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infotek 2024-11-26 07:57

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) +uKlg#wqc  
e<l Wel  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 r3hj GcpaX  
aT(Pf7 O  
1. 描述 +kH*BhSj  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s41<e"  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 DuZ51[3_L  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 nmc=RK^cM  
JE9|;A  
2. 系统 sJ7r9 O`x  
9/{+,RpC  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
W*u Yb|0  
3. 透镜系统组件编辑 T WEmW&Q  
/^DDU!=(<  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Ngu+V  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }a"T7y23  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 WHvN6  
包括序列光学表面和光学介质。 &y mfA{s  
4kT|/ bp  
j?+FS`a!  
4. 光线追迹系统分析器-选项 \5k[ "8~  
wP6~HiC  
[}9R9G>"  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ZBdZr  
可以选择选取光线的方法: m!|u{<,R  
— 在x-y-网格 ^lB1- ;ng  
— 六边形 7cr+a4T33  
— 自由选取 lK9us  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
`{N0+n  
{LbcG^k  
5. 系统的3维视图 d&w g\"E  
d&(GIH E&d  
L<J';#BD  
6. 其他系统参数 x{Gb4=?l  
系统由单色平面波照明 dU3UCD+2y  
照明波长266.08nm R6h(mPYA  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +su>0'a  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ul?'kuYk  
— 一个虚拟屏位于焦平面 S@z$,}Yc`<  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 ]V<[W,*(5  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?<#6=  
<o3e0JCq  
]N:SB  
8 %Lq~ lk  
*["9;_KD  
7. 光线追迹系统分析器的结果 4G;+ETp  
245(ajxHC  
光线经过整个光学系统的三维视图
pOyM/L   
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
69!J' kM[  
7F>5<Gv:-  
 KY!  
I$n 0aR6  
P cnr  
T3@wNAAU  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 <[Q#}/$"  
SWz+.W{KQ"  
 PQa {5"  
VirtualLab可用于计算点列图。 '8 1M%KO  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ipQJn_:2  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 PM=Q\0  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 mK%!9F V  
9Y&n$svB  
9. 焦平面上的结果 Z WL/AC  
;'`T  
(Vf&,b@U_  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 dFjB &#Tl  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )p~\lM}?d  
焦平面上的光斑尺寸为183mm E=Ah_zKU  
此外,背景颜色也可以预先设置。 ~x)Awdlu  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
|n \HxU3  
J|W~\(W6i  
10. 总结 ua/A &XQx  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9jDV]!N4  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 L Bb&av  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 s_hf,QH  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 pZ/x,b#.  
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