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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 _dmL}t-  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ?ei%RWo  
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任务 ]O@"\_}  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 \5[-Ml  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 <NQyP{p  
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cCng5Nq,c  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 lYQtv=q  
连接建模技术:衍射光束分束器 +J40wFI:y  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 {,V$*  
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U1^l+G^,~  
将传输函数转化为结构 <:cpz* G4  
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衍射光束分束器表面 y\_wWE  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM !"(u_dFw  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 T:#S86m  
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设计与评估结果 _sm;HH7'*  
• 相位函数设计 pU DO7Q]  
• 结构设计 z.59]\;U>  
• TEA 评估 DrFur(=T  
• FMM 评估 < %rh/r  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) p)z-W(  
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仅相位传输设计 w@-b  
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结构设计 uri*lC  
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使用TEA进行性能评估 0&B:\  
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使用FMM进行性能评估 OgTSx  
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进一步的分析(优化后,容差分析) /THNP 8.  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 a G@nErdW  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Wv NI=>  
O*ImLR)i+s  
Y@ObwKcG  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 m6eFXP1U  
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