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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 nLwiCfe OFGsjYLw L>!8YUz7p$ 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 { F'Kk\f%: zOHypazOTq 任务 o7TN,([W • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 WEa2E?* • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Z2Zq'3* -UZ@G~K \eGKkSy 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 `:wvh( 连接建模技术:衍射光束分束器 R7s|`\ ESg+n(R B-*E:O0y 通过配置助手和IFTA进行相位设计 ZkP{[^6d\ !mRx$
%ul N7%TYs 将传输函数转化为结构 R8-^RvG uNHdpni .c^
ggy% 衍射光束分束器表面 =39 ?:VoD 1AHx"e,;L ?(
=p<TUw 衍射光束求解器 - TEA & FMM _Cy:]2o LhzMAW<L4 PF`rWw 光栅级数 & 可编程光栅分析器 :Pq.,s [pg}S#A a=xT(G0Re 设计与评估结果: |2`"1gt • 相位函数设计 -fgC"2H • 结构设计 >Z Ke • TEA 评估 ?/M_~e.P • FMM 评估 h(B,d,q" • 高度缩放检查(用于优化/容限) a$9A(Pte ?$z.K>S5 仅相位传输设计 Nt:8ogk/ /%n`V K"<*a"1I 结构设计 4'Xgk8) ogeL[7 V&Mf:@y 使用TEA进行性能评估 @!Hr|k| K?u(1 TNY4z(r 使用FMM进行性能评估 6+dn*_[Z6 8I+d)(: =l942p 进一步的分析(优化后,容差分析) >0Ev#cX4 f+Dn9t IeF keE 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 *~z#.63oZ #\4 b:dv "DSPPE&[c 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 !q4x~G0d Bmo$5$ LH]CUfUrUE 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 X1A<$Am1
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