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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 _x.2&S89 {bXN[=j Jq0sZ0j 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 (u 7Lh>6% +^BThrB 任务 8w:ay,= • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 9Kd=GL_ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 @(#vg\UH 0cmd +` -- %XkO 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 5ngs1ZF@ 连接建模技术:衍射光束分束器 A-r;5?S !}6'vq #2^0z`-\_z 通过配置助手和IFTA进行相位设计 p7YYAh@x\ ('7?"npd r-T1^u 将传输函数转化为结构 4 ?BQ&d $s_k/dM~& /H<{p$Wd 衍射光束分束器表面 f6I)c$]Q iM8Cw/DS {qw'gJmX 衍射光束求解器 - TEA & FMM G
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RJ?)O#} 光栅级数 & 可编程光栅分析器 \IQG%L{ 7u"Q1n(h/ 7FH-l(W 设计与评估结果: Kz;Ar&^`N • 相位函数设计 W<q<}RSn • 结构设计 sO) H#G • TEA 评估 uYeb RCdR • FMM 评估 "7sv@I_j • 高度缩放检查(用于优化/容限) UwW@}cy,L w
yxPvI` 仅相位传输设计 Pjh;;k|V c7+6[y DVE xtGit} 结构设计 Nd( I RsH( |4DN2P
B6F!" 使用TEA进行性能评估 l'l&Zqd Ho(MO!( NzZ(Nz5 使用FMM进行性能评估 UG.:D';3, % (h6m${j fmYx 进一步的分析(优化后,容差分析) MZ%J
]Nd OX.5olb t5 >ma:^j 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 2+u+9 rW 4(,.<# ;r2DQg"#@ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 P_b5`e0O #TUm&2 +V vgc~%k62c 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 Q=!QCDO(
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