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infotek 2024-07-24 07:52

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 <,~OcJG(   
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 i<ES/U\  
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建模任务 MJ:c";KCq0  
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概述 p.W7>o,[w  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )g:5}+  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 j e\!0{  
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光线追迹仿真 *ra)u-  
u#ya 8  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2* g2UP  
•单击go! dy6zrgxygP  
•获得了3D光线追迹结果。 FS"Ja`>j~  
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t!\aDkxo %  
光线追迹仿真 /gu VA  
UuIjtqW  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4u5j 7`O  
•单击go! (XOz_K6c%K  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 <J^5l0)q  
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场追迹仿真 _f!ko<52  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Z.${WZW  
•单击go!  m}yu4  
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场追迹仿真(相机探测器) ?,VpZ%Df2  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]{tWfv|Xg8  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 8g=O0Gb  
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场追迹仿真(电磁场探测器) IEm?'o:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7}xQ4M\u$  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ;*5z&1O  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ` ,T .  
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