白光迈克尔逊干涉仪

1.摘要

白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。

2. 建模任务

3. 干涉条纹的变化

4. 走进VirtualLab Fusion

5. VirtualLab Fusion 中的工作流程

6. VirtualLab Fusion 技术

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