永新光学“一种可变倍率双远心光刻镜头”专利公布
据国家知识产权局公告,宁波永新光学股份有限公司申请一项名为“一种可变倍率双远心光刻镜头”,公开号 CN202410897649.1,申请日期为 2024 年 7 月。 e<\<,)9@/ 专利摘要显示,本发明一种可变倍率双远心光刻镜头,从物侧到像侧依次排列有:光焦度为正的前镜组,光焦度为正的后镜组,前镜组从物侧到像侧由依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜组成,后镜组包括可移动透镜,优点在于采用双远心光学系统,通过透镜面型和光焦度的合理搭配,控制镜头内的光线走势,减小像差,实现高分辨率(>0.35@75lp/mm)、低畸变(<0.01%)、宽焦深(>480um)、小远心度(≤0.07°)的效果,满足使用需求,通过可移动透镜的前后移动,实现放大倍率的微调(2.99~3.01),提高投影定位的一致性和准确性。 ;e s^R?z
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