线下课程——薄膜设计与镀膜工艺(12月4~6日)
课程编号CS240016 d'q&Lq E6Q91Wz9f 时间地点 ChVY
Vx( 1O4D+0@ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 e
sGlMq 授课时间:2024年12月4 (三)-6(五)共3天 AM 9:00-PM 16:00 x{j+}'9 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 b<\G I7 课程讲师:讯技光电高级工程师&资深顾问 -G!6U2*# 课程费用:4800RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐) Ks51:M *NF&Y 特邀专家介绍 -BjEL;
'N|2vbi< 易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。 d}pGeU' qs "s/$ 课程简介 wvX"D0eVn ec#_olG% 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。 $'y1Po'2 n }TTq6B 课程大纲 nE^wxtY wNbTM.@ 1. Essential Macleod软件介绍1.1 介绍软件 VrudR#q 1.2 创建一个简单的设计1.3 绘图和制表来表示性能 Ipg\9*c` 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) FfjC
M7? 1.6 特定设计的公式技术1.7 交互式绘图 y^, "gD 2. 光学薄膜理论基础2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 %qONJP 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响3. 材料管理 <BQ%8} 3.1 材料模型3.2 介质薄膜光学常数的提取 z3ZuC{ 3.3 金属薄膜光学常数的提取3.4 基板光学常数的提取 #'#4hJ*YC 4. 光学薄膜设计优化方法4.1 参考波长与g HoMQt3C 4.2 四分之一规则4.3 导纳与导纳图 \2(MpB\_6! 4.4 斜入射光学导纳4.5 光学薄膜设计的进展 @H3|u`6V 4.6 Macleod软件的设计与优化功能4.6.1 优化目标设置 2,+@#q 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法)4.6.3 膜层锁定和链接 D.
77WjwQ 5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用5.1 减反射薄膜 &8zk3 5.2 分光膜5.3 高反射膜 rT o%=0P 5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 p-a]"l+L 5.6 负滤光片5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 +7`u9j. 5.8 仿生蛾眼/复眼结构5.9 颜色膜 gp%tMTI1 5.10 Vstack薄膜设计示例5.11 Stack应用范例说明 ?Z5$0-g'hU 6. 薄膜性能分析6.1 电场分布 "[Yip5 6.2 公差与灵敏度分析6.3 反演工程 7Zhli Y1 6.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真7. 真空技术 qmQFHC_ 7.1 常用真空泵介绍7.2 真空密封和检漏 }1l}- w`F 8. 薄膜制备技术8.1 常见薄膜制备技术 KX]-ll 9. 薄膜制备工艺9.1 薄膜制备工艺因素 T..-)kL+p 9.2 薄膜均匀性修正技术9.3 光学薄膜监控技术 Dy98[cL 10. 激光薄膜10.1 薄膜的损伤问题 H+nr5!`kz 10.2 激光薄膜的制备流程10.3 激光薄膜的制备技术 fQ^h{n 11. 光学薄膜特性测量11.1 薄膜光谱测量 Ua}g 11.2 薄膜光学常数测量11.3 薄膜应力测量 ?exALv'B 11.4 薄膜损伤测量11.5 薄膜形貌、结构与组分分析 *
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