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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 BwpqNQN 4e7-0}0 ;xj?z\=Pg 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 4k1xy## '<)n8{3Q5w 任务 o:'MpKm • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Of#u • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 4F:\-O +3BN} `/+>a8 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 #:_Kws>+ 连接建模技术:衍射光束分束器 EME|k{W u&vf+6=9Dd YkSl^j[DHs 通过配置助手和IFTA进行相位设计 t{9GVLZ #zs~," dRv ;igIZ$& 将传输函数转化为结构 <xm7qmqI PFjL1=7I ?l{nk5,?-Y 衍射光束分束器表面 rs[T=C Q M|h3Wt~7 ADzhNfS 衍射光束求解器 - TEA & FMM 6d}lw6L ^^$s%{ep" cuITY^6 光栅级数 & 可编程光栅分析器 lUZ+YD4 =UQ3HQD C<tl/NC 设计与评估结果: + &Eqk • 相位函数设计 j,eo2HaL • 结构设计 2/^3WY1U • TEA 评估 \M^bD4';> • FMM 评估 M%m4i9~!? • 高度缩放检查(用于优化/容限) g3y~bf TD0
B% 仅相位传输设计 =dKtV.L C1)!f j= Bwxd&;E 结构设计 6bC3O4Rw SqpaFWr -Q*gW2KmV 使用TEA进行性能评估
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XRi8Gpg ,f>k%_U} 使用FMM进行性能评估 g) jYFfGfH >kVz49j Y$_B1_ 进一步的分析(优化后,容差分析) )Aqtew+A& WOap+ /U9"wvg 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ON(kt3.h wmLs/:~ Dp9+HA9t 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 UCj ld Q![@c ~]2K^bh8& 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 sXPe/fWo
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