永新光学“一种可变倍率双远心光刻镜头”专利公布

据国家知识产权局公告，宁波永新光学股份有限公司申请一项名为“一种可变倍率双远心光刻镜头”，公开号 CN202410897649.1，申请日期为 2024 年 7 月。 b1rW0}A  
专利摘要显示，本发明一种可变倍率双远心光刻镜头，从物侧到像侧依次排列有：光焦度为正的前镜组，光焦度为正的后镜组，前镜组从物侧到像侧由依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜组成，后镜组包括可移动透镜，优点在于采用双远心光学系统，通过透镜面型和光焦度的合理搭配，控制镜头内的光线走势，减小像差，实现高分辨率（＞0.35@75lp/mm）、低畸变（＜0.01%）、宽焦深（＞480um）、小远心度（≤0.07°）的效果，满足使用需求，通过可移动透镜的前后移动，实现放大倍率的微调（2.99~3.01），提高投影定位的一致性和准确性。 c6v@6jzx0Y