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infotek 2024-07-22 08:32

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 ~3'RW0  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 pF sCd"zv  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 MX!u$ei  
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•设置输入场 D!bKm[T  
−基本光源模型[教程视频] *GbVMW[A>  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 %RQC9!  
•定义元件的位置和方向 rU=b?D)n!w  
− LPD II:位置和方向[教程视频] Mw"xm9(Q  
•正确设置通道以进行非序列追迹 nT.L}1@  
−非序列追迹的通道设置[用例] W.,% 0cZ  
•使用参数运行检查影响/变化 1B)Y;hg6&  
−参数运行文档的使用[用例] H96BqNoO  
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VirtualLab Fusion技术 E?30J3S  
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