薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

摘要 J _;H  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 [p9v#\G; [  
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建模任务 /T)E&=Ds  
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正弦光栅—透射相位曲线 \4q|Qno8  
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正弦光栅—透射相位曲线 ]a4U\yr  
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正弦光栅—衍射效率 Wr%ov6:  
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正弦光栅—效率与周期 &/? Ct!_  
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 X ha9x,  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） V:kRr cX  
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闪耀光栅—透射相位曲线 'dwT&v]@  
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闪耀光栅—衍射效率 [s>3xWZ+a  
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闪耀光栅—效率与周期 \X8b!41  
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VirtualLab Fusion一瞥 fg^25g'_  
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• 设置光栅结构 )7>GXZG>=  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] aOzIo-  
• 分析光栅衍射效率 QH/py  
−光栅阶次分析器[用户案例] -+*h'zZ[<w  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Rd#R}yA  
− 利用参数运行文档[用户案例]  =_dM@j  
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VirtualLab Fusion技术 J2=4%#R!  
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