SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 d6ckvD[
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 qdxDR
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 I>:.fHvUC
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激光雷达的基本原理如下图： 5!qLJmd=
[attachment=129490] cB_ 3~=fV
2.1设计要求 ,B$e'KQ
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： 'Ooq.jaK;/
Z&5 cJk
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um Oee>d <
波长905+-5nm [='<K
焦距15mm v<E_n;@9k
视场角 2w =76 gsVm)mkd
FN =1.4 ,8+Jt@L
后焦26mm LEA^o"NW.
总长77mm 3$P GLM
相对照度全视场>0.7且均匀 < ^" 0A
畸变<8% N[wyi&m4
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm )]{&
VV"1I R
搜索宏和运行结果请评论区留言获取 28O 3N;a
M4K>/-9X+V
运行搜索宏可以得到10个初始结构 z6'l" D'h
[attachment=129491] 79} Qj7
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从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: fX}dQN~z
[attachment=129492] j]
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基本参数 2x :aMWh
[attachment=129493] yOE N*^6
,e+S7 YX
初始结构的像质 Z'_EX7r
v,Yz\onB^
畸变 =:Lc-y >
[attachment=129494] _}Ec [c
Q*]y=Za#:
MTF Bu#\W
[attachment=129495] MXynv";<H
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相对照度表格和图像 y-vQ4G5F|
[attachment=129496] qWw{c&{Q],
q[ TW
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 WxS$yUu
[attachment=129497] UE
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OB\jq!"
固定光阑 eG% Q
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+t p@ Tb
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 LAv!s/ O$=
[attachment=129498] C%;J9(r
5
DvD
添加真实材料 Tw!_=zy(Gw
[attachment=129499] jmva0K},SE
9+co `t.
(zhi/>suG
<amdPo+2D
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： |H4f&& Wd
[attachment=129500] VB@M=ShKK
[attachment=129501] ~19&s~
OM#eJ,MH<)
最终结果像质 ZR@PqS+O/
ZqJyuTPv
畸变<8%，满足条件 eC*-/$D
[attachment=129502] 17@#"uT0
*)um^O
AOR(1Q yo
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 aDVBi: _
[attachment=129503] VTwJtWnq
[attachment=129504] <h mRr
^RE("'+
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 ljw>[wNv
[attachment=129505] OjBg$f~0F
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总结 [E4 #|w
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 2j*o[k AE
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