利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) O5vfcX4> vR:#g;mnk 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2,q*8=?{6P &"JC8 1. 描述 \t1#5 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +B " aUF ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 XJPIAN~l ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 XWAIW=. Ycm .qud
? 2. 系统 j@(S7=^C6% e-P{)L<s5
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd F?R6zvive 3. 透镜系统组件编辑 BHAFO E WN{8gL&y ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8v2Wi.4T ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "lu^ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 J.: ■ 包括序列光学表面和光学介质。 FS&QF@dtgf ^|.T\ zA6C{L G3 4. 光线追迹系统分析器-选项 0ZDm[#7z [[^r;XKQ nw-- ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 l![79eFp ■ 可以选择选取光线的方法: TM{m:I:Z*n — 在x-y-网格 M !"Q7>d — 六边形 QxE%C — 自由选取 9 c9$cnQ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @H$am PSu]I?WF 5. 系统的3维视图 @w= =*.x iUh7eR9
ef{Hj[8 6. 其他系统参数 d7b`X<=@s ■ 系统由单色平面波照明 -u%o) ;B ■ 照明波长266.08nm rwUhNth-Qh ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: U:$zlfV — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 9-m_
e=jk6 — 一个虚拟屏位于焦平面 eyDI>7W — 光束尺寸探测器置于焦平面 {@7UfJh> ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 UdkNb}L 0K.$C~C {`2 0' :/=P6b; YK8l#8K 7. 光线追迹系统分析器的结果 M^WoV
}' 8i`T?KB
光线经过整个光学系统的三维视图 teDRX13=;
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) `O3#/1+ F czia0@z oSMIWwg7G K
~\b+ jzDPn<WQ !?i9fYu 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !$iwU3~< aRWj+[[7y Dy. |bUB!f ■ VirtualLab可用于计算点列图。 S?v;+3TG ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 SP2";,%/9 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ~rOvVi&4 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 FN sSJU3ld 8[^b8^ 9. 焦平面上的结果 u5qaLHoEP p|;#frj 8j&1qJx) ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 8_D:#i ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 gEVoY,}/-U ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm u^ wGVg ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 !_o1;GzK ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 P&o+ut: w"Zws[pm] 10. 总结 t2.]v>< |