SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 kU/MvoV
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 xfeE D^?
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 ZR\N~.
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激光雷达的基本原理如下图： ?xqS#^Z
[attachment=129490] B{)#A?Rh.
2.1设计要求 HTYyX(ya
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： ]owgsR
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um av!;k2"
波长905+-5nm 71@ eJQ
焦距15mm )zxb]Pg+
视场角 2w =76 ;D~#|CB
FN =1.4 R Th= x.
后焦26mm R:f!ywj%
总长77mm hZ 1enej)
相对照度全视场>0.7且均匀 BSMb(EnqX
畸变<8% "Vq=
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm 'etA1]<N
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 A8.n oV
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 c ?CD;Pk
[attachment=129491] 9HJYrzf{%
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从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: B6dU6"
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基本参数 zH~P-MqC
[attachment=129493] , mz;$z6i
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初始结构的像质 h |]cZMGo
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畸变 U^KWRqt
[attachment=129494] `R2Iw
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MTF RK.lz VaY
[attachment=129495] F%
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相对照度表格和图像 4v bGX b}!
[attachment=129496] !U%
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M ]047W
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 lPR^~&/
[attachment=129497] _b<;n|^
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固定光阑 </;e$fh`
~T H4='4W3
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 l 8?C[, K%
[attachment=129498] oIO@ #
CtMqE+j^
添加真实材料 BlpyE[h
T
[attachment=129499] vQCb?+X&
d(|?gN^
G%HG6
f~W+Rt7o
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： i&H^xgm
[attachment=129500] 'nPI
zK<v
[attachment=129501] K W&m uD
iT&4;W=72~
最终结果像质 GcN}I= 4|
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畸变<8%，满足条件 ?jz\[0)s
[attachment=129502] ]0T*#U/P
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 l|
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[attachment=129503] H<!q@E
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[attachment=129504] sDBSc:5+e
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相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 0?ab'vYcp
[attachment=129505] q `PA~ C];
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总结 +pgHCzwJE
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 dBA&NW07
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