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2024-10-24 08:26 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 1oVD Oo
fVe-esAw 任务说明 j?` D\LZhf -T="Ml& V:$1o _\V{X}ftqa 灵活地导出制造数据: orN2(:Ct7 - 平滑的界面 5D@Q1 - 量化界面 OsuSx^} - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 6b5{ Y&Nv>o_}5 亮点 K`mxb} 导出各种表面形状的制造数据 3n"&$q6 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Fu=VY{U4 7JK 'vT
^K@GK 一般界面的制造数据 er}'}n`@q OaVL NA^{ 'aSORVq^e[ +GEKg~/4e 支持文件格式: iO#xIl< - 纯文本 +/^q"/f F - ASCII码 Gl\RAmdc - 点云 %-zH]"Q$ - CAD格式(例如,STL,IGES) (#>5j7i8# ]$X=~>w STL导出平滑界面(例如Asphere) 8XXTN@&, !Kn+*' # 采样高度剖面的STL导出 `>HthK >?\ !k
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${{ 量化界面的GDSII导出
HAOrwJFqU 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Lgw@y!Llij 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 zL=I-f Vq Jrrk$0H^~
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