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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 P3.  
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   +`bnQn]x+  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 0SU v5c  
JH| D  
任务 zMRa <G7  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 -:95ypi  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 X::@2{-@y  
h/oun2C  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ~j>yQ%[v  
连接建模技术:衍射光束分束器  V~VUl)  
  
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gg.]\#3g  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 0$ON`Vsu|  
Mq#m;v$E  
mKjTJzS  
将传输函数转化为结构 Ell14Iki  
FShUw+y  
b}fC' h  
衍射光束分束器表面 J6[}o4Z  
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7m  ou  
衍射光束求解器 - TEA & FMM $@@ii+W}\  
Fm=jgt3wv8  
`-%dHvB^R  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 @D=B5f@(o  
CcW3o"=4  
{ TI,|'>5[  
设计与评估结果 *+zFsu4l  
• 相位函数设计 )sW!s3>S>  
• 结构设计 2z*}fkJ  
• TEA 评估 g%tUkM  
• FMM 评估 epKr6 xq  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) unc6 V%  
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仅相位传输设计 w&f>VB~,1  
2*^=)5Gj-h  
w_o+;B|I  
结构设计 @54$IhhT~  
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M*bsA/Z  
使用TEA进行性能评估 1) K<x  
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使用FMM进行性能评估 \pkK >R  
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进一步的分析(优化后,容差分析) C$ K?4$  
JBA{i45x  
@{#'y4\>  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶  H{yBD xw  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 zRmVV}b  
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n:B){'S  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 )X," NJG  
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