利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) {3!A\OR
t*Z-]P 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 PAVlZ}kj ,V&E"D{u 1. 描述 ")NQwT} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 V=+p8nE0 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 psS^ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 0|4R8Dh*- UY:Be8C A 2. 系统 FtWO[*# QqXaXx;
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd .li)k[] ts 3. 透镜系统组件编辑 g26 l:1P 'OMl9}M ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [u-=<hnoa ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 H
'nLC, ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3[~LmA ■ 包括序列光学表面和光学介质。 dO-Zj#%7z8 9(bbV5} Q0Gfwl 4. 光线追迹系统分析器-选项 Exat_ L'? \`8F.oZ^) ]!@!qp@ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >( sS4_O7N ■ 可以选择选取光线的方法: &3*r-9BZ — 在x-y-网格 Kke
_?/fT — 六边形 T{BGg — 自由选取 bnE&-N* ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 'qeUI}[ aecvz0}@R 5. 系统的3维视图 y! j>_m){w 2J`LZS
cr^R9dv 6. 其他系统参数 lI5>d(6p ■ 系统由单色平面波照明 kioIyV\= ■ 照明波长266.08nm ikPr> ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Wx8;+!2Q/ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Z,F1n/7 — 一个虚拟屏位于焦平面 pU u')y — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~ \c
j ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 AP?m,nd6 Qb:.WMj[q+ Q%t
_Epe \/r]Ra 4 @9cO)m 7. 光线追迹系统分析器的结果 li~=85 J `oE.$~'
光线经过整个光学系统的三维视图 'RR,b*Ql
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) L-e6^%eU X`I=Z ysB #;'*W$Wk2 b/=>'2f `1R[J4e 57$/Dn 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1mx;b)4t 6V1
Z(K "3?:,$* ■ VirtualLab可用于计算点列图。 I>>X-} ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k6_OP] ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /IC]}0kkp ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 LM".]f!, yLt>OA<X 9. 焦平面上的结果 PS??wlp7 q4u-mM7#7 ' PmBNT ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {.UK{nA?sm ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Km0P)Z ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm QFEc?sEe ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 A2B]E,JMp ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 zc>LwX}< cHwN=mg]S 10. 总结 7L!q{%} ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ly6) ,[q~ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &s&Ha{(!w ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 BCr*GtR)W ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 @ds.)sKA>
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