SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 5x; y{qT
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 wH Q$F (by
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激光雷达的基本原理如下图： V_"K
[attachment=129490] ONw;NaE,
2.1设计要求 7I _lTu (
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： vS|uN(a.P
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aj<=]=hr
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um -5 Yv tL
波长905+-5nm ,pz^ 8NJAI
焦距15mm +\a`:QET
视场角 2w =76 ymLhSF][
FN =1.4 BI,j/SRK
后焦26mm $G5;y>
总长77mm =@d IM
相对照度全视场>0.7且均匀 `9
畸变<8% PDnwa K
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm $MEK t}S
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Y(4#b`k3
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 N +9`'n^x
[attachment=129491] &1DU]|RoT&
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从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: U >z8gdzu
[attachment=129492] yH8
N 8
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基本参数 Jk) ^6
[attachment=129493] z Lw= *
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初始结构的像质 T/" 6iv\1
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畸变 1|VnPQqA
[attachment=129494] !S[8w9q
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MTF mACj>0Z'
[attachment=129495] :o}J u}t
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相对照度表格和图像 ; 2vHdN
[attachment=129496] OgN t"Vg
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中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 i51~/
R
[attachment=129497] Z4Nl{
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Ch`XwLY9
固定光阑 d* Y&V$?zl
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在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 9d4 PH
[attachment=129498] {|%N
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添加真实材料 U3 e3
[attachment=129499] )DsC:cP
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Gw*n,*pz
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： nJ#uz: (w,
[attachment=129500] / a\6&Eb
[attachment=129501] /a%5!)NE%
E8WOXoP(
最终结果像质 u{'bd;.7
Vh :%e24Z
畸变<8%，满足条件 4!< 8Dd
[attachment=129502] 0hXI1@8]`
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 {T
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[attachment=129503] Y&aFAjj
[attachment=129504] ;}{%|UAsx
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相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 # CoJ S[ t
[attachment=129505] ^W P`;e
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总结
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 A1:<-TF6^p
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