SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 KPc`5X
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ?T]3I.3
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 &-M>@BMy
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激光雷达的基本原理如下图： [H ^ ktF
[attachment=129490] ;>YLL}]j
2.1设计要求 ,`kag~ bZ
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： +P YX .
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um gp@X( d
波长905+-5nm `wIMu$ i
焦距15mm v__n>* x
视场角 2w =76 %%d3M->C}
FN =1.4 8x":7 yV&
后焦26mm $=&a 0O#
总长77mm ppL*#/jYt
相对照度全视场>0.7且均匀 /Mq9~oC
畸变<8% V
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm Jc8 ^m0_
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 n[ |*[II
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 w4I&SLm-b
[attachment=129491] `X;' *E]e
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从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: p ~LTu<*S
[attachment=129492] <V?csx/eRd
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基本参数 /?(\6Z_A
[attachment=129493] 0<ze'FbV]
K;uO<{a)r
初始结构的像质 u?Pec:3%
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畸变 !]#@ :Z
[attachment=129494] :`jB1rI
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MTF kh7RQbNY<I
[attachment=129495] z8Vc V*6
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相对照度表格和图像 yzH(\ x
[attachment=129496] As}3VBd
O%H c%EfG
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取
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[attachment=129497] d+m}Z>iQ1O
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固定光阑 K$1(HbL
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在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 L <QjkFj
[attachment=129498] }F
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T<a/GE/
添加真实材料 RA_gj lJi
[attachment=129499] P*
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优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： BE$Wj;Q
[attachment=129500] )/:j$aq
[attachment=129501] 4{v ?<x8
GEs5@EH
最终结果像质 XI5TVxo(q
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畸变<8%，满足条件 7QX p\<7
[attachment=129502] Zws[C
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 QJH((
[attachment=129503] y 1I(^<qO=
[attachment=129504] lj US-6
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相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 ^D]y<@01
[attachment=129505] kJ_XG;8
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总结 (~Hwq:= .
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 } Q1m
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