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infotek 2024-10-24 08:26

导出制造数据

光整形>衍射光学 w#(RW7":F  
lj2=._@R  
任务说明 l#bAl/c`  
Q_zr\RM>  
`cr(wdvI  
._ CP% R  
灵活地导出制造数据: 7*s8 ttX  
- 平滑的界面 v27Ja .tA  
- 量化界面 iOqk*EL_r\  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 0a2@b"l  
I,O#X)O|i  
亮点 & ,L9OU  
 导出各种表面形状的制造数据 G'x .NL  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 } /e`v6  
     g4&jo_3:p  
<]G${y*;  
一般界面的制造数据 naNyGE7)  
XU-m"_t  
A0xC,V~z  
j@1)K3Hga  
支持文件格式: %<Q*Jf  
- 纯文本 $'"8QOnJ?k  
- ASCII码 *'ZN:5%H  
- 点云 1u}nm;3  
- CAD格式(例如,STL,IGES) vtxvS3   
ohQAA h  
STL导出平滑界面(例如Asphere) \u{8Bak0  
qv+R:YYOq  
采样高度剖面的STL导出 rdJB*Rlkh  
Xl%0/ o  
Lz4eh WntO  
GAEO$e:  
量化界面的GDSII导出 lDc;__}Ws  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 i$UQbd  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 UAYd?r  
y,m2(V  
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