SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 bX1ip2X
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 \
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 ZlzFmNe60
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激光雷达的基本原理如下图： OH w6#N$\
[attachment=129490] VrK 5a9*^
2.1设计要求
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： Jo@9f(hq
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um a=R-F!P )
波长905+-5nm p:jrqjLp
焦距15mm $B2@mC([S
视场角 2w =76 mq L+W
FN =1.4 vY 6|V$
后焦26mm Tp7?:YY|
总长77mm a4yU[KK
相对照度全视场>0.7且均匀 ^BZdR<;
畸变<8% T"jl;,gr]J
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm ]{ hfM
I}X8-WFB
搜索宏和运行结果请评论区留言获取 wHmEt ORo
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 Z6p>R;9n
[attachment=129491] R/W&~t
>Vvc5 5z
从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: |8B[yr.b
[attachment=129492] `xSXGI
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基本参数 62"ND+D4
[attachment=129493] So:89T
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初始结构的像质 .o>QBYpTw/
@;0Ep 0[
畸变 ])`F$S
[attachment=129494] 0czy:d,M%
D+V^nCcx%
MTF _?ym,@} #
[attachment=129495] .jCdJ
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1\Mcs X4
相对照度表格和图像 . XmD[=
[attachment=129496] 6=
&e(de$}xt
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 &Wba2fD
[attachment=129497] eR/7*G 5
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固定光阑 Gi- tf<
K"pfp !Y
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ^^Ius ]
[attachment=129498] by
{~gu
loZfzN&6A
添加真实材料 |^1eL I
[attachment=129499] mp#5V c
'D1@+FFU0
{E9Y)Z9
u*M*Wp Y
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： 0zd1:*KR,
[attachment=129500] ]?kf;A@
[attachment=129501] +,smjg :O
K46\Rm_:B;
最终结果像质 =Ru i
ISl'g'o
畸变<8%，满足条件 {f!m m3'2v
[attachment=129502] s:jwwE2
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 S\C
[attachment=129503] x*YJ :t
[attachment=129504] B *:6U+I
P"- ,^?6
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 ua0k)4|
[attachment=129505] O6`@'N>6P
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总结 $r d A0%;
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 c!I>
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