利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) NNE,|
: >slN:dr0: 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +zdkdS,2< |+:ZO5FaO 1. 描述 5tU"|10m3 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 M=WE^v!b ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 iy82QNe ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 'c[LTpn4= y:OywIi( 2. 系统 9(F?|bfk &{/>Sv!6#
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd i 9tJHeSm 3. 透镜系统组件编辑 )Zf}V0!?+ ?+O|mX}`- ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 e-cb?.WU? ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ePRM v ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 R[9PFMn ■ 包括序列光学表面和光学介质。 :J`!'{r W:poUG1UR U\8#Qvghf 4. 光线追迹系统分析器-选项 6+;2B<II '}`hY1v 8*#][wC2 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;9 &1JX ■ 可以选择选取光线的方法: R,w54}, — 在x-y-网格 _Q}RElA — 六边形 HjK<)q8b — 自由选取 4Eh BpTg
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 HA.NZkq.tV `{|}LFS> 5. 系统的3维视图
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7YXXkdgbd 6. 其他系统参数 "p~]m~g ■ 系统由单色平面波照明 <#p|z`N ■ 照明波长266.08nm 8X
?GY8W: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: tD~PvUJ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M`C~6Mf+ — 一个虚拟屏位于焦平面 :YJ7J4 — 光束尺寸探测器置于焦平面 KG-k$glD ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 n#^?X gLxT6v5wk. %j[LRY/ Gx h~ _5U%'\5s 7. 光线追迹系统分析器的结果 jgo<#AJ/E c6Yf"~TD0
光线经过整个光学系统的三维视图 (w#slTFT
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) j""y2c1 v`_i1h9p{ uzVG q!'H RvPniT(<? "%}Gy>; h=K36a) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 s}[A4`EWH \`P2Yq /jjW/lr ■ VirtualLab可用于计算点列图。 %0+h ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k%Ma4_Z ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 *;OJ~zT ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 z\Pe{J j[m_qohd7 9. 焦平面上的结果 I=4Xv<F ;gxN@%}@ -~vl+L ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Xq8uY/j ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 4T-,'P{? ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm i\kTm?BQZ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 V-D}U$fw ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 sorSyuGr E3~,+68U 10. 总结 YBYB OH ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e-[>( n/[ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 o}9M`[ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Lv
`#zgo_f ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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