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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 Yi:@>A<# eEl}.W} ^M_0M 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 )\ow/XPE cdY|z]B 任务 js^+ {~ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 C+tB$yahO • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 XA PqRJ*Z }M*yE]LL;Z
<m7m 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 tX)l_?jVH 连接建模技术:衍射光束分束器 V'alzw7# h0ml#A`h ~?E.U,R 通过配置助手和IFTA进行相位设计 &![3{G"+>l *ETSx{)8 oU"!"t 将传输函数转化为结构 :k&R]bc9 ~$w9L998+ 0Ez(;4]3 衍射光束分束器表面 A~0eJaq+ -,YoVB!T 8U86-'Pq 衍射光束求解器 - TEA & FMM P-]u&m/6 ;[)O{%s ^W#161& 光栅级数 & 可编程光栅分析器 =2J^
'7 ykMdH: ;8Qx~:c 设计与评估结果:
}%)]b*3 • 相位函数设计 mZ_643| • 结构设计 ,9~=yC • TEA 评估 <b>g^ `}?D • FMM 评估 HAKB@h) • 高度缩放检查(用于优化/容限) ;+;%s D C"7-lz 仅相位传输设计 1RHFWK5Si 6> DmcG:. 1buVV]*~ 结构设计 /Pv
dP#! ,uoK'_ lD9QS ; 使用TEA进行性能评估 to,\sc Ie"eqO! )JA9bR
< 使用FMM进行性能评估 m:-=K H3#rFO"C* "rVf{ 进一步的分析(优化后,容差分析) 2e?a"Vss $ VTk0J-W 9 `+RmX;m 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .(g"(fgF >S}^0vNZX (/$a*$ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 IeN~E'~
ihp>cl? 7MZ(tOR 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 bDtb"V8e
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