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F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析
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infotek
2024-11-13 07:58
F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析
[KHlApL
激光扫描系统(LSC.0002 v1.0)
tU2#Z=a
CLe{9-o
应用案例概述
On~KTt3Mp
[7~AWZU3
系统细节
.9=4Af
ZzTkEz >
光源
V*fv>f:Yv
– 绿光二极管
Vy[xu$y
元件
\P9ms?((A
– 双轴振镜扫描仪
1n}#54
– F-Theta物镜
53ZbtEwhwr
探测器
oqysfLJ
– 场曲和畸变探测器
lF.kAEC
– 光束强度剖面探测器
kZ)}tA7j
– 焦点区域探测器
vqQ)Pu?T
– 光束参数探测器
X$1YvYsID
模拟/设计
C96*,.j~'
– 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变
T?d}IDv1
– 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究
gp{C89gP
~/)]`w
系统说明
7NWkN7:B
!X$19"
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激光扫描系统的性能评估
.U@u |
rO.[/#p\
一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。
|4 \2,M#
此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。
AkW>*x
U9^1A*
模拟和设计结果
Iy4%,8C]g
lVq5>:'}^;
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其他的VirtualLab特征
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%`T}%B
在此案例中,你将从以下选择的特征中获益:
[ 't.x=
各种探测器
1:^Xd~X
- 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置
WwZ3hd
- 测量探测器平面上的光束位置
Z'2AsT
- 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场
[)jNy_4
参数耦合
y9/nkF1p
- 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位
.N.RpRz{f
参数运行
] dJ"_
- 估计扫描场尺寸
Z : xb8]y
- 生成场曲和畸变图
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总结
+y'2 h%>h[
/@1YlxKF
VirtualLab可以
~+t@7A=
模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统
Dqc GzTz
分析目标平面上的光束偏转
6s~B2t:Y
- 通过光线追迹来计算扫描场尺寸,场曲和畸变
%dW;P[0
- 通过几何场追迹来计算光束剖面
N *$GP3]
- 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点
"]q xjs^3?
应用案例详述
0(f+a_2^Q
/t7f5mA
系统参数
aZ_3@I{d`
Lp(`m=;O
应用案例内容
V,Nu!$)J
LSC.0001和LSC.0002为激光扫描系统。
%]0?vw:;j
在这个案例中,通过模拟扫描过程来分析F-Theta物镜的场区和畸变。
CR9wp]-Vd
相对于LSC.0001,显示了性能提高。
Y7p@NG&1q
强烈建议首先阅读LSC.0001。
W]7<PL*u
~MH^R1=]
file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_01_RayTracing.lpd
=Hd#"9-
EKF4]
模拟任务
FI?J8a
yn]Sc<uK
连续激光模
&@CUxK
\a|~#N3?
规格:输入激光光束
fvH{va.
h~9P34m
激光组件中的单模二极管激光器
B&rN