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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 @gD)pH Q v9q~l 3F2IL)Hn 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 iYStl zl@^[km{ 任务 L/"};VI • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 *8Z2zmZtR^ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 R ZY=c fY!?rZ)$ 4k;FZo]S 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 y&zFS4"x 连接建模技术:衍射光束分束器 5l6/5 pbzFzLal `I5^zi8 通过配置助手和IFTA进行相位设计 fHup&|. zeHF-_{ !%G]~ 将传输函数转化为结构 r)iEtT!p* 6{y7e L3! Cs6`lX > 衍射光束分束器表面 xnY?<?J"!
OUv<a`0 Z+El(f x 衍射光束求解器 - TEA & FMM :\OSHs<M E=s,- NKO"'
光栅级数 & 可编程光栅分析器 Sa= tiOv AByl1)r| V.GM$ 设计与评估结果: TpKAdrY • 相位函数设计 =?RI`}vw_H • 结构设计 "I.6/9 • TEA 评估 Cr5ND\ • FMM 评估 7rjl-FUA~ • 高度缩放检查(用于优化/容限) y(COB6r +U
oNJ 仅相位传输设计 ]01`r/->\ tIuM9D{P Y
Zj-%5 结构设计 nGF
+a[Z P@7>R7gS QQl.5'PP 使用TEA进行性能评估 46:<[0Psl/ \O|SPhaIf t dm7MPM 使用FMM进行性能评估 #J[g
r_ jx}&%p X #1<m\z 7l 进一步的分析(优化后,容差分析) 7V"?o gu
k,GF9p] S#/BWNz| 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 mfraw2H i KSRr#/ sVFO&|L 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Bz]tKJ .(@=L1C<}J 4S_f2P2J 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 |bnd92fvks
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