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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 P3 . K@<*m!%<2 +`bnQn]x+ 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 0SU v 5c JH| D 任务 zMRa<G7 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 -:95ypi • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 X::@2{-@y h/oun2C =;+gge!?bB 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ~j>yQ%[v 连接建模技术:衍射光束分束器 V~VUl) _CPj]m{ gg.]\#3g 通过配置助手和IFTA进行相位设计 0$ON`Vsu| Mq#m;v$E mKjTJzS 将传输函数转化为结构 Ell14Iki FShUw+y b}fC'
h 衍射光束分束器表面 J6[}o4Z "b402"& 7m
ou 衍射光束求解器 - TEA & FMM $@@ii+W}\ Fm=jgt3wv8 `-%dHvB^R 光栅级数 & 可编程光栅分析器 @D=B5f@(o CcW3o"=4 { TI,|'>5[ 设计与评估结果: *+zFsu4l • 相位函数设计 )sW!s3>S> • 结构设计 2z*}fkJ • TEA 评估 g%tUk M • FMM 评估 epKr6
xq • 高度缩放检查(用于优化/容限) unc6 V% tvf5b8(Y- 仅相位传输设计 w&f>VB~,1 2*^=)5Gj-h w_o+;B|I 结构设计 @54$IhhT~ )5n0P
Zi M*bsA/Z 使用TEA进行性能评估 1) K<x %E/#h8oN{ ,t QNL\t 使用FMM进行性能评估 \pkK
>R y\j[\UZKO nTc#I~\ 进一步的分析(优化后,容差分析) C$K?4$ JBA{i45x @{#'y4\> 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 H{yBDxw 9(qoME}>= ZQym8iV/ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 zRmVV}b x0>N{ADXQ n:B){'S 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 )X," NJG
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