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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 53 05N!  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 M[_I16s  
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任务 n5>N9lc  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 xR`2+t&t  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 0|;=mYa4M  
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mDf WR  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 kq0m^`  
连接建模技术:衍射光束分束器 :zRboqe(cc  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 _I4sy=tYXK  
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将传输函数转化为结构 zUqDX{I8  
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衍射光束分束器表面 <-}\V!@E!  
Zh^w)}(W  
bp,CvQ'}a  
衍射光束求解器 - TEA & FMM _s8_i6 Y  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 =YIQ _,{u  
`0:@`)&g1  
(Lnh> '2  
设计与评估结果 j83 V$ Le  
• 相位函数设计 idy:Jei}  
• 结构设计 GNOC5 E$I  
• TEA 评估 N<99K!   
• FMM 评估 o:<3n,T  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) mM.&c5U  
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仅相位传输设计 H #_Z6J  
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结构设计 sSUd;BYf  
JB<4 m4-  
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使用TEA进行性能评估 6! 'Xo:p  
W6Pg:Il7  
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使用FMM进行性能评估 9OUhV [D  
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NO ^(D+9  
进一步的分析(优化后,容差分析) fF%r$`2  
qv\yQ&pj  
p<4':s;*  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 2uVm?nm  
UB}mI0/w  
~\P.gSiz  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2uIAnbW]M  
l<0V0R(  
]mSVjF3l  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 {y'k wU  
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