利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) PE4
L7 PDuBf&/e 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 xn503,5G*7 ~nfOV* 1. 描述 ?dCwo;~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DR}I+<*%aD ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 aXJ/"k #Tl ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 n-" (~ Xi[]8o 2. 系统 {> msE }L fPUr O
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd $">j~! ' 3. 透镜系统组件编辑 f?)7MR= Jl`^`Yv ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 S,AxrQc ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }" vxYB!h3 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 K8X7IE ■ 包括序列光学表面和光学介质。 )c' 45bD 7N[".V]c wPjq
B{!Q 4. 光线追迹系统分析器-选项 Si?s69 5buW\_G) >aO.a[AM ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 HC6U_d1-6 ■ 可以选择选取光线的方法: b^h_` — 在x-y-网格 o&E8<e — 六边形 ',0:/jSz — 自由选取 |di(hY| ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .F 6US<] |du%c`wl 5. 系统的3维视图 )0exGx+: nZ(]WPIN"
m.m6. 6. 其他系统参数
^rVHaI ■ 系统由单色平面波照明 B&6NjLV ■ 照明波长266.08nm ;kk[x8$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .b3h?R*& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [q2:d^_FA — 一个虚拟屏位于焦平面 uNyN[U — 光束尺寸探测器置于焦平面 OA&'T*)-A6 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 rz%~=Ca2j c#{lXS^ vY m:V:7Y2 /GO- :$b` n 7. 光线追迹系统分析器的结果 N<:c*X uS`}
光线经过整个光学系统的三维视图 7! >0
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 9m)$^U>oz wBXa;. A4,{ep'Z! >fXtu:C-!J Ur
xiaE Pl:4`oY3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 l!x+K& &>Ve4!i
q q8d](MaX ■ VirtualLab可用于计算点列图。 0* F` h ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 vYV!8o.I ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 KBB)xez8 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 j J{F0o ,yGbMOV 9. 焦平面上的结果 ~ps,U y<FC7
U=~?ca ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 @FN|=?8% ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 (2#Xa,pb ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm hE {";/}J ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 RD:G9[ ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 =l43RawAmu -n 9&W 10. 总结 x8@ 4lxj ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 F9j@KC(yg ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 xA
Ez1 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 t,fec>. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ej-A=avd
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