利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) J3,m{%EtNM )l[bu6bM 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 /L*JHNu"_ H?tX^HO:q 1. 描述 <_~e/+_. ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^Rc*X'Iz(! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u @#fOu ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 OO*2>Qy~z 7j8Ou3 2. 系统 K | '`w. ^!sIEL
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd _FtsO<p)" 3. 透镜系统组件编辑 >m#bj^F\ yrQfPR ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 sglH=0MP ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !?5YXI, ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 { {@* ■ 包括序列光学表面和光学介质。 h@%a+ 6b? `PS>"-AY2 xj;V 4. 光线追迹系统分析器-选项 d34BJ< `/JuItL- |VQmB/a ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -~v1@ ■ 可以选择选取光线的方法: (Fs{~4T — 在x-y-网格 J/B`c( — 六边形 17F<vo>l% — 自由选取 "WZ | ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &l?AC%a5 M$U Zn 5. 系统的3维视图 5%RiM|+ {B[ }}wX$
C@{-$z) 6. 其他系统参数 S<eB&qT$ ■ 系统由单色平面波照明 LsO}a;t5 ■ 照明波长266.08nm '^%k TNn ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: RZP7h>y6@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 P(cy@P,D — 一个虚拟屏位于焦平面 ~DP_1V? — 光束尺寸探测器置于焦平面
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■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 OTzuOP8 SVBo0wvz- <h%I-e6 Fs&r^ [/b (!%9# 7. 光线追迹系统分析器的结果 uF+0nv+ ;@xlrj+
光线经过整个光学系统的三维视图 .?kq\.rQ
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) }/2M?W0 kxmc2RH>nB ~3Y4_b5E $[\\{XJ. Q)=LbR{# Vrs?VA`v$ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 g
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 -ARks_\ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 xJ9aFpTC ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Up5 |tx7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 sO{TGk]* wKKQAM6P1 9. 焦平面上的结果 .FG%QF F~ #mkf2Z=t- EB VG@ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ps UT2 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \/ipYc ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm [0vqm:P ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 e~7FK_y#0 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 glLoYRTi
"SRS{-p0 10. 总结 bEln.) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 QJ!2Vw4K ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 N(V_P[]"*, ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 T^vhhfCUr ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %OOkPda
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