利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) <o()14
-`q!mdA2 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =~O3j:<6 &;ddnxFI
1. 描述 esSj
3E ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]B(}^N>WH ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;*qXjv&
K ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 uO1^Q;F ^iEf"r 2. 系统 S<]k0bC yam'LF
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 49E|
f
^q 3. 透镜系统组件编辑 \Nik`v*Pd :gRrM)n ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 `{YOl\d_ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 A(&\wd ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 G--vwvL ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ;VCV%=W< ?:vg`m!* 'dwsm7Xd 4. 光线追迹系统分析器-选项 `GqF/?i MDa[bQNM i/!{k2 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 '(r?($s ■ 可以选择选取光线的方法: tz65Tn_M — 在x-y-网格 AIl`>ac — 六边形 W\<OCD%X — 自由选取 e#5WX ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Onqapm0 ;Uch 5. 系统的3维视图 ?z)2\D q#Otp\f
5Zc 6. 其他系统参数 hK4ww"- ■ 系统由单色平面波照明 2 br>{^T ■ 照明波长266.08nm ZD50-w; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?}^ y6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >*/
|tL — 一个虚拟屏位于焦平面 xz@*V>QT — 光束尺寸探测器置于焦平面 )`k+Oyvi< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 T:Q+ Z }v+ Fc=F2M o? iU0jv7}n LU*mR{B $m>( kd1 7. 光线追迹系统分析器的结果 X%!?\3S U#Kw+slM
光线经过整个光学系统的三维视图 RU.j[8N$
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) x2~fc 1\-lAk!
4cm~oZ pkIQ,W{Ke f3,Xb
]h /q]fG 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 -[=@'NP S]ndnxy"b ^l(,'>Cn ■ VirtualLab可用于计算点列图。 6EWCJ%_ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 KPK`C0mg@k ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 z,qNuv"W ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 C>l (4*S '6WZi|(a 9. 焦平面上的结果 UWCm:eRQ 1:h(8%H@" @uxg;dyI~ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 kyB>]2 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 B
4e}% ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm qqYQ/4Ajw ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 u 8~5e ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Dxr4B< ^SUo-N'' 10. 总结 _}`y3"CD7 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 aIfB^M*c5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8r.MODZG/ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jN+2+P%OL ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 yK2>ou
|