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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 J$PE7*NU  
L iJ;A*  
   ?x]T &S{  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Y 3[<  
+D1;_DU  
任务 MC3XGnT#5  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Tk/K7h^  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Arz> P@EQ  
C,-V>bx g  
lp?geav  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 NF0} eom  
连接建模技术:衍射光束分束器 *D]/V U  
  
z@VY s  
k+-u 4W   
通过配置助手和IFTA进行相位设计 XLFJ?$)Tro  
SR~~rD|V  
wmY6&^?uS  
将传输函数转化为结构 \u,hS*v0  
H5/%"1Q  
(XT^<#Ga  
衍射光束分束器表面 TA}gCXE e  
)T?w,"kI  
&e[/F@\%  
衍射光束求解器 - TEA & FMM z -(dT  
~z>2`^Z"  
y{K~g<VL  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 !e.@Xk.P6  
50rq} -  
)R{4"&&2  
设计与评估结果 mRfF)  
• 相位函数设计 a+zE`uY  
• 结构设计 u&bo32fc  
• TEA 评估 Qo)>i0  
• FMM 评估 x1+8f2[  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) w{K_+}fAC  
} RG  
仅相位传输设计 v"_hWJ)  
5`6@CRef  
l[Ng8[R  
结构设计 8Z/P<u  
&OGY?[n  
Uh?SDay  
使用TEA进行性能评估 !K(0)~u  
;% !'K~  
49_b)K.tB  
使用FMM进行性能评估 yZ6560(q  
im%'S6_X4  
t1g)Y|@d  
进一步的分析(优化后,容差分析) +Medu?K `  
W?F+QmD  
292e0cE  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 #=7~.Y  
$0D]d.w=  
TS$ 2K  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 '(&.[Pk:"  
h3>/..l  
l5D8DvJCj  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 OPBnU@=R  
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