利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) #).^k- 'S6zk wC] 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Pr}
l
y c9[{P~y 1. 描述 L?nhm=D ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q.$8>) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 o(e(|k
{ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }Q: CZ VgXT4gO! 2. 系统 c\ZI
5&4jT ^Ak?2,xB#+
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd uB"B{:Kz 3. 透镜系统组件编辑 9<rs3 84 T4:H: ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 I@m(} ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4Mg%}/cC ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;v]C8 }L^ ■ 包括序列光学表面和光学介质。 m<j;f SVVE b6& olQP>sa 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^"<Bk<b( . h)VR
5?j U~BR8]=G ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 nL^7t7mp ■ 可以选择选取光线的方法: #7 H0I8 — 在x-y-网格 a=ZVKb — 六边形 7@ONCG — 自由选取 , SUx!o ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b'^<0c &&$*MHJ 5. 系统的3维视图 b&E"r*i| ?r|iZKa
-}xK>
[" 6. 其他系统参数 IIMf\JdM ■ 系统由单色平面波照明 jHT^I
as ■ 照明波长266.08nm rg[#( ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: XjzGtZ#6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]srL>29_b — 一个虚拟屏位于焦平面 {TJ"O — 光束尺寸探测器置于焦平面 ;K l'[~z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 J s33S) '_DB0_Dp i\
7JQZ $bpu Qg1kF^= 7. 光线追迹系统分析器的结果 3LQu+EsS jN=
!Q&^i[
光线经过整个光学系统的三维视图 7ko}X,aC
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) XpKeN2=p Sh5m+>7K eGKvzu WuWOC6^ S{XO3 V@G|2ZI 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 b
H5lLcdf phA{jJy? dZkKAK:v ■ VirtualLab可用于计算点列图。 IWddJb~hu ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 {P?p*2J' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 q2Sc{E>[ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 6~!7?FK r<dvo%I#| 9. 焦平面上的结果 W+V & |