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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 &\=Tm~  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 I_m3|VCa|t  
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任务 uPq@6,+  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 dS8ydG2  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 d#OAM;0}5  
0xx4rp H  
]$u C~b   
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 hFo29oN  
连接建模技术:衍射光束分束器 *c\XQy  
  
OxPl0-]t  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 UZdGV?o ?  
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iZLy#5(St  
将传输函数转化为结构 t`="2$NO  
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衍射光束分束器表面 {P_i5V?  
1c{m rsB  
*MS$C$HOq  
衍射光束求解器 - TEA & FMM h\p!J-V  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 -wrVEH8  
P z~jW):E  
sE'c$H  
设计与评估结果 PZQAlO,  
• 相位函数设计 ZY8w1:'  
• 结构设计 4 ob?M:S  
• TEA 评估 `<|tC#<z  
• FMM 评估 X4 ] miUmh  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) SswcO9JCX3  
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仅相位传输设计 }LCm_av  
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结构设计 q01 L{~>bz  
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使用TEA进行性能评估 ">.tPn  
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使用FMM进行性能评估 *1Bq>h:  
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进一步的分析(优化后,容差分析) L /:^;j`c  
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CV\^gTPmx  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 h$kz3r;b,"  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 BK%. wi  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 7bk77`qWr  
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