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infotek 2024-11-26 07:57

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) :C,}DyZy  
Fzy#!^9Nu  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =U8+1b  
V-X Ty iv  
1. 描述 l7IF9b$c  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 o& $lik  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,pQ[e$u1  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }9;mtMR$  
0W+RVp=TL1  
2. 系统 &yOl}?u  
7+hc?H[&'  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
S1C#5=  
3. 透镜系统组件编辑 t"e%'dFv  
kr!>rqN5  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 yF+mJ >kj  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8|5+\1!#/)  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <JvYCWX`  
包括序列光学表面和光学介质。 a( N;| <  
C^,J 6;'  
BJ fBY H,M  
4. 光线追迹系统分析器-选项 d5R2J:dI  
Wvl'O'R  
=5YbK1Q^  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 c+8 Y|GB  
可以选择选取光线的方法: h,b_8g{!  
— 在x-y-网格 r@wE?hK  
— 六边形 ApplWa3  
— 自由选取 +"~*L,ken0  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
T eu.i   
L6ypn)l  
5. 系统的3维视图 >enP~uW[#  
<DII%7q,6/  
bBGg4{  
6. 其他系统参数 SbsdunW+?  
系统由单色平面波照明 ~~I]SI k{  
照明波长266.08nm T| R!Aw.  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _.%g'=14f  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 n,_9Eh#WD  
— 一个虚拟屏位于焦平面 `1y@c"t  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 8p1:dTI5Pb  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :R$v7{1  
HW"5MZ8E  
PQz[IZ  
A.r.tf}:  
x@pzgqi3  
7. 光线追迹系统分析器的结果 s t#^pWL  
s!Iinc^p  
光线经过整个光学系统的三维视图
+ EKp*Vje  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
zgn`@y2  
]I;owk,  
.t{uzDM  
IA}.{zY~|  
.v9i|E=<~  
DQ0 UY  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;$qc@)Uwp  
 ;CV'  
GW%!?mJ  
VirtualLab可用于计算点列图。 Z0wH%o\  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ma"M?aM  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 M.C`nI4  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 V gy12dE  
+j$nbU0U  
9. 焦平面上的结果 "39mhX2  
-; i:bE  
CL t(_!q  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [g+WL\1  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^a!oq~ZSy  
焦平面上的光斑尺寸为183mm 6r[pOl:  
此外,背景颜色也可以预先设置。 >Tn[CgH]7  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
&iy7It  
+]hc!s8  
10. 总结 (@O,U  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 zNEN[  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 l9H-N*Wx  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 : >$v@d  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 /~?[70B}E  
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