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infotek 2024-07-03 07:57

用于一般光学系统的光栅元件

摘要 %L- qAI&V  
TP {\V>*Yz  
光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 fX 1%I  
_b&26!gl  
W)bSLD   
4gC(zJ  
系统内光栅建模 gBh X=2%  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 No6-i{HZ  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 4)D~S4{E5  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 :%J;[bS+  
bAH<h   
Jh=.}FXnjL  
RHn3\N  
附着光栅堆栈 3{|~'5*  
y[85eM  
 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 qMVuFw Phi  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 EK=0oy[  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 `r-Jy{!y4  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 F7O*%y.';  
D C/X|f  
~mt{j7  
|[iO./ zP  
堆栈的方向 aY? VP?BL  
Miw=2F  
堆栈的方向可以用两种方式指定: NYP3u_ QX  
h M7 SGEV  
它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 4hxP`!<  
)'f=!'X  
请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 ejyx[CF  
Hy\q{  
"Hz%0zP&  
X41Qkf{  
基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 0(Y,Q(JTo&  
X$ \CC18  
 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 x3FB`3y~s  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 #z&R9$  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ~<<32t'S:  
$8U$.~v  
 w (RRu~J  
*5oQZ".vA*  
高级选项和信息 % vy,A*  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 >Tl/3{V  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 nTo?~=b  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 Z7pX%nj_  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 zF^H*H  
KG(FA  
BNjMq  
YHom9& A  
结构分解 tlD^"eq4:  
7K.],eo0  
 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 t^KQv~  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 FO[ s;dmzu  
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 oKGF'y?A>  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 @.a59kP8X  
*rw6?u9I  
8(Ptse  ,  
,7s+-sRG  
光栅级次通道选择 m?yztm~u  
r`sKe &  
 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 0iM'),v[]  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 _u6N aB  
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 =s*c(>  
{aV,h@>  
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w/ZP. B  
光栅的角度响应 :d35?[  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 eQ)*jeD  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 VhLfSN>W  
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 q%q+2P>  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ,.2qh|Ol  
P(I%9  
vs+aUT C\  
<>$CYTb  
例:谐振波导光栅的角响应 Z-4/xi7  
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A9]& w  
谐振波导光栅的角响应 <w*WL_P  
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