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使用傅里叶模态法分析闪耀光栅
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infotek
2024-07-10 07:58
使用傅里叶模态法分析闪耀光栅
摘要
`3TR`,=
{K^5q{u
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。
-(vHy/Hz.
=RoE=)1&-
7Cz~nin>7
傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
B=SA +{o
+a,SP
建模任务
]_KWN$pd
E-A9lJWr
L]Tj]u)
Fh~9(Y#
单次FMM仿真结果
d i\.*7l?
Bm~^d7;Cw
&;Ncc,jb
> ,6
参数扫描(1D)
oj 8r*
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g#S X$k-O
Np\NStx2
参数扫描(2D)
Yy~x`P'g!
qq)5)S
l)r\SE1
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