利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) BlkSWW/ vqrBRlZ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +
$k07mb\ #@nZ4=/z 1. 描述 W@:^aH ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^z[_U}N\} ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]sX7%3P ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _Ct}%-,4 ?~F]@2)5w 2. 系统 Am2*- C#A@)>
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd c_~XL^B@ 3. 透镜系统组件编辑 %3]3r*e&5 Tx y]"_ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )vO_sIbnW ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,$HHaoog ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5T!&r ■ 包括序列光学表面和光学介质。 mcvDxjk,h am]3
"V> ! a86iHU 4. 光线追迹系统分析器-选项 l9]o\JFXk y.jS{r". H"2 U)HJl ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 aF D="Zh ■ 可以选择选取光线的方法: Sv.KI{;v$ — 在x-y-网格 08`f7[JQo] — 六边形 c}YJqhk0J — 自由选取
$`^H:Djr ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \V._Z>] 60~v
t04 5. 系统的3维视图 uEBQoP2 2}D,df'W4
w+Ad$4Pf" 6. 其他系统参数 ^%-NPo< ■ 系统由单色平面波照明 )URwIe{ ■ 照明波长266.08nm #o"tMh!f ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ]a8eDy — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }'u3U"9) — 一个虚拟屏位于焦平面 S*;#'j)4+ — 光束尺寸探测器置于焦平面 fW(; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 |d5ggf.w CP}0Ri) Q?Wr7 $Xf~# uH N[>:@h 7. 光线追迹系统分析器的结果 yU> T8oFh yxqTm%?y
光线经过整个光学系统的三维视图 STv(kQs
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) o\d |CE;> KUbJe)}g SzRL}}I "pYe-_"@ RTA%hCr! m{VL\ g) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 GM:,CJ? 9 _eS`,' v<j2L"bj ■ VirtualLab可用于计算点列图。 "@(58nk ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O!o <P5X^ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
yz2(_@R ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Tu==49 q{/*n]K 9. 焦平面上的结果 8:~b
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/=L 2mQOj$Lv ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \{lE0j7}h ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 t`uc3ta"9 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm iL+y(] ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 &ryiG ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 P7'M],!9w Ohc^d"[7 10. 总结 :r\xkHg/f ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 2,+d|1(4o ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 iW'_R{)T ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 t~q?lT ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 g2A"1w<-AH
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