利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) }E[vW h7@%}<% 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 $!TMS&Wk }RKsS3} 1. 描述 XBB>" ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q7{{r&|t& ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7G*rxn"d ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E7hs+Mh >AY9F|: 2. 系统 hwQ|'^(@O "5'eiYms
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd BUV4L5( 3. 透镜系统组件编辑 3<N2ehi? .o,-a >jL ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 og~a*my3 ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 G l2WbY ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !%DE(E*'(
■ 包括序列光学表面和光学介质。 _a|g
> GN=8;Kq% B&y?Dc 4. 光线追迹系统分析器-选项 m1X*I %M/L/_d s&Al4>}.f ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 p$= 3$I ■ 可以选择选取光线的方法: P}( c0/ — 在x-y-网格 s{{8!Q — 六边形 bj0<A — 自由选取 #W
l^!)#j? ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #<U@SMv TU6YS< 5. 系统的3维视图 ZX.,<vumSy !'IZr{Y>
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4? 6. 其他系统参数 mwN"Cu4t ■ 系统由单色平面波照明 #3eI4KJ4+l ■ 照明波长266.08nm v6| [p ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 59v=\; UI — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 vb]uO ' l — 一个虚拟屏位于焦平面 :#_k`{WG — 光束尺寸探测器置于焦平面 ^,?>6O ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 KK]R@{ r I9rQX9#B
g>eWX*Pa| Eza^Tbq%j? ;-l^X%r 7. 光线追迹系统分析器的结果 #pPR>,4 HZS.%+2
光线经过整个光学系统的三维视图 H 8 66,]
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) C8YStT wV{j CQ p]?eIovi e6qIC*C ! N~or.i&a w^n&S=E E~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 M?hPlo"_ GukwN]*OY +u t%C.1
■ VirtualLab可用于计算点列图。 gbh/` ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
G;A ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .i*ja* ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 3UZ_1nY a9_2b}t 9. 焦平面上的结果 -;RAW1]}Y$ 0"+QWh : 0Y.${h ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MrOtsX ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 HM"(cB(n` ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm W~i0.rg|> ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 mz;ExV16 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 E5c)\
D |Xd&aQ 10. 总结 gh"_,ZhZt ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 KBI1t$ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d4Y[}Fcp+ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 wLt0Fq6QG ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 IBNb!mPu%
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