首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2024-07-24 07:52

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 \$;\,p p  
w%S<N  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 7i{Rn K6*  
?f']*pD8  
|L;'In  
R $'}Z  
建模任务 -Kg@Sj/U}R  
=@pm-rI|-  
NJqALm!(  
概述 ?^BsR  
;YZw{|gsh  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3JW9G04.  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?]fBds=  
-Qnnzp$]  
Aog 3d\1$  
qjR;c& qR  
光线追迹仿真 \(T; @r  
D\({]oj]  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7vr)JT=  
•单击go! 'IfM~9'D  
•获得了3D光线追迹结果。 L*FmJ{Yf  
?Tuh22J{Q  
s^C*uP;R  
A!^K:S:@  
光线追迹仿真 6/4OFvL1  
W\eB   
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !c6 lP'U  
•单击go! 3tXtt@Yy  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 u"T5m  
@TgCI`E   
:@: R4Ac  
[Hd^49<P2  
场追迹仿真 =1yUH9\,b  
D VSYH{U4  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;/oMH/,U8  
•单击go! AO']Kmm  
bO2$0!=I  
EiJSLL  
9,y&?GLP  
场追迹仿真(相机探测器) @Wx_4LOhf  
*EV]8  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $~D`-+J  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 TP^.]I O-  
(^Nf;E  
y~- ?   
Mm6 (Q  
场追迹仿真(电磁场探测器) W{-N,?z  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ; $y.+5 q  
sgCIY:8  
~Zj?%4  
'|FM|0~-J  
场追迹仿真(电磁场探测器) a?JU(  
:=i0$k<E/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m2_&rjGz  
HvTi^Fb\a  
,%KB\;1mn'  
查看本帖完整版本: [-- 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计