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infotek 2024-10-14 07:50

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 gctaarB&  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 r83~o/T@  
                                                             5\S7Va;W  
建模任务                                                         /RM-+D:Y  
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光栅元件   bw\=F_>L  
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qJA.+q.e$e  
通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 8:% R |b  
• FMM/RCWA DKl7|zG4  
• Diffractive Lens Component 0I((UA/7Zs  
                                                             BcLt95;.\  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       5B 7*Z  
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CiI: uU  
\2pFFVT  
正弦光栅-传输相位形态     |esjhf}H>v  
[QbXj0en$  
                                                
/ yi:Q0  
?vFh)U  
正弦光栅-传输相位形态                                                         l;A_Aii(  
<&:&qn gg  
ts<dUO  
9/Dt:R3QU  
正弦光栅-衍射效率 ap^=CEf   
l7,qWSsn K  
                                                        
%wW5)Y I  
0@lC5-=  
正弦光栅-效率vs. 周期                                                       7[BL 1HI*  
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Ts .Z l{B  
Ok&>[qu  
正弦光栅—选定周期的相位形态   hxVM]e[  
                                  
V1)P=?%(US  
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                                                             jHH  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) "GI&S%F  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         jHlOP,kc  
G*i#\   
j9ta0~x1*6  
3D{4vMm X  
闪耀光栅-衍射效率                                                         Ln2C#Uf  
R.IUBw5;/  
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                                                             9C}aX}`  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         $H-D9+8 7  
=8p+-8M[d  
q'F_ j"  
                                                             F[D0x26 ^  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         5A$az03y$\  
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