H ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 T4Uev*A lgL%u K) 9. 焦平面上的结果 AofKw R`qFg/S z\W64^'"Z ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Q~
w|# ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 rH Lm\3 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Jq-]7N%k/ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 rpha!h>w1% ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 AO4U}? \';gvr| 10. 总结 >1Ibc=}g ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 *~e?TfG ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 kS);xA8s] ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 K\Wkoi5 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 "%w u2%i
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