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infotek 2024-07-22 08:32

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 f/{*v4!  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Z^r? MX/  
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建模任务 =w2_1F"  
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仿真干涉条纹 \2VYDBi?|  
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走进VirtualLab Fusion %3mh'Z -[f  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 y]b &3&  
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•设置输入场 /L*JHNu"_  
−基本光源模型[教程视频] H?tX^HO:q  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 $&jte_hv  
•定义元件的位置和方向 j-9Zzgr  
− LPD II:位置和方向[教程视频] h #(J6ht  
•正确设置通道以进行非序列追迹 D2MWrX  
−非序列追迹的通道设置[用例] EiCEB;*z|d  
•使用参数运行检查影响/变化 <T+{)FV  
−参数运行文档的使用[用例] XWv;l)  
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VirtualLab Fusion技术 _q=ua;I&  
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