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infotek 2024-07-03 07:57

用于一般光学系统的光栅元件

摘要 TZ?va@2  
D8C@x`  
光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 n3jA[p:  
f-tjMa /_  
1E=%:?d  
=-1d m+P  
系统内光栅建模 TY5<hPU=  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 d&PXJ  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 W2qW`Ujo{  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ?&pjP,a  
KYu3dC'/,&  
I[WW1P5  
p4bQCI  
附着光栅堆栈 Q!z g=_z-  
a>(LFpVk}  
 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 +\?#8U/k  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 :|EM1-lwf  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 oslV@v F  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 \[% [`m  
-r_z,h|  
p&_Kb\} U  
3)Wi? -  
堆栈的方向 )PVX)2P_C  
+8 ]}'6m  
堆栈的方向可以用两种方式指定: o{(-jhR  
l5l:'EY>  
它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 (S&X??jfB5  
M%/ML=eLi  
请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 gmJiKuAL5  
/g< T)$2  
%AF~Ki  
_6;T /_R=  
基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 [mYmrLs6  
r2]:'O6  
 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 3&/5!zOg)  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 `[0.G0i  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 {()8 W r  
aF;Q SI  
{k-GWYFA  
#f5-f  
高级选项和信息 @f-0OX$*  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。   lCr  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 rgWGe6;!  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 (@vu/yN  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 _8)9I?jH  
^PMP2\JQA  
~ T|?!zML  
nsqc^ K^  
结构分解 (x2I*<7P  
l}&egq DC  
 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 \h~;n)FI  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Vf`n>  
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 f`*Ip?V-  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 m jC6(?V  
f>g>7OsD]  
>j{phZ  
~Y<x-)R  
光栅级次通道选择 U< |kA(5  
B8NOPbT  
 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 yk5-@qo  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 Xhe25  
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 H,9e<x#own  
7z9gsi  
+e. bO5Y  
IKb 7#Ut  
光栅的角度响应 -z)I;R  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 N93 ZI|T  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 3rhH0{  
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 uli,@5%\  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 i9[=x(-@  
|_{-hNiz0  
9]r6V   
eVL'Ao&Ho  
例:谐振波导光栅的角响应 a$.(Zl  
qP-*  
dWwh?{n  
UbE*x2N  
谐振波导光栅的角响应 dU+28  
X3 D(2W  
P(8zJk6h),  
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