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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 &\=Tm~ #w3J+U 6r <Umr2Vw- 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 I_m3|VCa|t ;f~fGsH}e' 任务 uPq@6,+ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 dS8ydG2 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 d#OAM;0}5 0xx4rpH ]$uC~b 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 hFo29oN 连接建模技术:衍射光束分束器 *c\XQy OxPl0-]t hF{gN3v5 通过配置助手和IFTA进行相位设计 UZdGV?o ? %AN,cE* iZLy#5(St 将传输函数转化为结构 t`="2$NO ;\v&4+3S #UE}JR3g 衍射光束分束器表面 {P_i5V? 1c{m
rsB *MS$C$HOq 衍射光束求解器 - TEA & FMM h\p!J-V et/:vLl13 {i+
o'Lw 光栅级数 & 可编程光栅分析器 -wrVEH8 P z~jW):E sE'c$H 设计与评估结果: PZQAlO, • 相位函数设计 ZY8w1:'
• 结构设计 4 ob?M:S • TEA 评估 `<|tC#<z • FMM 评估 X4]miUmh • 高度缩放检查(用于优化/容限) SswcO9JCX3 \i/HHP[% 仅相位传输设计 }LCm_av `kJ)E;v;3 "9r$*\wOf 结构设计 q01 L{~>bz {ZrlbDQX JRi:MWR<r 使用TEA进行性能评估 " >.tPn Ovc9x\N ?$K-f:?c 使用FMM进行性能评估 *1Bq>h: {?`7D:]`^ MOK}:^bSu 进一步的分析(优化后,容差分析) L /:^;j`c ]:#=[CH CV\^gTPmx 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 h$kz3r;b," *djLf.I@ Nd]F 33|X 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 BK%.wi J/'Fj? 7tXy3-~biz 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 7bk77`qWr
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