SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 N;uUx#z
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 >*I N
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 r#A_RZ2~@
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激光雷达的基本原理如下图： "NDxgJ%J35
[attachment=129490] jk$86ma!
2.1设计要求 ['z!{Ez
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： Y$g}XN*)E
P.djd$#
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b.s9p7:J
固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um n"6;\
波长905+-5nm Z?oG*G:
焦距15mm oBA`|yW{U
视场角 2w =76 ,vV ]"f
FN =1.4 .-0%6]
cFD
后焦26mm 5o#Yt
总长77mm _d@=nK)
相对照度全视场>0.7且均匀 YzAFC11,
畸变<8% 1j0 -9Kg'
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm NBjeH tT
AVG>_$<
搜索宏和运行结果请评论区留言获取 RW_q~bA9
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 Y#FO5O%W
[attachment=129491] ][d,l\gu+s
eWvo,4
从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: Gs
dnf 7
[attachment=129492] !g>.i`
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基本参数 2 Vk\L~K
[attachment=129493] y ,=du
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初始结构的像质 N8v'70
WZZ4]cC
畸变 dR I^@ n
[attachment=129494] $Z?\>K0i
ar.AL'
MTF ]3B %8
[attachment=129495] :?Y$bX}a
7\X E,;4>
相对照度表格和图像 W 0XF ~
[attachment=129496] Kmz7c|
TeQNFo^_8
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 TZRcd~ 5$
[attachment=129497] C`V)VJM
,RxYd6
固定光阑 W `z 0"
K93p"nHN
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 uj|BQ`k
[attachment=129498] % ."@Q$lA
Gi FXX
添加真实材料 Xm1[V&
[attachment=129499] LfLFu9#:w
is?2DcSl5
}fR,5|~X
gNpJ24QK
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： %7hB&[ 5
[attachment=129500] O
5 Nb
[attachment=129501] WO</Mw
3WY$WRv
最终结果像质 ^Q +i=y{W
SC &~s$P;
畸变<8%，满足条件 ;8{cA_&
[attachment=129502] :-`7Q\c }
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S8, Z;y
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 =PHIpFIuk
[attachment=129503] 8Q{9>^
[attachment=129504] ULH0'@BJ
~z5R{;Nbz|
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 ,m=4@ofX
[attachment=129505] cbYLU\!
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总结 ra N)8w}-
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 3q:n'PC)C
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