利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) t#nRa Pzp xp]_>WGq 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hhJs$c( r@G34QC+ 1. 描述 jB\Knxm v ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 gzp]hh@4 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {fn1sGA ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 PLK;y FivqyT7i 2. 系统 ?b?YiK&yz Y-]Ne"+vf
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd H|<Zm:.%$ 3. 透镜系统组件编辑 -K0!wrKC P A$jR
fQ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 28lor&Cc ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 DhiIKd9W ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 dK7BjZTJo ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ov|pXi<e ;2547b[] A7aW] 4. 光线追迹系统分析器-选项 x,QXOh\a ;<BMgO}N ,UW!?}@ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6FEIQ#`{ ■ 可以选择选取光线的方法: >'&|{s[m — 在x-y-网格 32K — 六边形 OsgjSJrf — 自由选取 {0\9HI@ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u9R@rQ9r _O`s;oc 5. 系统的3维视图 yzyK$WN\[3 +.66Ky`|[
rpv<'$6 6. 其他系统参数 *^p^tK ■ 系统由单色平面波照明 =dY!-#yg! ■ 照明波长266.08nm Gg5+Ap D ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }}zY]A — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $u::(s}
x< — 一个虚拟屏位于焦平面 q4Y7 HE|ym — 光束尺寸探测器置于焦平面 G`,M?lmL ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^8
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qu t+A9nvj) Ev0=m;@_ SF[}suL H~lvUHN 7. 光线追迹系统分析器的结果 I$oqFF|D =8Gpov1!V~
光线经过整个光学系统的三维视图 HEe_K!_
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) Eb9n6Fg 1krSX2L |_%q@EID Z8\/Fb ria.MCe\! I"HA(
+G 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 yG,uD!N]| 6-f-/$B +RyV"&v ■ VirtualLab可用于计算点列图。 1n~^@f#` ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 PgYIQpV ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 !u|s8tN.U ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 h<bCm`qj :O]US)VSj 9. 焦平面上的结果 h.5KzC
S mQ^SpK # q;QE(}.g ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 o8N,mGj} ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {ukQBu#}< ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm #S"s8wdD
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 -b=Aj8h ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 t/h,-x Sn[/'V^$a 10. 总结 ?vmoRX ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 RSup_4A ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 L`"V_
"Q#0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 %\Mc6 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 hY|-l%2f
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