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infotek 2024-07-10 07:58

使用傅里叶模态法分析闪耀光栅

摘要 `3TR`,=  
{K^5q{u  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 -(vHy/Hz.  
=RoE=) 1&-  
7Cz~nin>7  
傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) B=SA +{o  
+a,SP   
建模任务 ]_KWN$pd  
E-A9lJWr  
L]Tj]u)  
Fh~9(Y#  
单次FMM仿真结果 di\.*7l?  
Bm~^d7;Cw  
&;Ncc,jb  
>,6  
参数扫描(1D) oj8r*  
 \XDiw~0  
g#S X$k-O  
Np\NStx2  
参数扫描(2D) Yy~x`P'g!  
   qq)5)S  
l)r\SE1  
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