yzhuang:控制软件PID参数调整一下,一般是可以恒压的,当然,如果放气量很不稳定也可能导致控制失败 q+=@kXs>+ (2024-09-20 09:09) 5 s2}nIe
度魔银:1.手动融料重复性不好 8xz7S 2镀膜机真空度是否有漏气现象 s: .XF|e{ 3.充氧控制改固定参数 _Pm}]Y:_ 4.真空计污染导致真空不准确 (2024-09-20 09:54) z-E4-\a
ouyuu:真空计和冲氧口的位置和距离很重要,如果压力周期性波动的话,就调整真空计位置。 ?8/h3xV; 但是现在看来好像是冲氧的压控问题。 ';F][x 5j 真空计一般是用电压信号,要保证压控仪和真空计用的电压定义是一样的。 z w9r0bG 另外要排除信号干扰,如果真空信号受干扰了,那么肯定无法稳定的进行控制。 I-"{m/PEdg 最后一个应 .. (2024-10-22 22:50) B:.rp.1
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