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wangxingyu	2007-04-15 09:48
离子源充氧与充氩有何分别？离子源充氧与充氩有何分别？

j123456789	2007-04-15 15:49
离子源充氧后会产生氧原子和氧离子，它们具有极其强的活性，作为氧化物膜沉积时的辅助，不仅能提高膜层的密度，还能改善其吸收！但，其会降低离子源的寿命！！充氩仅能提高膜层的密度，同时离子源的寿命会相对长！

flyinlove79	2007-04-16 22:15
楼上的说的好 [s:4]

jiayuch	2007-04-22 16:21
如果镀得是氟化镁就用氩气吗

yufe16	2008-06-17 22:41
氩气流量大约是多少合适呢?高低折射率的材料用一样的流量吗？

liwenjuan

2008-06-18 18:16

这个问题也是我一直思考的，好像是的纯用氧气的离子源镀出的膜层是好点，寿命问题真的是要考虑的，厂家可能也是拿着这个结果来对我们说，而不会提到这个寿命的情况。
我也发现这种栅极用几次就会有损伤。

不同的材料肯定是不同，这个除了厂家会给一些参考，也要自己摸索了

syw1984	2008-06-28 22:14
好像透过曲线有区别的

yufe16	2008-06-29 22:26
使用离子源的话，对真空室温度有什么要求吗》

yufe16	2008-06-29 22:27
使用离子源对真空室温度有什么要求吗？

拉比熊	2013-01-13 23:13
使用离子源对温度没有影响

ken_jinyan1	2013-01-28 15:02
我们公司的GENER1300 配的是霍尔的离子源。厂家调试的时候用的是O2， uP'L6p5 说的是氧气和氩气都是一样的。氧气流量50，氩气流量30SCCM，我想问一下 ]UkH}Pt'3 离子源对膜料折射率是否有影响。

alex_xie	2013-01-30 21:47
使用氩气，镀出来的膜层致密性会好一点，可以氧气氩气一起用

flyinlove79	2013-02-02 00:00
热心助人，鼓励！

ken_jinyan1	2013-02-19 15:55
但是厂家的工程师和我说MGF2不能用离子源，不知道原因。 h p\|v?3( 如果不能用的话，还怎么冷镀膜呢？

a060103112	2013-02-27 11:32
jiayuch:如果镀得是氟化镁就用氩气吗 (2007-04-22 16:21) M-^I!C M1kA-Xr 氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气

爱哭的云彩	2017-08-09 18:39
j123456789:离子源充氧后会产生氧原子和氧离子，它们具有极其强的活性，作为氧化物膜沉积时的辅助，不仅能提高膜层的密度，还能改善其吸收！但，其会降低离子源的寿命！！充氩仅能提高膜层的密度，同时离子源的寿命会相对长！ (2007-04-15 15:49) ]M5~p^ RB *igmi9A 好有用

爱哭的云彩	2017-08-09 18:51
a060103112:氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气 (2013-02-27 11:32) y<Koc>8 ^?lpY{aa 原来是这样呀

pyykun	2018-02-27 11:48
谢谢大神们！！！

dcfcwdx	2018-03-03 21:44
受教了

yedewang	2018-05-08 16:09
非常有用

李某	2023-12-17 07:17
受教了 NN4Z:6W5

gaofei555	2024-07-04 11:47
学习了... t1Ts!Q2

renlgj	2024-08-22 17:30
启动真空不能太低

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