利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) :C,}DyZy Fzy#!^9Nu 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =U8+1b V-X Ty
iv 1. 描述 l7IF9b$c ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 o&$lik ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,pQ[e$u1 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }9;mtMR$ 0W+RVp=TL1 2. 系统 &yOl}?u 7+hc?H[&'
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd S1C#5= 3. 透镜系统组件编辑 t"e %'dFv kr!>rqN5 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 yF+mJ >kj ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8|5+\1!#/) ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <JvYCWX` ■ 包括序列光学表面和光学介质。 a( N;|< C^,J6;' BJ
fBYH,M 4. 光线追迹系统分析器-选项 d5R2J:dI Wvl'O'R =5YbK1Q^ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 c+8 Y|GB ■ 可以选择选取光线的方法: h,b_8g{! — 在x-y-网格 r@wE?hK — 六边形 ApplWa3 — 自由选取 +"~*L,ken0 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 T
eu.i L6ypn)l 5. 系统的3维视图 >enP~uW[# <DII%7q,6/
bBGg4{ 6. 其他系统参数 SbsdunW+? ■ 系统由单色平面波照明 ~~I]SI k{ ■ 照明波长266.08nm T|
R!Aw. ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _.%g'=14f — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 n,_9Eh#WD — 一个虚拟屏位于焦平面 ` 1y @c"t — 光束尺寸探测器置于焦平面 8p1:dTI5Pb ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :R$v7{1 HW"5MZ8E PQz[IZ A.r.tf}: x@pzgqi3 7. 光线追迹系统分析器的结果 st#^pWL s!Iinc^p
光线经过整个光学系统的三维视图 + EKp*Vje
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) zgn`@y2 ]I;owk, .t{uzDM IA}.{zY~| .v9i|E=<~ DQ0 UY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;$qc@)Uwp
;CV' GW%!?mJ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 Z0wH%o\ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ma"M? aM ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 M.C`nI4 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Vgy12dE +j$nbU0U 9. 焦平面上的结果 "39mhX2 -;i:bE CL t(_!q ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [g+WL\1 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^a!oq~ZSy ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 6r[pOl: ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 >Tn[CgH]7 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 &iy7It +]hc!s8 10. 总结 (@O,U ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 zNEN[ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 l9H-N*Wx ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :
>$v@d ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 /~?[70B}E
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