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wpawj 2024-05-16 23:01

离子源前处理时间问题

请教一下,镀膜前的离子源前处理时间多长合适,有什么依据或者判定标准吗?
ouyuu 2024-05-17 08:57
和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 @d5$OpL$%  
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) /Xq|S O  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 3:O|p[2)L  
所以也和你清洗效果,清洗方式,镀膜温度,镀膜材料有关。 25f[s.pv8  
zhangsui666 2024-05-17 17:48
一般来说轰击15分钟左右就够,但是还是在进炉前清洗工作一定要仔细,离子源主要为了辅助沉积。
renlgj 2024-07-21 17:12
学习一下,新手中
renlgj 2024-07-27 15:36
学习了,谢谢各位大神
gaofei555 2024-07-30 08:38
ouyuu:和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 |QF_E4ISD  
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) B|V!=r1%  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 PjX V.gz  
所以也和你清洗效果,清洗 .. (2024-05-17 08:57)  jz HWs  
3=o4ncg(  
学习了
cwl563590 2024-12-08 20:27
ouyuu:和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 >q&5Z   
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) 2}XRqa.|  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 j1qU 4#Y  
所以也和你清洗效果,清洗 .. (2024-05-17 08:57)  }aVzr}!  
S[q:b .  
学习了。感谢版主分享。
kizu123 2025-12-03 15:13
感谢版主分享
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