yzhuang:控制软件PID参数调整一下,一般是可以恒压的,当然,如果放气量很不稳定也可能导致控制失败 L3g9b53\ (2024-09-20 09:09) +qZc} 7rJF
度魔银:1.手动融料重复性不好 :82?'aR 2镀膜机真空度是否有漏气现象 hl*MUD, 3.充氧控制改固定参数 xP42xv9U 4.真空计污染导致真空不准确 (2024-09-20 09:54) Ls lM$
ouyuu:真空计和冲氧口的位置和距离很重要,如果压力周期性波动的话,就调整真空计位置。 k#{lt-a/ 但是现在看来好像是冲氧的压控问题。 ZE5-i@1 真空计一般是用电压信号,要保证压控仪和真空计用的电压定义是一样的。 |6\FI? 另外要排除信号干扰,如果真空信号受干扰了,那么肯定无法稳定的进行控制。 qg) Af 最后一个应 .. (2024-10-22 22:50) <P?3GT/
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