SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 =9j8cC 5y
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 _U/!4A
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 D:Zy
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激光雷达的基本原理如下图： z@w Mc
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[attachment=129490] mQY_`&Jq
2.1设计要求 d'Zqaaf k%
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： 0=K9`=5d0
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um /r=tI)'$
波长905+-5nm Ybn`3
焦距15mm i@4~.iZ8
视场角 2w =76 Q_t`.jus
FN =1.4 . Z%{'CC
后焦26mm "U\4:k`:
总长77mm TY Qwy*
相对照度全视场>0.7且均匀 [w -l?
畸变<8% ak ;*W
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm 6qaulwV4t
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 >ss/D^YS
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 Yboiw y,n
[attachment=129491] phgm0D 7
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从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: D#o}cC.
[attachment=129492] ~I} &V T
DS)RX.k_#
基本参数 &0`)
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[attachment=129493] ?| 39u{
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初始结构的像质 ? 8LX P
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畸变 zA1lca0HK
[attachment=129494] Mz L1 Bh!M
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MTF 'UYR5Y>
[attachment=129495] =|YxDas
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相对照度表格和图像 IqD_GL)Ms
[attachment=129496] %b"\bH H
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中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 P<f5*L#HD
[attachment=129497] +*hm-lv?
GO^_=EMR[
固定光阑 /, ! B2
=hMY2D
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 1SR+m>pL
[attachment=129498]
EMfdBY5
o!!y d8~*r
添加真实材料 iV eC=^1
[attachment=129499] x*Y@Q?`>5W
4'LB7}WG
3fh8$A
HdPo O;
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： k+DR]icv
[attachment=129500] zBe8,, e
[attachment=129501] iX4I u3
/)>s##p*
最终结果像质 =%> oR
:P(K 2q3
畸变<8%，满足条件 gw}M w
[attachment=129502] T.qNCJmB
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ti<;7Yb
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 #2EI\E&$
[attachment=129503] tx PIG/
[attachment=129504] $VxA0
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) u qA(R>
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 78/N
[attachment=129505] 17OH]
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总结 PxfY&;4n!
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 37RLE1Yf
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