抗反射蛾眼结构的严格分析与设计

摘要

对于许多光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的纳米或微米结构，启发来源于自然界（蛾眼）。这些具有亚波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和角度依赖性的独特性质。在本文中，介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。

设计任务

如何优化抗反射蛾眼结构的参数？最小化空气-PMMA界面的反射？

扫描参数空间以获取初始解 ^FP} qW~;9
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初始解#1的参数优化 d"#gO,H0
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最终设计#1的性能分析 Ho3dsh)
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初始解#2的参数优化 7#QLtU
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最终设计#1的性能分析

VirtualLab Fusion一瞥 25UYOK}!
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VirtualLab Fusion中的工作流程

 构建光栅结构
─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
 分析光栅衍射效率
─ Grating Order Analyzer
 使用参数运算寻找初始解
─ Usage of the Parameter Run Document
 使用参数优化确定最终解

VirtualLab Fusion技术 7c-Gm R2
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