SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 f1:>H.m`
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 WblH}
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 (^~a1@f,J
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激光雷达的基本原理如下图： eY` z\I
[attachment=129490] R7IFlQH%
2.1设计要求 A@~9r9Uf
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： 7J3A]>qU
Srw`vql{(
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um O)^F z:
波长905+-5nm ~<u\YIJ
焦距15mm =,*/P h&
视场角 2w =76 V # vkj
FN =1.4 J,v 024TM
后焦26mm .K^gh$z!
总长77mm R}(Rv3>Xx
相对照度全视场>0.7且均匀 &u9,| n]O9
畸变<8% M A{ZmPm)
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm rk %p A-P2
IV&5a ]j
搜索宏和运行结果请评论区留言获取 1WaQWZ:=
i= ^6nwD&
运行搜索宏可以得到10个初始结构 Lwtp,.)pR
[attachment=129491] yuq o ^i
I RLAsb3
从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: N\s-{7K
[attachment=129492] <b~~X`Z
KD\%B5Jy
基本参数 V,zFHXO
[attachment=129493] DQObHB8L
<bJ|WS|
初始结构的像质 nIOSP :'>
S^1ZsD.
畸变 BSkm Fd(*
[attachment=129494] 0f_` ;{
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MTF fM&
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[attachment=129495] k N* I_#
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相对照度表格和图像 uu-M7>+
[attachment=129496] q( EN] W],
I=Y_EjZ D
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 sc-+?i
[attachment=129497] q(46v`u
_^?_Vb
固定光阑 V~8]ag4
sWTa;Qi
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 $<VH~Q<
[attachment=129498] )`<&~>qp
]#S<]v A
添加真实材料 non5e)w3@
[attachment=129499] hBz>E 4mEv
CZ^
,bad
7#&Q-3\:
mq}uq9<
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： `S3)uV]I
[attachment=129500] UZ-pN_!Z:
[attachment=129501] $WRRCB/A6
U0W2
最终结果像质 Y#P!<Q>}
4"nYxL"<4
畸变<8%，满足条件 00-2u~D&
[attachment=129502] 2#qc YU
E&"V~
gLFSZ
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 '19 ?
[attachment=129503] XE0b9q954
[attachment=129504] 2/F8kVx{
Aj/E aIq
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 `Um-Y'KE
[attachment=129505] [tC=P&<
2H] 7 =j
总结 ]R^xO;g'
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 YJDJj
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