利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 6F3#Rxh ]f q.r 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3say&|kJ \6xVIQ& 0 1. 描述 v}ZQC8wL ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 a ^b_&}y ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .~6p/fHX ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LQs2!]?HT X&6p_Lo 2. 系统 _S#uxgL< ALiXT8q
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ?j8F5(HF? 3. 透镜系统组件编辑 vd9><W 0>m-J ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 P/?` ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t3b%f`D ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F%x8y ■ 包括序列光学表面和光学介质。 oxb#{o9G 0p_/eWww- Q%(LMq4UG 4. 光线追迹系统分析器-选项 $aX}i4F 0t1WvW iP;X8'< BC ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 _d&FB~= ■ 可以选择选取光线的方法: %uyRpG3, — 在x-y-网格 40oRO0p — 六边形 n=n!Hn — 自由选取 jYRwtP\ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2hl'mRW Uax- z 5. 系统的3维视图 >9(lFh0P !~cTe!T
m6)8L?B 6. 其他系统参数 C w`v\
9 ■ 系统由单色平面波照明 -U(T ■ 照明波长266.08nm &CFHH"OsT ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }r6SV%]: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 %^g BDlR^ — 一个虚拟屏位于焦平面 DQd~!21\| — 光束尺寸探测器置于焦平面 d$/BF&n ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 GH![rK j9sf~}D> jAmAT/ 1 v"Fa_+TVx r"SuE:D 7. 光线追迹系统分析器的结果 lN)U8 oBQr6-nZ
光线经过整个光学系统的三维视图 NWSBqL5v
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) e;R5A6| ~fn2B `AeId/A4n +s
c|PB <SUjz}_Oa: (t1:2WY@ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w%)=`'s_ W~
XJ ']e Sb+pB58&N ■ VirtualLab可用于计算点列图。 P}y}IR{6 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Slcf= ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f7}/ {}g ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 l=[<gPE #[C|%uq 9. 焦平面上的结果 aHe/MucK 5 @bLDP &96I4su ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >Qz#;HI ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 d>}pz ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm /i$E |[ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 IY?[ 0S ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 as-
Z)h[B [s"3g\L'; 10. 总结 at${^,& ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wj9CL1Gx ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ={-\)j ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 z_~f/ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 f@T/^|`mh
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