利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) t.B%7e cd,)GF 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 En%PIkxeR bf]W_I]B 1. 描述 i_8q!CL@{ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 & %4x ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w]Z*"B&h ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Ym
IVtQ L ;5uB2 2. 系统 `PK1zSr w7}m
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文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd $rFLhp} 3. 透镜系统组件编辑 eglcf z% td{M%D,R" ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 {p&M(W] ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 >-fOkOWXy ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
)z# ■ 包括序列光学表面和光学介质。 R<aF;Rvb5 8/cD7O Iqe=) 4. 光线追迹系统分析器-选项 W]cJP >g8H I_66q7U"0 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 o>lk+Q#L @ ■ 可以选择选取光线的方法: 0 =#)-n — 在x-y-网格 L h"K"Uv — 六边形 #hPa:I$Oc — 自由选取 ^b)8l ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }& ;49k YSi[s*.G 5. 系统的3维视图 Z%_"-ENT r}ZL{uWMW
!#P|2>>u 6. 其他系统参数 1"k"<{% ■ 系统由单色平面波照明 It.G-( ■ 照明波长266.08nm 2L}F=$zz ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8nn%wps — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 KICy!
"af — 一个虚拟屏位于焦平面 F!m/n!YR — 光束尺寸探测器置于焦平面 PMPB}-d ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +RLHe]9& 5&V0(LT]C }c/p+Wo o'nju.' oJ}!qrrH 7. 光线追迹系统分析器的结果 z3RD*3b {.=4;
光线经过整个光学系统的三维视图 w6ZyMR,T
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 20glz( D|`O8o?) $kPC"!X\ CMk0(sztU_ :H/CiN {s^vAD<~x3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ]z5`!e)L sp%EA=: E g *}M;"
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Jo%5 NXts4 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 uLok0"} ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @lvvI<U ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 8^bc4(H b[}f]pB@n 9. 焦平面上的结果 tNsiokOm =2;2_u? #
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Z)=S. ) ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ')]K& ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 92y<E<n ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 )3h%2C1uM ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 XN+~g.0 v X=zqV 10. 总结 34k}7k~n ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 01bBZWX ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R+}x# ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 D|zlC,J, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 @KtQ~D
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