利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) :C_\.pA ZGe+w]( 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 w\8grEj 7AHEzJh" 1. 描述 nlw(U3@7 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ``$At ,m ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 T&X*[kP ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Quc9lL HE7JQP!q 2. 系统
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文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd thl{IU 3. 透镜系统组件编辑 wT3QSJ Ojr{z ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 2?nK71c" ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 r,!7TuBl ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -U'6fx) + ■ 包括序列光学表面和光学介质。 _{TGO
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p9Gzn C 4. 光线追迹系统分析器-选项 &5)Kg%r O>lF{yO0` t8E'd:pE ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 VfAIx]Fa ■ 可以选择选取光线的方法: AhiZ0W" — 在x-y-网格 Jou~>0,/j — 六边形 HhH[p E — 自由选取 FzXVNUMP ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;.'2ZNt2 ]SFB_5Gb 5. 系统的3维视图 %j^[%&pT `7LN?-
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v@&&5J| 6. 其他系统参数 tE/j3 ■ 系统由单色平面波照明 4Fgy<^94` ■ 照明波长266.08nm #K yb9Qg ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: V+W,#5 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /Uz2.Ua= — 一个虚拟屏位于焦平面 TWK(vEDM — 光束尺寸探测器置于焦平面 C(Yk-7 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 A=Q"IdK 1X.5cl?V bu1O<* iL\<G}
I 1;i[H[hNY 7. 光线追迹系统分析器的结果 oQBfDD0 wwF]+w%lOw
光线经过整个光学系统的三维视图 .\7R/cP}{A
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) o6P)IZ1 BXiuVx #6[FGM SuMK=^>% Z f4Xt
Yn )wQR2$x~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 9?:SxI;v ZXsm9 O~.A} ■ VirtualLab可用于计算点列图。 n9B1NM5 \ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Ratg!l|'- ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %u-l6<w#R ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 U~azI(1"W LNmsv U 9. 焦平面上的结果 B5hk]=Ud P ^R224R {e/Qs|a
R ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 r5xu#%hgp; ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #G:~6^A ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Edj}\e*-J ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 sa36=:5x- ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 <v&>&;>3 ^EdY:6NJ=A 10. 总结 d nWh}! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ^n"ve2 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 /m%i"kki ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3rhH0{ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uli,@5%\
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