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infotek 2024-07-03 07:57

用于一般光学系统的光栅元件

摘要  aj|gt  
JA]qAr  
光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 xE"QX N  
+8zC ol?j  
scZSnCrR  
~]l T>|X  
系统内光栅建模 h+ggrwg'  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 abczW[\  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 WWtksi,  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ;XDGlv%  
TPi=!*$&  
>$/PfyY7@#  
|K11Woii  
附着光栅堆栈 6<`tb)_2~  
lD]/Kx  
 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 N NTUl$  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 {[tx^b  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 2`V[Nb  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 `/+PZqdC  
.CAcG"42  
^1jZwP;5eW  
F8En )#  
堆栈的方向  cq,8^o&  
Rct=v DU  
堆栈的方向可以用两种方式指定: l6y*SW5+  
+H `FC  
它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 =(\xe| Q  
Yd>ej1<  
请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 m{ VC1BkZ  
E#^?M#C  
]R7zvcu&  
n| [RXpAp3  
基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 =zX A0%  
kA/V=xO<  
 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 <}z, !w8  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 >}|Vmy[/  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 #>[5NQ;$'  
LE>b_gQ$ 2  
?T\_"G  
=3R5m>6!/  
高级选项和信息 q#|,4( Z  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 go[(N6hN  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 n>##,o|Vr#  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 dxwH C\"5  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ??g`c=R!V  
 `GQ'yv  
N8K @ch3=P  
Im0#_ \  
结构分解 ^cz;UQX~}  
D$$,T.'u  
 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 !ZC0n`  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 O%R*1 P9  
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 |v?*}6:a  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 gZ&' J\  
tc4"huG  
xZpGSlA  
I6B4S"Q5<  
光栅级次通道选择 p#6V|5~8  
!5escR!\D  
 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 \8HLQly|@  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 /N?vVp  
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 S`v+rQjW  
I,0Z* rw  
tMQz'3,X  
{24Y1ohK  
光栅的角度响应 wg0hm#X  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 %J%ZoptY:  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 X1GpLy)p  
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 FY(C<fDRo{  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 F>!gwmn~  
H.R7,'9  
$,v[<T`  
M!nwcxB!  
例:谐振波导光栅的角响应 "2FI3M =  
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谐振波导光栅的角响应 eKj'[2G@/  
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