利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) VUUE2k;^ |@Ze{\
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "KKw\i nc9sfH3 1. 描述 Ca}V5O ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S7h?tR*u ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 |0nt u+ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &Vy.)0 jAxrU 2. 系统 /_!Ed] ^0g!,L
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd U.pGp]\Q)G 3. 透镜系统组件编辑 NRMEZ\*L k9!euj& ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4XgzNwm ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 |.?Xov] ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 YZZog 6% ■ 包括序列光学表面和光学介质。 $6~t|[7:%Y B&"c:)1
C2 5I&Dk4v 4. 光线追迹系统分析器-选项 7qLB 9r )ml#2XP!f =h\uC).t& ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >)edha*W] ■ 可以选择选取光线的方法: f/670Acv — 在x-y-网格 [{.9#cQ" — 六边形 v!j%<H`NI — 自由选取 [e7nW9\l ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [mFgo
il u,JUMH]@ 5. 系统的3维视图 6T6UIq Xu7lV
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j45D ` 6. 其他系统参数 yJ*g ; ■ 系统由单色平面波照明 &HtG&RvQf ■ 照明波长266.08nm
tPChVnB ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: l}~9xa}:D| — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gTk*v0WBm — 一个虚拟屏位于焦平面 qHu\3@px — 光束尺寸探测器置于焦平面 v9 8s78 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 eQJyO9$G C1x(4&h ~_|CXPiQ8 T\ [CQO br')%f}m 7. 光线追迹系统分析器的结果 !X\aZ{}Q 7X8n|NZRH7
光线经过整个光学系统的三维视图 XblZlWP#
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) %&!B2z} :8U@KABH@h xTy)qN]P #c(BBTuX )CD-cz6n #ds@!u+& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 %FJB9?9=| Lj1>X2.gD %=)%$n3=-M ■ VirtualLab可用于计算点列图。 s1J(-O ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \{54mM~ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =a 6e*f ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 x{3q'2 (^$SMuC 9. 焦平面上的结果 %UB+N8x`a fJ;1ii~ COcS
w ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 .[o`TlG% ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 wu3p2#-Z ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm r#w.yg4EX ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 :Fi$-g ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _ .xicov .50ql[En 10. 总结 o)M<^b3KO ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ph17(APt,Q ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 V82hk0*j ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 MS& 'Nj ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 iZ 9ed]mf
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