SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 LM~,`#3 Ru
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 C K{.Ic^
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 JuD$CHg;#
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激光雷达的基本原理如下图： s)e' }y
[attachment=129490] 3XeCaq'N
2.1设计要求 | gou#zi
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： B 3Yj
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ua'dm6",:
gkN|3^
固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um x!<?/I)X
波长905+-5nm 'za4c4b*u
焦距15mm j+p=ik
视场角 2w =76 }k-rOi'jL
FN =1.4 wJ | wAS
后焦26mm vT7ei"~&u
总长77mm wF`9}9q
相对照度全视场>0.7且均匀 ;zbF~5e
畸变<8% [P*w$Hn
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm x 4HVB
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 `B ^ HW8
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 8")1,
[attachment=129491] L% 7?o:
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从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: mST/u>'
[attachment=129492]
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基本参数 ={a8=E!;
[attachment=129493] CENA!WWQ
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初始结构的像质 hE-u9i
F?L TWm
畸变 pGy]t
[attachment=129494] _~M*XJ] `
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MTF V0 ]6F
[attachment=129495] 4Qr16,Us
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相对照度表格和图像 $=j}JX}z
[attachment=129496] C?Sy90f
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中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 Q6cF <L`bW
[attachment=129497] Ou
_bM n
Jmln* ,Ol7
固定光阑 nnU
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|zV-a2K%J
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 CapWn~*g
[attachment=129498] i%+p\eeq*
o3hsPzOQx
添加真实材料 pP&TFy#G+'
[attachment=129499] e1dT~l
a& Ti44a[
89>U Koc?
(8<U+)[tPy
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： /{ .
[attachment=129500] 6'e}!O
[attachment=129501] /\-qz$
7P`|wNq
最终结果像质 )g9&fGYf
A| #9
畸变<8%，满足条件 n lsQf 3
[attachment=129502] Ly?gpOqu5
( Ck |RojC
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 4VjP:>*p
[attachment=129503] t)n!];
[attachment=129504] s%nx8 "
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相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 slV+2b
[attachment=129505] Tp.0@aC
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总结 :7t~p&J
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 zV\\T(R)
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