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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 w(L>#? 6b8;}],| Mh(]3\ 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 @4%L36k =k3!RW' 任务 hA 3HVP_ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 |o'Q62`%} • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 -K(fh#<6KO 5`~mmAUk;` lcON+j 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 9 7%0;a8 连接建模技术:衍射光束分束器 I O%6 O nfb]VN~( 3`O?16O 通过配置助手和IFTA进行相位设计 ~mV"i7VX a m-b!l!q^ s57N) 0kP 将传输函数转化为结构 H@X oqgI jk\ dG16 M-NV_W&M 衍射光束分束器表面 71#I5*8 "HD+rmUEH
qLncn}oNM 衍射光束求解器 - TEA & FMM d{et8N ^n#1<K[E F Kc;W 光栅级数 & 可编程光栅分析器 2y0J`!/) |VOg\[f l=`L7| ^/d 设计与评估结果: Kzy/9 • 相位函数设计 !.7udYmB • 结构设计 ^/wfXm • TEA 评估 {"*VU3%q • FMM 评估 ,O1O8TwUB0 • 高度缩放检查(用于优化/容限) pDPxl?S 7Y=cn_
wU 仅相位传输设计 _|<d5TI Q8p&Ki;i Z>F^C}8f 结构设计 v/uO&iQw5 "wH) mQnd M|T4~Q U& 使用TEA进行性能评估 aRj>iQaddx dGZntT2D +ww^ev% 使用FMM进行性能评估 kI*(V[i J2GcBzRH <Y 4:'L6 进一步的分析(优化后,容差分析) OwzJO JnD{J`: |6biq8|$3V 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 F9c`({6k /4=-b_2Y~ )j6eE+gF 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ^s7,_!.Pq dYFzye \a"Ct' 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 { PlK@#UN
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