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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 J$PE7*NU LiJ;A* ?x]T&S{ 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Y3[< +D1;_DU 任务 MC3XGnT#5 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Tk/K7h^ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Arz>
P@EQ C,-V>bx g lp?geav 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 NF0} eom 连接建模技术:衍射光束分束器 *D]/V U z@VY s k+-u4W 通过配置助手和IFTA进行相位设计 XLFJ?$)Tro SR~~rD|V wmY6&^?uS 将传输函数转化为结构 \u,hS*v0 H5/%"1Q (XT^<#Ga 衍射光束分束器表面 TA}gCXE
e )T?w,"kI &e[/F@\% 衍射光束求解器 - TEA & FMM z-(dT ~z>2`^Z" y{K~g<VL 光栅级数 & 可编程光栅分析器 !e.@Xk.P6 50rq}- )R{4"&&2 设计与评估结果: mRfF) • 相位函数设计 a+zE`uY
• 结构设计 u&bo32fc • TEA 评估 Qo)>i0 • FMM 评估 x1+8f2[ • 高度缩放检查(用于优化/容限) w{K_+}fAC }RG 仅相位传输设计 v"_hWJ) 5`6@CRef l[Ng8[R 结构设计 8Z/P<u &OGY?[n Uh?SDay 使用TEA进行性能评估 !K(0)~u ;% !'K~ 49_b)K.tB 使用FMM进行性能评估 yZ 6560(q im%'S6_X4 t1g)Y|@d 进一步的分析(优化后,容差分析) +Medu?K
` W?F+QmD 292e0cE 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 #=7~.Y $0D]d.w= TS$ 2K 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 '(&.[Pk:" h3>/..l l5D8DvJCj 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 OPBnU@=R
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