首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2024-07-24 07:52
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
<,~OcJG(
|Rfj 0+
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
i<ES/U\
[7@blU
(ks>F=vk*
1mmL`M1
建模任务
MJ:c";KCq0
hY4# 4A`I
3WwS+6R
概述
p.W7>o,[w
"uBnK!
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
)g:5}+
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
j e\!0{
Gld~GyB\k
6(E4l5%
='"Yj
光线追迹仿真
*ra)u-
u#ya 8
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
2* g2UP
•单击go!
dy6zrgxygP
•获得了3D光线追迹结果。
FS"Ja`>j~
IOFXkpKR
08ZvRy(Je<
t!\aDkxo %
光线追迹仿真
/g u VA
UuIjtqW
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
4u5j 7`O
•单击go!
(XOz_K6c%K
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
<J^5l0)q
7@{%S~TN
[+WsVwyf?
RC7F/|w.z
场追迹仿真
_f!ko<52
1:eWZ]B5"
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
Z. ${WZW
•单击go!
m}yu4
dg|+?M^9`
x;[)#>.'
6Jgl"Jw8
场追迹仿真(相机探测器)
?,VpZ%Df2
`*U@d%a
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
]{tWfv|Xg8
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
8g=O0Gb
C6gSj1
jZIT[HM
`)O9 '568
场追迹仿真(电磁场探测器)
IEm?'o:
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
7}xQ4M\u$
lZwjrU| _
"*zDb|v
+/&rO,Ql
场追迹仿真(电磁场探测器)
;*5z&1O
%>K(IRpMW
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
` ,T.
"0!#De
m&A bH&;
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计