SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 &< |-> *v
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 Q$h:[_v
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 T<e7(=
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激光雷达的基本原理如下图： cI%"Ynq"3
[attachment=129490] >AzWM
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2.1设计要求 )x8;.@U
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： Jg|cvu-+
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um ;6 4mf`
波长905+-5nm p;u 1{
焦距15mm o!toO&=
视场角 2w =76 ey\m)6A$
FN =1.4 95^i/6Gl!P
后焦26mm ;w6 fM
总长77mm Y%0d\{@a
相对照度全视场>0.7且均匀 U7B/t3,=U
畸变<8% bKuj
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm ^K.u
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 z{@R .'BD
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 hY=w|b=Y
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O b8B
从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: JS/M~8+Et
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基本参数 a4T~\\,dZ>
[attachment=129493] V@v1a@=W
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初始结构的像质 ^}o7*
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畸变 +%Lt". o
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MTF |As2"1_f
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相对照度表格和图像 hI|/ >4<
[attachment=129496] g5[ D&
l] _b;iux
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 8M^wuRn
[attachment=129497] _)KY
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固定光阑 Y5ogi )
Gz>Lqd
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 gEv-> pc
[attachment=129498] hCzjC|EO~
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添加真实材料 %won=TG8
[attachment=129499] =- $!:W~
d5DP^u
D@8jGcz62
Vp kD'< G
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： aj n-KG!A
[attachment=129500] j$@?62)6
[attachment=129501] 8> UKIdp
9~@<-6jE3b
最终结果像质 ,e9CJ~a
A oj6k\YX
畸变<8%，满足条件 ZCm1+Y$
[attachment=129502] mZwi7s&u
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 x6LjcRS|
[attachment=129503] _u> t3RUA
[attachment=129504] ]}Pl%.
P7z:3o.
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 RCzV5g
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U.: sK*
总结 Bwjg#1 E
tG/a H% 4S
该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 Hk,lX r
X E 9)c
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