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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 _x.2&S89  
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   Jq0sZ0j  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 (u 7Lh>6%  
+^BTh rB  
任务 8w:ay,=  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 9Kd=GL_  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 @(#vg\UH  
0cmd +`  
-- %XkO  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 5ngs1ZF@  
连接建模技术:衍射光束分束器 A-r;5?S  
  
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#2^0z`-\_z  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 p7YYAh@x\  
('7?"npd  
r-T1^u  
将传输函数转化为结构 4 ?BQ&d  
$s _k/dM~&  
/H<{p$Wd  
衍射光束分束器表面 f 6I)c$]Q  
iM8Cw/DS  
{qw'gJmX  
衍射光束求解器 - TEA & FMM G `|7NL   
Vs"b  
RJ?)O#}  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 \IQG%L{  
7u"Q1n(h/  
7FH-l(W  
设计与评估结果: Kz;Ar&^`N  
• 相位函数设计 W<q<}RSn  
• 结构设计 sO ) H#G  
• TEA 评估 uYebRCdR  
• FMM 评估 "7sv@I_j  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) UwW@}cy,L  
w yxPvI`   
仅相位传输设计 Pjh;;k|V  
c7+6[y DVE  
xtGit}  
结构设计 Nd( I RsH(  
|4DN2P  
B6F!"  
使用TEA进行性能评估 l'l&Zqd  
Ho(M O!(  
NzZ(N z5  
使用FMM进行性能评估 UG.:D';3,  
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fm Yx  
进一步的分析(优化后,容差分析) MZ%J ]Nd  
OX.5o lb  
t5 >ma:^j  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 2+ u+9rW  
4(, .<#  
;r2DQg"#@  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 P_b5`e0O  
#TUm&2 +V  
vgc~%k62c  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 Q=!QCDO(  
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