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infotek 2024-07-24 07:52

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 TqK`X#Zq  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 nunTTE,iq%  
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建模任务 p(/PG+  
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概述 'Dyt"wfo  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 E/@w6uIK[  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 LU5e!bP  
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光线追迹仿真 xwG=&+66  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RYzDF+/  
•单击go! _y{z%-  
•获得了3D光线追迹结果。 `MFw2nu@t  
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光线追迹仿真 iK{ a9pt  
a]^hcKo4  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 C=L_@{^Rgb  
•单击go! p$^}g:  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 JFe %W?}.D  
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场追迹仿真 ed$g=qs>  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,@"Z!?e  
•单击go! pfS?:f<+6"  
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场追迹仿真(相机探测器) dj,7lJy  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 F;p>bw  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 vq yR aaMf  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ;4<CnC**  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MkJ}dncg*  
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场追迹仿真(电磁场探测器) idiJ|2T"G  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ezw(J[).C  
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