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infotek 2024-06-27 07:57

锥形相位掩模的Talbot图像

摘要 u{h67N  
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在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 0kNKt(_  
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建模任务 j7QK8O$XL  
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structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 8|<</v8i  
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系统建模块 /H"fycZ  
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特定位置的Talbot图案 lS#: u-k  
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特定位置的Talbot图案 6wj o:I  
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不同位置的Talbot图案 a/J Mg   
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不同位置的Talbot图案 E:dN)  
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沿 Z 轴的强度 q g=`=]j  
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VirtualLab Fusion技术 i{TPf1OY`M  
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