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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 _dmL}t- -0~IY N
<pbO#e 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ?ei%RWo I5pp "*u 任务 ]O@"\_} • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 \5[-Ml • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 <NQyP{p ujx-jIhT_ cCng5Nq,c 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 lYQtv=q 连接建模技术:衍射光束分束器 +J40wFI:y :Ee ?K r>3^kL5UI 通过配置助手和IFTA进行相位设计 {,V$* tyXl}$)y U1^l+G^,~ 将传输函数转化为结构 <:cpz* G4 G\mKCaI8 S:s
3EM 衍射光束分束器表面 y\_wW E YmCbxYa7 -931'W[s, 衍射光束求解器 - TEA & FMM !"(u_dFw IgA.%}II} j#o3 光栅级数 & 可编程光栅分析器 T:#S86m 0o;~~\fq. 5&|5 a} 8 设计与评估结果: _sm;HH7'* • 相位函数设计 pU DO7Q] • 结构设计 z.59]\;U> • TEA 评估 DrFu r(=T • FMM 评估 <%r h/r • 高度缩放检查(用于优化/容限) p)z-W( zW)gC9_|m- 仅相位传输设计 w@-b Z%;)@0~f 9i[4"&K 结构设计 uri*lC u
!.DnKu 7%tR&F -u 使用TEA进行性能评估 0&B:\ _y-B";Vmm
~%KM3Vap 使用FMM进行性能评估 OgTSx o]p#%B?mZ skK*OO2- 进一步的分析(优化后,容差分析) /THNP 8. v<+4BjV!J} :r^klJ(m 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 a G@nErdW *k!(ti[ - &NQ\W 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Wv NI=> O*ImLR)i+s Y@ObwKcG 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 m6eFXP1U
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