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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 + X0db  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 :vo#(  
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任务 gl>%ADOB@  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 qx2M"uFJ  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 L/*K4xQ  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览  Lxqv  
连接建模技术:衍射光束分束器 %z "${ zw  
  
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O;H|nW}  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 n1r'Y;G  
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将传输函数转化为结构 u.9syr  
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衍射光束分束器表面 ;JV(!8[  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM _]6n]koD,  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 #2*6esP  
H%G|8,4  
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设计与评估结果 Xn # v!  
• 相位函数设计 >&D}^TMYY  
• 结构设计 =niT]xf  
• TEA 评估 gvCQ![  
• FMM 评估 ~Hb2-V  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) /M5R<rl  
o3,}X@p  
仅相位传输设计 =)IV^6~b  
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R}T\<6Y  
结构设计 tr@)zM GB  
2P2/]-6s#r  
6`V~cVu  
使用TEA进行性能评估 9*;OHoDh  
(Q[(]dfc  
vNSeNS@jxC  
使用FMM进行性能评估 4o ,G[Cf_  
x't@Mc  
$b`~KMO  
进一步的分析(优化后,容差分析) qLa6c2o,  
Bhg,P.7  
'@G=xYR  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 (Q F-=o  
<Wa7$hF  
-W.bOr  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 h)pYV>!d  
DW >|'w%  
L7PM am  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 I~) A!vp  
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