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2024-10-16 14:11 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
knX*fp 内容简介 PIZnzZ@Z; Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 RFsd/K; Zp 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 zC@ ziH>{] 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 'ycr/E&m{ `.MY"g9
讯技科技股份有限公司 G,{=sFX
SxX2+|0g`g 目录 7o+JQ&fF; Preface 1 f *Xum[ 内容简介 2 sIM^e 目录 i z%4E~u10 1 引言 1 J|O=w( 2 光学薄膜基础 2 >A]U.C 2.1 一般规则 2 %=ZN2)7{ 2.2 正交入射规则 3 "7> o"FQ 2.3 斜入射规则 6 }NH\Q$ IU 2.4 精确计算 7 @Cnn8Y&' 2.5 相干性 8 $uPM.mPFE 2.6 参考文献 10 LTn@OhC 3 Essential Macleod的快速预览 10 WfdM~k\ 4 Essential Macleod的特点 32 3?}\Hw 4.1 容量和局限性 33 A:-M RhE9X 4.2 程序在哪里? 33 %OV)O - 4.3 数据文件 35 #hKaH - j 4.4 设计规则 35 gv6}GE 4.5 材料数据库和资料库 37 vU4Gw4 4.5.1材料损失 38 xr;:gz!h 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ?(t{VdZSzQ 4.5.2 材料库 41 \!*3bR 4.5.3导出材料数据 43 s(0S)l< 4.6 常用单位 43 a>05Yxw 4.7 插值和外推法 46 =do*( 4.8 材料数据的平滑 50 :jKiHeBQu? 4.9 更多光学常数模型 54 .wdWs tQ 4.10 文档的一般编辑规则 55
E43Gk!/|( 4.11 撤销和重做 56 (O[:-Aqm 4.12 设计文档 57 Q;V*M 4.10.1 公式 58 /'[m6zm] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 eU*0;# 4.10.3 沉积密度 59 MrW*6jY@ 4.10.4 平行和楔形介质 60 /Ezx'h3Q
4.10.5 渐变折射率和散射层 60 (G E) 4.10.4 性能 61 7_=7 ;PQ< 4.10.5 保存设计和性能 64 #"T< mM7 4.10.6 默认设计 64 :rdw0EROy 4.11 图表 64 9s.x%m, 4.11.1 合并曲线图 67 Pse1NMK9 [ 4.11.2 自适应绘制 68 Yn~N;VUA 4.11.3 动态绘图 68 CnXl 7" 4.11.4 3D绘图 69 Q#h*C
ZT 4.12 导入和导出 73 ~Z{IdE 4.12.1 剪贴板 73 &'mq).I2 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 K3; lst>4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 K> rZJ[a 4.13 背景 77 K1_]ne)
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 2 &(w\#' 4.15 生成Rugate 84 G\;a_]Q 4.16 参考文献 91 ?*nFz0cs^ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 m|CB') 5.1 Jobs 92 Miw*L;u@W 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .{=|N8*py8 5.3 输入材料 94 CyWMr/' 5.4 设计数据文件夹 95 TwaK>t96[ 5.5 默认设计 95 -|FSdzvg 6 细化和合成 97 hoDE*>i 6.1 优化介绍 97 4Y>J,c 6.2 细化 (Refinement) 98 2omKP,9,2 6.3 合成 (Synthesis) 100 2!Gb4V 6.4 目标和评价函数 101 O:I"<w 9_1 6.4.1 目标输入 102 MjNq8'$" 6.4.2 目标 103 ~vGX(8N 6.4.3 特殊的评价函数 104 S>6f0\F/Y% 6.5 层锁定和连接 104 82>90e(CH] 6.6 细化技术 104 +n>_NVe 6.6.1 单纯形 105 wuV*!oef o 6.6.1.1 单纯形参数 106 {\P`-'C 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
f ecV[ 6.6.2.1 Optimac参数 108 "R!)"B== 6.6.3 模拟退火算法 109 =dp(+7Va 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \\D(St 6.6.4 共轭梯度 111 d41DcgG'j( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 l_MF9.z& 6.6.5 拟牛顿法 112 nF)XZB0F 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 AWG;G+ 6.6.6 针合成 113 YWK|AT-4 6.6.6.1 针合成参数 114 O,c}T7A'?w 6.6.7 差分进化 114 J?1U'/Wx2 6.6.8非局部细化 115 )o;oOPT! 6.6.8.1非局部细化参数 115 5j{jbo=! 6.7 我应该使用哪种技术? 116 \I[f@D-J 6.7.1 细化 116 WxrGoo^ 6.7.2 合成 117 YTk"'q- 6.8 参考文献 117 oR1HJ2>Z1 7 导纳图及其他工具 118 FD*)@4<o 7.1 简介 118 q\r@x-&g+ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 2K~<_.S 7.2.1 四分之一波长规则 119 li +MnLt 7.2.2 导纳图 120 gd,3}@@SH 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 w{$X
