SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 u~1 ,88&U
UkM#uKr:
激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 *~8 g:;u
N=c {@h
Fz@U\ \94z
其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 V_jGL<X|
rVDOco+w
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激光雷达的基本原理如下图： r/RX |M
[attachment=129490] E&> 2=$~
2.1设计要求 MQl GEJ
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： 5ih5=qX
O5A]{ W
E [Ao*
F[~~fm_
固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um G-Zn-I
波长905+-5nm agnEYdM_
焦距15mm Nq[-.}Z6
视场角 2w =76 8 ,]wOxwqi
FN =1.4 M~g@y$
后焦26mm ^6PKSEba
总长77mm E^x/v_,$w!
相对照度全视场>0.7且均匀
` 6pz9j]
畸变<8% Ba9"IXKH
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm ho}G]y
f:ep~5] G
搜索宏和运行结果请评论区留言获取 ])vqXjN6"
8n/[oDc ]
运行搜索宏可以得到10个初始结构 +Q+!#
[attachment=129491] /F}dC/W
@Zfg]L{Lr
从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: SQDc%I>b
[attachment=129492] 7E R!>l+
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基本参数 kvam`8SeL
[attachment=129493] U DHMNubB
f!JSb?#3
初始结构的像质 Hh &s.ja
z"V`8D
畸变 [m9=e-KS$Q
[attachment=129494] JUTlJyx8
"2`/mt Mon
MTF G:Nw i=vN
[attachment=129495] |kqRhR(Ei
7l G,.W|
相对照度表格和图像 1b8}TG2
[attachment=129496] h BzZJ/jn
/@6T~XY M
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 CZ ,2Rq
[attachment=129497] ?r^>Vk}
uEyu s96 +
固定光阑 #x(3>}
^ 1X
6DH`
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 hu:x,;`9H
[attachment=129498] TR!7@Mu 3
GX%r-
添加真实材料 kS) |oU K
[attachment=129499] ?P Mi#H
j15t8du&O
x24&mWgU
4JGU`L:~
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： q=+wQ[a<
[attachment=129500] *NQsD C.J^
[attachment=129501] &a";jO
GB
&e5,\TQ
最终结果像质 V#V<Kz
@|@6pXR.
畸变<8%，满足条件 W!
GUA<
[attachment=129502] i^V3u
}dG>_/3
$H1i gYc
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 d&%}u 1 .
[attachment=129503] r[AqA
[attachment=129504] H2E'i\
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相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 <Sp>uhet1
[attachment=129505] &p.7SPQ8/
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总结 : W0 ;U
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 5>~q4t)6z}
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