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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 BwpqNQN  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 4k1xy##  
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任务 o:'MpKm  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Of#u  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 4F:\-O  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 #:_Kws>+  
连接建模技术:衍射光束分束器 EME|k{W  
  
u&vf+6=9Dd  
YkSl^j[DHs  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 t{9GVLZ  
#zs~," dRv  
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将传输函数转化为结构 <xm7qmqI  
PFjL1=7I  
?l{nk5,?-Y  
衍射光束分束器表面 rs[T=CQ  
M|h3Wt~7  
ADzhNf S  
衍射光束求解器 - TEA & FMM 6d}lw6L  
^^$s%{ep"  
cuI TY^6  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 lUZ+YD4  
=UQ3HQD  
C< tl/NC  
设计与评估结果 + &Eqk  
• 相位函数设计 j,eo2HaL  
• 结构设计 2/^3WY1U  
• TEA 评估 \M^bD4';>  
• FMM 评估 M%m4i9~!?  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) g3y~bf  
TD0 B%  
仅相位传输设计 =dKtV.L  
C1)!f j=  
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结构设计 6bC3O4Rw  
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-Q*gW2KmV  
使用TEA进行性能评估 b4kgFA  
XRi8Gpg  
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使用FMM进行性能评估 g) jYFfGfH  
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Y$_B1_  
进一步的分析(优化后,容差分析) )Aqtew+A&  
WOap+  
/U9"wvg  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ON(kt3.h  
wmLs/:~  
Dp9+HA9t  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 U Cjld  
Q![@c   
~]2K ^bh8&  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 sXPe/fWo  
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