利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) \^a(B{ S`g:zb_ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 b5K6F:D22 (?R;u> 1. 描述 4j^-n_T ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [mwJ* GJ- ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 j06?Mm_c2 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w/_n$hX h!.#r*vV 2. 系统 kHLpa/A =OY&;d!C
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ;^+# 3. 透镜系统组件编辑 YuufgPE*H V@krw"vW ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 aDEz|>q ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ZslH2#
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `q
= e<$ ■ 包括序列光学表面和光学介质。 y.,S}7l: vC$Q4>m !Rp 4. 光线追迹系统分析器-选项 N6K%Wkz 4Uz1~AuNxb lS1-e0,h1 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }#0MJ6L ■ 可以选择选取光线的方法: Gt;@.jY& — 在x-y-网格 @;>i3? — 六边形 ]j.=zQP?' — 自由选取 81?7u!=ic+ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vwy10PlqL xX;@
BS 5. 系统的3维视图 5WhR| yLv jfP1
[f`^+,U 6. 其他系统参数 WH:[Y7D ■ 系统由单色平面波照明 [t)omPy<c ■ 照明波长266.08nm F.;G6 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5vxKkk&i4l — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 n =SY66 — 一个虚拟屏位于焦平面 'p0|wM_ — 光束尺寸探测器置于焦平面 $xx5+A%, ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 z3F ^OU 9iMQq40 @q=l H
*= MYVUOd, z^(6>U
? 7. 光线追迹系统分析器的结果 #$\cRLPg ?gZJ v
光线经过整个光学系统的三维视图 -Vj'QqZ
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) t<`h(RczHI aFkxR\x
6% <9za!.(zu &5*)r@+ q;I`&JK ONx|c'0g 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |.bp G5^gwG+ ,H{
/@|RW ■ VirtualLab可用于计算点列图。 c[=%v]j:u ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Bjg 21bw^ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 'WqSHb7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ^RN1?dXA C=LXL1x2e 9. 焦平面上的结果 1[k~*QS WIwbf |\ >M` swEj ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 L_+0[A ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ++KY+j.^ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =hV-E
D ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 47Y|1 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 q.(p.uD +uPN+CgQ@ 10. 总结 /)80@ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `I$qMw,@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 '-jKv=D+ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 N0s)Nao4 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _/[n/"gn
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