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guji2015	2024-10-16 11:26
如何降低薄膜吸收？做的一个氧化铪单层的材料实验，开了离子源辅助，镀出来发现膜层吸收较大。请教一下各位大佬，为降低吸收，工艺该从那些方面调整？ H<(F$7Q!\ {^WK#$] [attachment=130433] <RY =y?%z

度魔银	2024-10-16 14:58
1.温度是不是300度，离子源充氧过大也会吸收

度魔银	2024-10-16 15:10
离子源清洗，不开源镀，基板加温300℃-350℃，恒温一小时镀膜，材料充氧10sccm,此参数仅供参考

度魔银	2024-10-16 15:12
补充一下，速率控制在2.0A/左右

xiezhizhi	2024-12-23 13:48
增加氧气就可以了 E#$Jg\|e

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