:Z 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {~y,.[Ga 7.5 斜入射导纳图 141 M#CYDEB 7.6 对称周期 141 |Q\O%
cb 7.7 参考文献 142 |l#<vw
wE 8 典型的镀膜实例 143 dU"ca|u 8.1 单层抗反射薄膜 145 <8 ,,pOb 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 p7{%0 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 .m^L,;+2 8.4 W-膜层 148 "rJJ~[Y 8.5 V-膜层 149 c*~/`lG 8.6 V-膜层高折射基底 150 xaw)iC[gI{ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 hUo}n>Aa 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Al0ls 8.9 四层抗反射薄膜 153 p "Cxe 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 S5(VdMd"^ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _s%;GWj 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 a:V2(nY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 k7cM.<s! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 e,cSB!7 8.15十五层宽带抗反射膜 159 GX\6J]x=^2 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |H%[tkW6c 8.17 1/4波长堆栈 162 ;NJx9)7< 8.18 陷波滤波器 163 W-8U~*/ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 y~'h/tjM@= 8.20 褶皱 165 z=[?&X]O9b 8.21 消偏振分光器1 169 )a=58r07 8.22 消偏振分光器2 171 a^xt9o` 8.23 消偏振立体分光器 172 ,Qb(uirl] 8.24 消偏振截止滤光片 173 m~;}8ObQE 8.25 立体偏振分束器1 174 .gP}/dj 8.26 立方偏振分束器2 177 02RZ>m+ 8.27 相位延迟器 178 5 >c,#* 8.28 红外截止器 179 8TH fFL 8.29 21层长波带通滤波器 180 <uKd)l 8.30 49层长波带通滤波器 181
O>tz;RU 8.31 55层短波带通滤波器 182 S@^o=B]] 8.32 47 红外截止器 183 D9
\!9 7 8.33 宽带通滤波器 184 B ?%g@d-; 8.34 诱导透射滤波器 186 "+sl(A3`U 8.35 诱导透射滤波器2 188 \96aHOk< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 NQu.%= 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 y8e'weK 8.35 增益平坦滤波器 193 wOLA8UYW 8.38 啁啾反射镜 1 196 l6~wm1vO 8.39 啁啾反射镜2 198 =&,<Co1 hF 8.40 啁啾反射镜3 199 7mBH#Q) 8.41 带保护层的铝膜层 200 E},^,65 8.42 增加铝反射率膜 201 RqU^Q*/sF 8.43 参考文献 202 bZ-_Q 9 多层膜 204 'L5ih|$> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 VoG:3qN 9.2 内部透过率 204 : pkOZ+t 9.3 内部透射率数据 205 (
C~ u. 9.4 实例 206 u_ *DS- 9.5 实例2 210 Vm]xV_FOd 9.6 圆锥和带宽计算 212 F~Sw-b kSf 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9=5xt;mEs} 10 光学薄膜的颜色 216 {"vTaY@ 10.1 导言 216
*m6h(8(7Z 10.2 色彩 216 W&Xm_T[Q 10.3 主波长和纯度 220 uWjSqyb: 10.4 色相和纯度 221 /3KPK4!m 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (`)ZR%i 10.6 色差 226 {^*K@c 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ;%a 10.8 颜色渲染指数 234 (CR]96n 10.9 色差计算 235 N?j#=b+D 10.10 参考文献 236 Y2d(HD@ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 5i1E
5@~ 11.1 短脉冲 238 Q^ }Ib[ 11.2 群速度 239 g/(3D 11.3 群速度色散 241 ={G0p=~+,p 11.4 啁啾(chirped) 245 ,ui=Wi1 11.5 光学薄膜—相变 245 Q`)iy/1M 11.6 群延迟和延迟色散 246 UNF@%O4_T 11.7 色度色散 246 c_Lcsn 11.8 色散补偿 249 von<I 11.9 空间光线偏移 256 y"T(Unvc 11.10 参考文献 258 h]>7Dl] 12 公差与误差 260 OSY.$$IO 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?8-ho0f0 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K:L_y1!T 12.2.1 误差工具 267 H~<w*[uT 12.2.2 灵敏度工具 271 E@/*eJ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 E2i'lO\P 12.2.2.2 灵敏度分布 275 OVUJiBp 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 nw,XA0M3 12.3 参考文献 276 9,cMb)=0 13 Runsheet 与Simulator 277 qtlcY8! 