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infotek 2024-08-20 07:55

高NA物镜聚焦的分析

摘要 weu'<C   
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 2x{3'^+l  
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建模任务 @z2RMEC~  
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概观 aMHIOA%Kh  
J|I|3h<T  
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光线追迹仿真 a. gu  
E]g KJVf9[  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 z cA"\  
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•点击Go! ]{y ';MZ  
•获得3D光线追迹结果。 5%W3&F6 %  
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光线追迹仿真 i %z}8GIt'  
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E2\)>YF{ P  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 #!5GGe{I  
•单击Go! .AV--oA~  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 ;id  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 b?Vu9!  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) Maq{H`  
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5:AAqMa  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 20K<}:5t1  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 "7gHn0e>  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 i1scoxX3\  
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场追迹结果(电磁场探测器) v|`)~"~  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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