| SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计|
 1.概述f&J*(F*u nfEk ,(:
 激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 [VHt#JuN,
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 其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 j@f(cRAf#
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 激光雷达的基本原理如下图: -rBj-4|"
 
 [attachment=129490]o>h>#!e 
 2.1设计要求v,!	u{QP )ALcmC?!#
 为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: H3b`)k
sFr
 MH-,+-Eq
 m"5gzH
 
  >jIc/yEYKI  <cS1}"固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um uFgw eOJ
 波长905+-5nm #N:o)I
 焦距15mm nN:i{t4f
 视场角 2w  =76 #=2~MXa@z7
 FN  =1.4 4-AmzU
 后焦26mm u&:jQ:[
 总长77mm 0&)4^->c
 相对照度全视场>0.7且均匀 !{+(oDN
 畸变<8% sj1x>
 MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
 ,k4
(b
 搜索宏和运行结果请评论区留言获取 bk|>a=o3
 kK(,FB
 运行搜索宏可以得到10个初始结构 QHeUpJ/^
 
 [attachment=129491]_[V
6s#Wk3 KR63W:Z\'
 从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: xE:p)B-]
 
 [attachment=129492]( Qnn 4^
A\w
 基本参数 6mZFsB
 
 [attachment=129493]qQQ~[JL 5E]I
 初始结构的像质 d+kIof,
 fa)G$Q
 畸变 Lgy }Gm8u5
 
 [attachment=129494]D<:9pLD( :(Gg]Z9^8
 MTF FRr<K^M
 
 [attachment=129495]<D?`*#K ><Z2uJZ4x
 相对照度表格和图像  I2b[
 
 [attachment=129496]:%{8lanO ]Kd:ZmJ
 中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 K.k=\N
 
 [attachment=129497])7f:hg tkA	'_dcIC
 固定光阑 -LF^u;s8&S
 eD(#zfP/+
 在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 :`d&	|BB
 
 [attachment=129498]9d
v+u6) \
FA7 +Q
 添加真实材料 ^
`!6Yax?
 
 [attachment=129499]2`x[y?Tn '_2~8w
 ;Q ]bV52
 ke/QFN-`
 优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置  AEC  2 1 1 ,得到结果: l+@NjZGm<
 
 [attachment=129500],oR}0(^"\< 
 [attachment=129501]{epsiHK@tK \D0Pik@?
 最终结果像质 1	#_R`(C{
 {sbQf7)
 畸变<8%,满足条件 WVKzh
 
 [attachment=129502]ZT!DTb
B HyB!8M|
 YS&3+Tp
 MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 #=h~Lr'UH
 
 [attachment=129503]z.FO6y6L 
 [attachment=129504]l%U{Unwu wj5{f5	RWV
 相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 rZ<@MV|d
 
 [attachment=129505]TRa|}JaI" hl8[A-d(R
 总结 +Bgy@.a?
 -(P"+g3T
 该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 Y2}\~I0
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