SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 .H
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 N$N 7aE$
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 T^Ol=QCu
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激光雷达的基本原理如下图： hip't@.uE
[attachment=129490] P&IS$FC.\
2.1设计要求 p^k*[3$0
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： moRo>bvN~
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Fv<3VKueK[
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um P!dSJ1'oC
波长905+-5nm apj oIO-<
焦距15mm y({lE3P
视场角 2w =76 B ?l 0u
FN =1.4 GT,1t=|&V
后焦26mm L)c] i'W Z
总长77mm B` )TRt+'.
相对照度全视场>0.7且均匀 I ]a [Ngj
畸变<8% 9[R+m3V/`
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm ; )FmN[
_+,>NJ
搜索宏和运行结果请评论区留言获取 .d6b ? t
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 L7[f-cK2:
[attachment=129491] De2$:?
,P%i%YPj
从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: 5mX^{V&^
[attachment=129492] 1zgM$p
g}d[j
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基本参数 f>|W d;7l:
[attachment=129493] 3&6sQ-}*
( TU/EU5
初始结构的像质 N w{Cu+AwG
3YG%YhevO
畸变 wg<t*6&'x
[attachment=129494] <}T7;knO
k"|Fu
MTF kbo9nY1k
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[attachment=129495] C3'?E<F
D#A6s32a
相对照度表格和图像 h j}P L
[attachment=129496] =RAojoN
= ;(L$:l~
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 |{JI=$
[attachment=129497] @_wJN Qo`
Y<V$3h
固定光阑 yb,X
}"Et
'uF75C
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 O`5h j q#
[attachment=129498] X]o"4#CQIX
(\'$$
添加真实材料 D8{ ,}@
[attachment=129499] ra2{8 x
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Wt=\hixj-
G;d3.ml/aZ
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： vCXmu_S4^>
[attachment=129500] 4Y1dkg1y
[attachment=129501] n SRNd
A
^C92R"*Qu
最终结果像质 zXU
g( xu
yZ N~A:
畸变<8%，满足条件 e )N< r
[attachment=129502] Lz!JLiMEET
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3@:O1i
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 /='Q-`?9
[attachment=129503] -2(?O`tZ
[attachment=129504] BMqr YW
Eg8b|!-')8
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 evpy%/D
[attachment=129505] g5RH:]DV
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总结 } +Q4s]
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 s;..a &C'
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