利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) j6og3.H- r{Z[xWIX 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hHEPNR[.
H/`G 1. 描述 SUc6/'Rdr ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _uJVuCc ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5%&] ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 @?d?e+B +;6) 2. 系统 ~lk@6{`l|1 RpAiU
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 6qDfcs 3. 透镜系统组件编辑 0 {,h.: ~$ *`cO ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Gql`>~ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 rg*^w! ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _ .!aBy%xf ■ 包括序列光学表面和光学介质。 v~aLTI `[bJYZBc2 #Z!#;%S 4. 光线追迹系统分析器-选项 Otxa<M+" Wz5=(<{S Vq U|kv
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 D>Ua#<52q ■ 可以选择选取光线的方法: ]/[0O+B? — 在x-y-网格 E#aZvE — 六边形 >+SZd7p — 自由选取 R|-j]Ne ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 I5Q~T5Ar WDvV
LU` 5. 系统的3维视图 pkW5D Zsgi{
@'Q%Jc( 6. 其他系统参数 j=\Mx6os ■ 系统由单色平面波照明 w_GLC%|7 ■ 照明波长266.08nm ?jFc@t*\: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .X^43
q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^7<[}u;qF — 一个虚拟屏位于焦平面 LjCykk — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~n8F7 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 K]9tc) E::<;9 $CM4&{B"i l=,.iv=W UFos
E|r: 7. 光线追迹系统分析器的结果 ?f9$OLEB unpfA#&!"
光线经过整个光学系统的三维视图 6S)$3Is
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) XQ4dohGCP |^Ur +B](5 z4 ^fG`DjA) b5[f 5 +A&EKk%$ | 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ,b.kw}k 7L1\1E:! G[vUOEU~O ■ VirtualLab可用于计算点列图。 G[y&`Qc)G ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 9t.fij ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7=L:m7T ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 dE+CIjW5 $>nkGb%Kp 9. 焦平面上的结果 |+>%o.M&i q#l.A?rK\ 6JUav."`~ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 XB6N[E ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 'O!Z:-qE ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 0F-mROC=F ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 v$qpcu#o ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 de*,MkZN #nxER 10. 总结 \=HfO?$ Ro ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B:.;,@r] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 MoC*tImWR ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 aNuZ/9O ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 GGFar\
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