SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 Z=B_Ty
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ^-mRP\5
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 D j k C
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激光雷达的基本原理如下图： NK|? y
[attachment=129490] ^ -FX
2.1设计要求 QB.J,o*XD4
I;5R2" 3
为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： ~\x:<)
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um \s3]_1F;t
波长905+-5nm u2oKH{/z
焦距15mm ' (?
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视场角 2w =76 !D!~ ^\
FN =1.4 '$4O!YI9@
后焦26mm %r&-gWTQ,
总长77mm q$1PG+-
相对照度全视场>0.7且均匀 hcV JBK
畸变<8% 6v,z@! b
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm Rqwzh@}
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 H| cNH=
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 R52I=
a5,*
[attachment=129491] NmMIQ@K
3=-4%%[M@
从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: G'YH 6x,
[attachment=129492] r=yK,d/1
n wI!O
基本参数 yj4+5`|f
[attachment=129493] `eu9dLz H
s@M Yc@k
初始结构的像质 zP6.xp3
6} FO[
畸变 x0 d~i!d
[attachment=129494] 8M@ BG8
qY\f'K}Q*
MTF qfcY E=
[attachment=129495] GUsl PnG
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相对照度表格和图像 O;7)Hjw t
[attachment=129496] CK,
6ytB
~4q5
k5.,
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 NEa>\K<\
[attachment=129497] oK{ V7
hHqh{:q{v
固定光阑 k6=nO?$
vkLC-Mzm<
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 gm9mg*aM
[attachment=129498] Be+0NXLVy
qRbf2;
添加真实材料 fO#vF.k%
[attachment=129499] Lg"C ]
( H+'X}1
7)h[Zy,A
+H$!a
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： :$MG*/Q
[attachment=129500] QRLt9L
[attachment=129501] /c):}PJ^#7
tH'2gl
最终结果像质 xq"Jy=4Q*
u4Em%:Xj
畸变<8%，满足条件 &~CY]PN.
[attachment=129502] RmZ]"
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 {nU=%w"\
[attachment=129503] A<;SnXm
[attachment=129504] v@# b}N0n
#n h|=X
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 9)VF 1LD
[attachment=129505] Y2'cs~~$Ce
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总结 {\[5}nV
ZoArQ(YFy
该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 oPPX&e@=s]
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