利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) +uKlg#wqc e<l Wel 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 r3hjGcpaX aT(Pf7
O 1. 描述 +kH*BhSj ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s41<e" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 DuZ51[3_L ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 nmc=RK^cM JE9|;A 2. 系统 sJ7r9O`x 9/{+,RpC
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd W*u Yb|0 3. 透镜系统组件编辑 TWEmW&Q /^DDU!=(< ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Ngu+V ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }a"T7y23 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 WHvN6 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 &y mfA{s 4kT| /bp j?+FS`a! 4. 光线追迹系统分析器-选项 \5k[ "8~ wP6~HiC [}9R9G>" ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ZBdZr ■ 可以选择选取光线的方法: m!|u{<,R — 在x-y-网格 ^lB1- ;ng — 六边形 7cr+a4 T33 — 自由选取 lK9us ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `{N0+n {LbcG^k 5. 系统的3维视图 d&wg\"E d&(GIH E&d
L<J';#BD 6. 其他系统参数 x{Gb4=?l ■ 系统由单色平面波照明 dU3UCD+2y ■ 照明波长266.08nm R6h(mPYA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +su>0'a — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ul?'kuYk — 一个虚拟屏位于焦平面 S@z$,}Yc`< — 光束尺寸探测器置于焦平面 ]V<[W,*(5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?<#6= <o3e0JCq ]N:SB 8 %Lq~lk *["9;_KD 7. 光线追迹系统分析器的结果 4G;+ETp 245(ajxHC
光线经过整个光学系统的三维视图 pOyM/L
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 69!J'kM[ 7F>5<Gv:- KY! I$n 0aR6 Pc nr T3@wNAAU 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 <[Q#}/$" SWz+.W{KQ"
PQa{5" ■ VirtualLab可用于计算点列图。 '8 1M%KO ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ipQJn_:2 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 PM=Q\0 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 mK%!9F
V 9Y&n$svB 9. 焦平面上的结果 Z WL/ AC ;'`T (Vf&,b@U_ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 dFjB &#Tl ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )p~\lM}?d ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm E=Ah_zKU ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ~x)Awdlu ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 |n \HxU3 J|W~\(W6i 10. 总结 ua/A &XQx ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9jDV]!N4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 L
Bb&av ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 s_hf,QH ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 pZ/x,b#.
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