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infotek 2024-10-14 07:50

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 MO;X>D=  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 v}WR+)uFQ  
                                                             &A#~)i5gF  
建模任务                                                         /0\ mx4u  
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光栅元件   >u9Nz0?j  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: y qtKy  
• FMM/RCWA );-~j  
• Diffractive Lens Component V I% 6.6D  
                                                             r1RGTEkD  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       bLt.O(T}  
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正弦光栅-传输相位形态     iQ{G(^sZN  
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z3?o|A}/W  
正弦光栅-传输相位形态                                                         9mZ  
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正弦光栅-衍射效率 ]qhPd_$?D'  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       XrZ*1V  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   =-p$jXVW%  
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 4j)tfhwd8  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         :%IoME   
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闪耀光栅-衍射效率                                                         Ci rZ+o  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                          O#I1V K  
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闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         K #.  
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