利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) lIO.LF3 wJJ4F$"b 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ~=HN30 H,qIHQW# 1. 描述 ]#N2:ych ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^_JD
7-g ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9|dgmEd ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q{ov62t` Vb06z3"r 2. 系统 cu|gM[ < pI2}
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd m;{_%oQ; 3. 透镜系统组件编辑 goi.'8M|/b w4pU^&O ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 6%NX|4_ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .MuS"R{y ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oK@!yYv ■ 包括序列光学表面和光学介质。 C$\|eC j !8vHN=)z +ex@[grsGT 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^8aj\xe( tfj6#{M5 8qn1?Lb ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !v^D}P 3Y ■ 可以选择选取光线的方法: 9 )u*IGj — 在x-y-网格 JpE4 o2 — 六边形 blph&[`}I — 自由选取 .&.j?kb ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?hvPPEJf KDgJ~T 5. 系统的3维视图 r]?ZXe$; =:[Jz1 M5
y5iLFR3z 6. 其他系统参数 $6h:j#{JE ■ 系统由单色平面波照明 4x.'H18 ■ 照明波长266.08nm R9D<lX0% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 4&)*PKq — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 qyv9]Q1 — 一个虚拟屏位于焦平面 MVz=:2)J2 — 光束尺寸探测器置于焦平面 Y$!K<c k ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 QIF|pZ+^ ,K .P,z~* UA/Q3) db^S@} vb)Z&V6( 7. 光线追迹系统分析器的结果 zx'G0Z9] 64>E|w
光线经过整个光学系统的三维视图 R!;tF|]
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) $'dJ+@ Rtw^
lo eX7Ev'(H Bvzl*
&? F"VNz^6laV P0S;aE 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $q]((@i. Rv
?Go2 5Tluxt71 ■ VirtualLab可用于计算点列图。 k'}}eu/ q ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r^-3( 77n ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 G+
PBV%gE[ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !YSAQi ;I ~F^=7oq 9. 焦平面上的结果 [t5:4
Iq bwUsE U 0 7$WO@yOsh ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _,_>B8 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 :XcU @m ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 5:E7nqsNhq ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 5WgdgDb@L ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Bu">)AnN LF* 7;a 10. 总结 e4u$+ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 E.Xfb"] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 1uz9zhG>< ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 kX."|] ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ZN-J!e"`
|