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infotek 2024-07-24 07:52

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 _9<Mo;C  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 5? f!hB|6  
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建模任务 {"|la;*I  
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概述 +DE;aGQ.z?  
R%`fd *g  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AN)r(86L  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 hG272s2  
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02-% B~oP  
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光线追迹仿真 z]2lT IWg  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |fo#pwX  
•单击go!   Xi w  
•获得了3D光线追迹结果。 4P#4R B  
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A f}o/g  
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光线追迹仿真 PO ,zP9  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .eyJ<b9  
•单击go! Y&bO[(>1  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 d<w]>T5VW  
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场追迹仿真 (i1p6  
"6v_<t`q"  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =,X*40=  
•单击go!  HYv-5:B  
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场追迹仿真(相机探测器) =)a %,H  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 J|VDZ# c7  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 NLUiNfCR  
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场追迹仿真(电磁场探测器) LLbI}:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Dn#UcMO>W  
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O'QnfpQ*9  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ac1(lD  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D[4%CQ1m  
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