利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) sGD b< I|?Z.!I| 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 f<0nj? hkL[hD 1. 描述 8o;9=.<<~u ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ka\%kB>*` ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [bvI T]Z ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ` `R;x 3QrYH
@7zx 2. 系统 ,fwN_+5 xl$#00|y
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd xd H*[ 3. 透镜系统组件编辑 +}@HtjM hOSkxdi*^ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 K}U}h>N ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 O2Mo ~} ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {<- BU[H ■ 包括序列光学表面和光学介质。 6"W~%FSJX }9xEA[@; DN@T4!
4. 光线追迹系统分析器-选项 :d<;h:^_ ivbuS-f=r &V&0kp@+ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 U/oncC5 ■ 可以选择选取光线的方法: rsR0V+(W — 在x-y-网格 O9k9hRE]z — 六边形 98os4}r — 自由选取 ]64mSB ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 YQ_3[[xT B&`hvR 5. 系统的3维视图 \S@;>A<J <Dw`Ur^ X5
[2!K 6 6. 其他系统参数 -zd*tujx ■ 系统由单色平面波照明 & ;+u.X ■ 照明波长266.08nm +]Y&las ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: DH_Mll> — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 "S43:VH — 一个虚拟屏位于焦平面 vb}; _/#? — 光束尺寸探测器置于焦平面 2hRaYX,g ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^Q]*CU+C pCNihZ~ u><gmp& vvLm9Tw ~3.1.
'A 7. 光线追迹系统分析器的结果 z$E+xZ Dqe/n_Z
光线经过整个光学系统的三维视图 z.:{
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 4XDR?KUM +'?p $@d XGEAcN ;PJWd|3 `av8|; DEaO=p| 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 *tjE#TW n< [np;\ m u(HNj ■ VirtualLab可用于计算点列图。 A?3hNvfx ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 <$n%h/2% ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 |$":7)eH! ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Mu18s} F9ry?g=h 9. 焦平面上的结果 Uq&ne1 uRKCvsi sX REhXW_x ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 86~HkHliv ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 N7*JL2Rnq ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm G.O0*E2V ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Zbxd,|<| ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 "TKf"zc I~MBR2$9 10. 总结 ~ @Ib:M ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 O: sjf?z ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 dZRz'd ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ywt_h;: ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 '!Vn
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