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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 OgMI  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 +TX/g~  
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任务 n t HT  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 K2|7%  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 %zljH"F  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 m5gI~1(9  
连接建模技术:衍射光束分束器 <Cq"| A  
  
CA^.?&CH^O  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 o;;,iHu*  
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将传输函数转化为结构 n-OWwev)  
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衍射光束分束器表面 ^x3EotQ\  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM p#<nK+6.8  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 ZR mPP  
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设计与评估结果 LDX y}hm)  
• 相位函数设计 ,;3:pr  
• 结构设计 g RU-g  
• TEA 评估 ,\>g  
• FMM 评估 BHclUwj  
• 高度缩放检查(用于优化/容限)  2}!R T  
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仅相位传输设计 3N3*`?5c<  
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结构设计 k(9s+0qe  
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使用TEA进行性能评估 `D"1 gD}{A  
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使用FMM进行性能评估 0#]!#1utg  
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进一步的分析(优化后,容差分析) ~D_ rZ&  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 9JXhHAxD  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 vhX-Qkt}  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 W n6,U=$3  
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