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讯技bill 2024-09-02 14:22

TRCX应用:显示面板工艺裕量分析

制造显示面板的主要挑战之一是研究由工艺余量引起的主要因素,如CD余量,掩膜错位和厚度变化。TRCX提供批量模拟和综合结果,包括分布式计算环境中的寄生电容分析,以改善显示器的电光特性并最大限度地减少缺陷。 l3HfaCP6:  
NM0s*s42  
(a)参照物
(b)膜层未对准
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