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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 +
X0db v~`'!N8 W>cHZ. _ 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 :vo#( hreG5g9{ 任务 gl>%ADOB@ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 qx2M"uFJ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 L/*K4xQ YX{c06BHs cj@ar^=`K 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 Lxqv 连接建模技术:衍射光束分束器 %z"${ zw 7AuzGA0y O;H|nW} 通过配置助手和IFTA进行相位设计 n1r'Y;G nz_1Fu>g| kpLx?zW--q 将传输函数转化为结构 u.9syr IEeh9:Km .F^372hH3 衍射光束分束器表面 ;JV(!8[ rGUu K0L& . g8db d 衍射光束求解器 - TEA & FMM _]6n]koD, :V
ZXI#([ ~Sc{\ZJl 光栅级数 & 可编程光栅分析器 #2*6esP H%G|8,4 kH" >(f 设计与评估结果: Xn
#v! • 相位函数设计 >&D}^TMYY • 结构设计 =niT]xf • TEA 评估 gvCQ![ • FMM 评估 ~Hb2-V • 高度缩放检查(用于优化/容限) /M5R<rl o3,}X@p 仅相位传输设计 =)IV^6~b Cu`ty] -' R}T\<6Y 结构设计 tr@)zM
GB 2P2/]-6s#r 6`V~cVu 使用TEA进行性能评估 9*;OHoD h (Q[(] dfc vNSeNS@jxC 使用FMM进行性能评估 4o,G[Cf_ x't@Mc $b`~K MO 进一步的分析(优化后,容差分析) qLa6c2o, Bhg,P.7 '@G=xYR 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 (Q F-=o <Wa7$ h F -W.bOr 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 h)pYV>!d DW>|'w % L7PMam 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 I~)A!vp
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