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2024-07-03 07:57 |
用于一般光学系统的光栅元件
摘要 g33Y$Xdk jl}!UG 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 }5 n\us 9{U@s
lK/4"& ^7ID |uMr 系统内光栅建模 >r
C*. 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 E+EcXf 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 Nt_sV7zzb 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 KPDJ$,: J"<
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k%u fgHl! w0@XJH:P 附着光栅堆栈 Xjxa
2D 9>0OpgvC( 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 wSCI? 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 `KLr!<i() 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 .b`8
+ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 (w2lVL& >);M\,1\I
8+7*> FD)1 g$mMH 堆栈的方向 7)1%Z{Dy BMQ4i&kF| 堆栈的方向可以用两种方式指定: )(yaX g~,iWoY 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 }@jJv|| Im-qGB0C 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 _a9oHg %"oGJp
-DJ,<f*$ %Qb}z@>fJk 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 <KtL,a=2+ 6<
-Cpc 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 %Jd!x{a`>A 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 w;(=wN\ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 c;]^aaQ+> b;*'j9ly
^V9|uHOJoq \(=xc2 高级选项和信息 |7n%8JsY!" 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 p:$v,3: 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 ge%QbU1J 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 -Vb5d!( 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 %jf|efxo W`oyDg,D
ToKG;Ff 4b D+
.vg?8 结构分解 +_vf=d C2zKt/)A 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 thX4-'i 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 3}3b@: < 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 FqGMHM\J 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 'r_Fi5[q _
M B/p
B]b/(Q+ qe?Ns+j<d 光栅级次通道选择 pmurG %[~g84@ 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 @}waZ?' 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 K5^zu`19 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ,JbP~2M~% snu?+*6
Wlq3r# MT)q?NcG 光栅的角度响应 lfd-!(tXD 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 c05-1 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ?UIW&*h} 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 jLO$[c`; 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 L:?Ew9Lf #j+cl'
]B~(yh -bSM]86 例:谐振波导光栅的角响应 y0?HZ Xq 5 b,|6
z%JN| 5 9AQ,@xP| 谐振波导光栅的角响应 Oi$1ma xT r4X\/
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