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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 5305N! toJ&$HrE w/6@R 4)p 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 M[_I16s }h6z&:qA[? 任务 n5>N9lc • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 xR`2+t&t • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 0|;=mYa4M uZI a-b mDfWR 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 kq0m^` 连接建模技术:衍射光束分束器 :zRboqe(cc b.;}Hq> qG]PUc>j 通过配置助手和IFTA进行相位设计 _I4sy=tYXK
#sZes P,_E 4y 将传输函数转化为结构 zUqDX{I8 L9oZ7 o $8r:&Iw 衍射光束分束器表面 <-}\V!@E! Zh^w)}(W bp,CvQ'}a 衍射光束求解器 - TEA & FMM _s8_i6 Y nVzo=+Yp pASVnXJZ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 =YIQ
_,{u `0:@`)&g1 (Ln h> '2 设计与评估结果: j83
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Le • 相位函数设计 idy:Jei} • 结构设计 GNOC5 E$I • TEA 评估 N<99K! • FMM 评估 o:<3n,T • 高度缩放检查(用于优化/容限) mM.&c5U VIzZmd 仅相位传输设计 H
#_Z6J hgGcUpJy? %>TdTt 结构设计 sSUd;BYf JB<4m4- <H 6Uo#ao 使用TEA进行性能评估 6! 'Xo:p W6Pg:Il7 kZQ;\QL1} 使用FMM进行性能评估 9OUhV[D h#
8b # NO^(D+9 进一步的分析(优化后,容差分析) fF%r$`2 qv\yQ&pj p<4':s;* 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 2uVm?nm UB}mI0/w ~\P.gSiz 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2uIAnbW]M l<0V0R( ]mSVjF3l 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 {y'kwU
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