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infotek 2024-07-17 08:17

高效偏振无关透射光栅的分析与设计

摘要 K>`*JJ,  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 vtf`+q  
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光栅特性与参数的严格分析 se]QEd7]7  
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不同光栅周期下的衍射效率 )u_[cEJHO  
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关于光栅周期选择的考虑 WEB enGQ  
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偏振相关的衍射特性 ^>!~%Vv7!  
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通过参数优化进行光栅设计 WCZeY?_^c  
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固定周期的2D参数优化 a$P$Ngi?S  
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制造公差分析–设计2 WL/9r *jW  
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走进VirtualLab Fusion 4 Gm(P~N  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 bkfk9P  
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y?s8UEC  
•构造光栅结构 M~&X?/8  
通过使用界面来配置光栅结构 }8cX0mZ1j  
[用例] Co#_Cyxg=9  
•分析光栅衍射效率 *X4$'LSx1  
光栅级次分析器[用例] HfgK0wIi  
•使用参数运行搜索初始解决方案 ,dIo\Lm  
参数运行文档的使用[用例] CD+2 w cy  
•通过参数优化找到最终设计
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VirtualLab Fusion技术 I!1nB\l  
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