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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 cdH Ug#  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ;~Em,M"o  
Rlq6I?S+  
任务 cuw3}4m%  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 f%1Dn}6  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 N%2UL&w#B  
N$j I&SI?}  
jE&Onzc  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ,Cj8{s&;  
连接建模技术:衍射光束分束器 bnWKfz5  
  
4cO||OsMU  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 !Qg%d&q.Sx  
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将传输函数转化为结构 I)-u)P?2x  
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UJ0Dy ` f  
衍射光束分束器表面 vd5"phn 3  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM z"eh.&T  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 '9,14e6   
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-9S.G  
设计与评估结果 n9zS'VU  
• 相位函数设计 %;.|?gR  
• 结构设计 *5i~N}  
• TEA 评估 V.IgEE]  
• FMM 评估 ))n7.pB9/  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) Lp \%-s#5s  
S|A?z)I  
仅相位传输设计 ]`D(/l'  
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F_SkS?dB  
结构设计 cLQvzd:h=  
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使用TEA进行性能评估 }*n(RnCn  
6TE R Q  
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使用FMM进行性能评估 HrA6wn\O  
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进一步的分析(优化后,容差分析) 6e@ O88=  
Z`xz|:D+  
F<?e79},`  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 N(?yOB4gt  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 :):=KowI  
`4cs.ab  
{uO8VL5+Qx  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 F9e$2J)C  
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