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倾斜光栅的参数优化与容差分析
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infotek
2024-07-25 07:56
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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VirtualLab Fusion一瞥
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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构建光栅结构
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−使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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−倾斜光栅高级设定[用例]
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•使用参数运行的容差分析
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VirtualLab Fusion技术
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