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infotek 2024-10-14 07:50

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 _N@ro  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 YiPoYlD*n<  
                                                             EbdfV-E  
建模任务                                                         cra+T+|>Kc  
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光栅元件   FD8N"p  
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V,G|k!!  
通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: B~_d^`  
• FMM/RCWA t8dm)s[r8  
• Diffractive Lens Component PZ*pQ=`  
                                                             a(0*um(  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       z5r$M  
L*~J%7  
                                                
R>(@Z M&  
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正弦光栅-传输相位形态     Zib)P&  
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1SR+m>pL  
`4~H/'%QB  
正弦光栅-传输相位形态                                                         Yx>"bv  
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正弦光栅-衍射效率 ,.qMEMm  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       cwL1/DGDB  
L_K=g_]  
  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   T9879[ZU\  
                                  
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A21N|$[  
                                                             R]i7 $}n  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 'GL*u#h  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         &JtV'@>v  
q| LDo~H  
Z%x\~ )~  
E_bO9nRHV  
闪耀光栅-衍射效率                                                         C|o`k9I#  
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                                                             P:N1#|g  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         vVgg0Y2  
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-^ C=]Medl  
                                                             Cj?L@%"  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         P8?Fm`  
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A l`e/a  
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