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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 @gD) pH  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 iYStl  
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任务 L/"};VI  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 *8Z2zmZtR^  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 R ZY=c  
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4k;FZo]S  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 y&zFS4"x  
连接建模技术:衍射光束分束器 5l6/5  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 fHup&|.  
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将传输函数转化为结构 r)iEtT!p*  
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衍射光束分束器表面 xnY?<?J"!  
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Z+El(f x  
衍射光束求解器 - TEA & FMM :\OSHs<M  
E=s,-  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 Sa= tiOv  
AByl1)r|  
V.GM$  
设计与评估结果 TpKAdrY  
• 相位函数设计 =?RI`}vw_H  
• 结构设计 "I.6/9  
• TEA 评估 Cr5ND\  
• FMM 评估 7rjl-FUA~  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) y(COB6r  
+U o NJ   
仅相位传输设计 ]01`r/->\  
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结构设计 nGF +a[Z  
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QQl.5'PP  
使用TEA进行性能评估 46:<[0Psl/  
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使用FMM进行性能评估 #J[g r_  
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#1<m\z7l  
进一步的分析(优化后,容差分析) 7V"?o  
gu k,GF9p]  
S#/BWNz|  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 mfr aw2H  
i KSRr#/  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Bz]tKJ  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 |bnd92fvks  
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