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菲索光学测试干涉仪
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infotek
2024-09-19 07:57
菲索光学测试干涉仪
摘 要
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斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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倾斜平面下的观测条纹
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圆柱面下的观测条纹
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球面下的观测条纹
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VirtualLab Fusion 视窗
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VirtualLab Fusion 流程
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VirtualLab Fusion 技术
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