光学测量系统的分析与公差

VirtualLab Fusion 软件可以对光学测量系统进行仿真，如干涉仪、光谱仪以及表面测量器件。 I73=PfS:m  
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很多光学测量原理都是基于光的波动特性。典型的器件有： 7SJtW`~  
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 干涉仪 6{?B`gm7g  
 光谱仪&单色仪 78t:ge eX  
 表面计量系统 L-Pq/x2r  
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VirtualLab Fusion 软件可以对这些测量系统进行仿真及公差分析。许多设置都是以衍射效应、干涉效应以及时间和空间相干性为特点。VirtualLab的场追迹引擎进行快速精确的测量系统建模的同时考虑了这些物理光学效应。 eIt<da<G?  
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VirtualLab Fusion软件的特性： )cBO_  
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 基于物理光学的计量系统仿真 g,}_&+q:.M  
 包含部分相干和衍射效应 A$W~R  
 尤其对倾斜和偏移的公差分析 _'Hw`0}s  
 真彩色获取 wF$z ?L  
 便于使用的位置概念 Ew*SA  
 干涉条纹的计算 gE~LPwM  
 测绘扫描系统的仿真 kuW^_BROJ  
 全谱段高分辨率分析 j4}Q  
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用于表面拓扑测量的白光迈克尔逊干涉仪的仿真。整个系统中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。

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