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wpawj 2024-05-16 23:01

离子源前处理时间问题

请教一下,镀膜前的离子源前处理时间多长合适,有什么依据或者判定标准吗?
ouyuu 2024-05-17 08:57
和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 zO.6WJ  
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) ;'1Apy  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 #5{sglC"|F  
所以也和你清洗效果,清洗方式,镀膜温度,镀膜材料有关。 2ksA.,UB^9  
zhangsui666 2024-05-17 17:48
一般来说轰击15分钟左右就够,但是还是在进炉前清洗工作一定要仔细,离子源主要为了辅助沉积。
renlgj 2024-07-21 17:12
学习一下,新手中
renlgj 2024-07-27 15:36
学习了,谢谢各位大神
gaofei555 2024-07-30 08:38
ouyuu:和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 gix>DHq$k  
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) `skH-lk,  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 PL!tk^;6-  
所以也和你清洗效果,清洗 .. (2024-05-17 08:57)  /J.0s0 @  
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学习了
cwl563590 2024-12-08 20:27
ouyuu:和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 z 3Zu C{  
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) Y'?Izn b  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 [KD}U-(Wg  
所以也和你清洗效果,清洗 .. (2024-05-17 08:57)  D8a)(wm  
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学习了。感谢版主分享。
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