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2024-10-24 08:26 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 w#(RW7":F lj2=._@R 任务说明 l#bAl/c` Q_zr\RM> `cr(wdvI ._CP%
R 灵活地导出制造数据: 7*s8ttX - 平滑的界面 v27Ja .tA - 量化界面 iOqk*EL_r\ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 0a2@b"l I,O#X)O|i 亮点 & ,L9O U 导出各种表面形状的制造数据 G'x .NL 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 }/e`v6 g4&jo_3:p
<]G${y*; 一般界面的制造数据 naNyGE7) XU-m"_t A0xC,V~z j@1)K3Hga 支持文件格式: %<Q*Jf - 纯文本 $'"8QOnJ?k - ASCII码 *'ZN:5%H - 点云 1u}nm;3 - CAD格式(例如,STL,IGES) vtxvS3
ohQAA h STL导出平滑界面(例如Asphere) \u{8Bak0 qv+R:YYOq 采样高度剖面的STL导出 rdJB*Rlkh Xl%0/o Lz4ehWntO
GAEO$e: 量化界面的GDSII导出 lDc;__}Ws 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 i$UQbd 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 UAYd?r y,m2(V
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