利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) YJ$Vn>6Z ${E[pT 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ^\7 x5gO lgv-)5|O+H 1. 描述 @^y?Bh9jQ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 T/WmS? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /IrR,bvA ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Dh!iY0Lz 90y9~.v 2. 系统 mD ^qx0o< *1o+o$hY2
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd wEHAkc)Q 3. 透镜系统组件编辑 .j:.WnW U Qi^udGFD ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8[`^(O#\E ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 qm'C^X? ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 xvx\H' ■ 包括序列光学表面和光学介质。 a7v[l04 _/sf@R ?D~SHcBaN 4. 光线追迹系统分析器-选项 ~&[P`
Z$ Hdq/E>u =@Nv:1:r ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Mly z>< ■ 可以选择选取光线的方法: VG'( — 在x-y-网格 ndCS<ojcBP — 六边形
|b-Zy~6 — 自由选取 6U>jU[/ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 7f\^VG $m: a-.I 5. 系统的3维视图 syNb0LR WGG)
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V+a%,sI 6. 其他系统参数 CU>K ■ 系统由单色平面波照明 x"wM_hl5L ■ 照明波长266.08nm X.AOp ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o&F.mYnqX — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^$Io;*N4 — 一个虚拟屏位于焦平面 j5Wx*~@( — 光束尺寸探测器置于焦平面 ?a0}^:6 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0^lL,rC
hYZ:" x DF[b? t02"v4_i K9M.+d4 7. 光线追迹系统分析器的结果 \\G6c4fC 'sQO0611S
光线经过整个光学系统的三维视图 0o=)&%G
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) ^-;Z8M pbvEIa-Y4 '*ICGKoT l(#Y8 "l,EcZRjTz :(p
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +2o|#`)i +sl uu!~ ![!b^:f ■ VirtualLab可用于计算点列图。 wP':B
AQ4U ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 y8S6ZtA}2 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <0
idG ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 J<* Mk 9S1V!Jp 9. 焦平面上的结果 UnF4RF:A2& }t-|^mY> SfFR ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q;PzB4# ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Q%1;{5 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm h#ot)m|I ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 eSBf;lr= ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 be#"517 w>Sz^_ h 10. 总结 Ud*[2Oi|R ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 pdiZ"pe ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 "TJ^Z! ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 CW YJ<27v{ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 !|c5@0Wr
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