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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 cdH Ug# Q302!N :2n(WXFFI 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ;~Em,M"o Rlq6I?S+ 任务 cuw3}4m% • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 f%1Dn }6 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 N%2UL&w#B N$jI&SI?}
jE&Onzc 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ,Cj8{s&; 连接建模技术:衍射光束分束器 bnWKfz5 4cO||OsMU &M,"%w! 通过配置助手和IFTA进行相位设计 !Qg%d&q.Sx E9Q?@' h ? }k~>. \ 将传输函数转化为结构 I)-u)P?2x ^z[-pTY UJ0Dy` f 衍射光束分束器表面 vd5"phn
3 7{vnhl(Z mQ9%[U, 衍射光束求解器 - TEA & FMM z"eh.&T `B`/8Cvg MRB>(} 光栅级数 & 可编程光栅分析器 '9,14e6 ,H3C\.%w\ -9S.G 设计与评估结果: n9zS'VU • 相位函数设计 %;.|?gR • 结构设计 *5i~N} • TEA 评估 V.IgEE] • FMM 评估 ))n7.pB9/ • 高度缩放检查(用于优化/容限) Lp \%-s#5s S|A?z)I 仅相位传输设计 ]`D(/l' n7vLw7 F_SkS?dB 结构设计 cLQvzd:h= MwxfTH"wi ;+-$=l3[a 使用TEA进行性能评估 }*n(RnCn 6TE RQ tUmI#.v 使用FMM进行性能评估 HrA6wn\O 9?*BN\E5S #lyvb.; 进一步的分析(优化后,容差分析) 6e@
O88= Z`xz |:D+ F<?e79},` 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 N(?yOB4gt ?ng?>! q{UP_6OF 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 :):=KowI `4cs.ab {uO8VL5+Qx 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 F9e$2J)C
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