利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) qM}Uk3N0
[Ume^ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 uzG{jc^ 2w"Xv,*.'i 1. 描述 d+DdDr ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]$Ud`<Xnx ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 V}=%/OY? ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 f+3ico]f@ ygI81\D 2. 系统 6WI-ZEVp& TEB<ia3+
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd < 7 3. 透镜系统组件编辑 10.u }enS'Fpf` ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 d OG]Yjc ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 s0D,n1x ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0 $Ygt0d ■ 包括序列光学表面和光学介质。 "Sx}7?8AB [v0[,K r [NI#wW 4. 光线追迹系统分析器-选项 BeR7LV yLFZo"r m%$GiNs} ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [nYm-\M ■ 可以选择选取光线的方法: O4c[,Uq8~ — 在x-y-网格 !\'NBq, — 六边形 5>S=f{ghFw — 自由选取 xbTvv>'U ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9sQ#v-+Yx k_,wa]ws$ 5. 系统的3维视图 At t~NTL ]'"aVGqa.
= n>aJ(=Pd 6. 其他系统参数 9e aqq ■ 系统由单色平面波照明 }piDg(D ■ 照明波长266.08nm .,vF%pQ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ^i;y2c — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Q:v9C ^7 — 一个虚拟屏位于焦平面 7RpAsLH= — 光束尺寸探测器置于焦平面 j]6c_r3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 xPcH]Gs^b DQ08dP((v M9PzA'}4W6 +t8{aaV 0b3z(x!O 7. 光线追迹系统分析器的结果 %C1*`"Jb& q@@C|oqEX
光线经过整个光学系统的三维视图 {hRM=f7
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) gK%^}xU+
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w $D%[}[2 _+0QQ{'N \9Yc2$dY r5s$#,O/&Q 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h%=>iQ%enc vR*TW Jx-dWfe ■ VirtualLab可用于计算点列图。 -~HyzX\cZB ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Vmb `%k20' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 wJ}9(>id* ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 xlHC?d0} [@4.<4Y 9. 焦平面上的结果 Wf>P[6 I `I+7~t (Z)F6sZ`8 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C%LXGMt ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 4xl}kmvv
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm }z|@X KA# ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 -0G/a&ss ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 7wA.:$ sSdnH_;& 10. 总结 %]iE(!>3oy ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 C\RJ){dk ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 MzP
q(`W ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ->q^$#e ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ka UEv\T
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