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infotek 2024-07-24 07:52

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 MY nH2w]  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Px'!;  
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建模任务 D;F{1[s(  
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概述 ;<G<1+  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8xI`jE"1  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [H"#7t.V-~  
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光线追迹仿真 yNJAWM7  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 HrqF![_  
•单击go! 8h?X!2Nq  
•获得了3D光线追迹结果。 MdhT!?  
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光线追迹仿真 }Pg' vJW  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h[ 6hM^n  
•单击go! bEr.nF  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 iTNqWU-o  
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场追迹仿真 z-0:m|=yH  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 It 2UfW  
•单击go! ~2N-k1'-'  
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场追迹仿真(相机探测器) 12r` )  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &R\XUxI  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 B {i&~k  
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?\yB)Nd y  
场追迹仿真(电磁场探测器) $ WFhBak8  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /;UTC)cJ  
WX*cICb5  
`QCD$=  
^~I @ spR4  
场追迹仿真(电磁场探测器) c57bf  
A. Nz_!  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +IsWI;lp  
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