13.1 原理介绍 277 1)t*l;. 13.2 截止滤光片设计 277 1{-yF :A 14 光学常数提取 289 0Z1';A3 14.1 介绍 289 *n x$r[Mqj 14.2 电介质薄膜 289 %Xe 74C" 14.3 n 和k 的提取工具 295 #5yz~& 14.4 基底的参数提取 302 ESmWK;7b 14.5 金属的参数提取 306 P^^WViVX 14.6 不正确的模型 306 ((AIrE>Rr 14.7 参考文献 311 fJD+GvV$x 15 反演工程 313 i)q8p 15.1 随机性和系统性 313 /2>.*H_2 15.2 常见的系统性问题 314 ksy]t| 15.3 单层膜 314 ?bGk%jjHXM 15.4 多层膜 314 CLgfNrW~ 15.5 含义 319 U(:Di]>{ 15.6 反演工程实例 319 ZtGtJV"H 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 2*5pjd{Kt 15.6.2 反演工程提取折射率 327 `5
Iaz 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Q" G;L 16.1 光学性质的热致偏移 329 S+bpWA 16.2 应力工具 335 G]zyx"0Sqb 16.3 均匀性误差 339 H(tT8Q5i 16.3.1 圆锥工具 339 D9JHx+Xf> 16.3.2 波前问题 341 5pH6] $ 16.4 参考文献 343 *h
M5pw 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 >4&0j'z"
17.1 引言 345 6PT"9vR`) 17.2 操作数 345 in7h^6?I 18 如何在Function中编写脚本 351 h9kwyhd" 18.1 简介 351 I9L7,~s 18.2 什么是脚本? 351 MW|R)gt 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?$.JgG%Z+g 18.4 基础 352 c0Yc~&RF 18.4.1 Classes(类别) 352 |3G;Rh9w, 18.4.2 对象 352 q0{ _w 18.4.3 信息(Messages) 352 &AnWMFo 18.4.4 属性 352 l#TE$d^ym 18.4.5 方法 353 7O,!67+^~ 18.4.6 变量声明 353 NH<~BC]I 18.5 创建对象 354 r"!xI 18.5.1 创建对象函数 355 2H/{OQ$ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Gq-~zmg 18.5.3 丢弃对象 356 .l$U:d 18.5.4 总结 356 m4?a'z" 18.6 脚本中的表格 357 ej,R:}C%` 18.6.1 方法1 357 \V
T.bUs 18.6.2 方法2 357 [ d`m)MW- 18.7 2D Plots in Scripts 358 2
ZyO 18.8 3D Plots in Scripts 359 z) x.6 18.9 注释 360 nd }Z[) 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Ey)ey-'\ 18.11 一个更高级的脚本 362 ~\+Bb8+hpJ 18.12 <esc>键 364 QzxEkTc; 18.13 包含文件 365 JnLF61 18.14 脚本被优化调用 366 |t~*!0>3 18.15 脚本中的对话框 368 x(A8FtG 18.15.1 介绍 368 0YAH[YF 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !oYNJE Y7 18.15.3 输入框函数 370 wz>[CXpi_ 18.15.4 自定义对话框 371 U |Uc|6 18.15.5 对话框编辑器 371 w+$~ds 18.15.6 控制对话框 377 &WZ&Tt/)/ 18.15.7 更高级的对话框 380 .'NTy
R 18.16 Types语句 384 <R?S 18.17 打开文件 385 #gVWLm< 18.18 Bags 387 7^C&2k5G 18.13 进一步研究 388 :eIQF7- 19 vStack 389 PMT}fg 19.1 vStack基本原理 389 $LVzhQlD 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 1A[(R T] 19.3 五棱镜 393 n`V? n 19.4 光束距离 396 @VQ<X4Za 19.5 误差 399 f)mOeD*u| 19.6 二向分色棱镜 399 <H$!OPV 19.7 偏振泄漏 404 &+3RsIlW 19.8 波前误差—相位 405 pj$kSS|m6- 19.9 其它计算参数 405 @w;$M]o1 20 报表生成器 406 gwr?(:? 20.1 入门 406 }WhRJr`a 20.2 指令(Instructions) 406 c
Qe3 20.3 页面布局指令 406 ^SK!?M 20.4 常见的参数图和三维图 407 jVh:Bw 20.5 表格中的常见参数 408 z[@i=avPG 20.6 迭代指令 408 @^/aS;B$> 20.7 报表模版 408 2#ZqGf.'v 20.8 开始设计一个报表模版 409 Z5
7.+z< 21 一个新的project 413 +X`&VO6~ 21.1 创建一个新Job 414 %cBOi_}}~ 21.2 默认设计 415
: 76zRF 21.3 薄膜设计 416 (\o4 c0UzK 21.4 误差的灵敏度计算 420 ]E)\>Jb 21.5 显色指数计算 422 w[ $oH^7 21.6 电场分布 424 w|Ry)[ 后记 426 UyFC\vQ 有兴趣可以扫码加微联系[attachment=130441] : ^U>n{
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