利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) uGG t\.$]s \}b%E'+_T 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 bAqA1y3= gr2U6gi 1. 描述 &p@O_0nF ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ZLejcYS ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 #c!lS<z ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 U8?mc f$$ /H>MJ 2. 系统 {!L~@r ;6$jf:2m
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd va@Lz&sAE% 3. 透镜系统组件编辑 =;
Ff4aF oG\Vxg* ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _G@GpkSe> ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 S,UDezxg ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "!^"[mX4 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 I\ob7X'Xu! _Fl9>C"u Vc Z3
X4/ 4. 光线追迹系统分析器-选项 99QU3c<. U5de@Y aW7^d'ZZ\ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 gM:".Ee ■ 可以选择选取光线的方法: wIt}dc — 在x-y-网格 F]&*ow — 六边形 sO@Tf\d — 自由选取 n:!_ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "chDg(jMZ + ePS14G 5. 系统的3维视图 )SGq[B6@I b]KBgZ
4V`G,W4^J 6. 其他系统参数 I!K6o.|1 ■ 系统由单色平面波照明 =aW9L)8D ■ 照明波长266.08nm L!xi ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: KZf+MSq?
B — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bk[!8-b/a — 一个虚拟屏位于焦平面 RA
L~!"W — 光束尺寸探测器置于焦平面 dy[X3jQB ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7%M_'P4 V OneY_<*a< ~t~|"u"P WpvhTX M_DwUS1? 7. 光线追迹系统分析器的结果 +ZP7{% "w<#^d_6
光线经过整个光学系统的三维视图 r~['VhI!;E
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) (E1~H0^ ox.F%)eQ pQB."[n -QNh `R^g U]Z, $F.a><1rY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;O,jUiQ %W S+(0*1 @H8EWTZ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 v3>UV8c' ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
]ZS
OM\} ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ow,b^| ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 FS1z`wYP )4 ;`^]F 9. 焦平面上的结果 $*m-R*kt _yR^*}xJb A=0'Ks ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *LY8D<:zs ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ,a?
oaPH ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 6Kz,{F@ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 lp8v0e4 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 [Ch.cE_ G3v5KmT 10. 总结 alb.g>LNPP ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 _)-o1`*- ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <~=Vg ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 q@2siI~W ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \'j|BJ~L f
|