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wpawj 2024-05-16 23:01

离子源前处理时间问题

请教一下,镀膜前的离子源前处理时间多长合适,有什么依据或者判定标准吗?
ouyuu 2024-05-17 08:57
和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 `I m;@_J  
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) - *yj[?6  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 cs@5K$v  
所以也和你清洗效果,清洗方式,镀膜温度,镀膜材料有关。 3_Oq4/  
zhangsui666 2024-05-17 17:48
一般来说轰击15分钟左右就够,但是还是在进炉前清洗工作一定要仔细,离子源主要为了辅助沉积。
renlgj 2024-07-21 17:12
学习一下,新手中
renlgj 2024-07-27 15:36
学习了,谢谢各位大神
gaofei555 2024-07-30 08:38
ouyuu:和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 :*oI"U*f  
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) J'7){C"G$  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 WV&BZ:H  
所以也和你清洗效果,清洗 .. (2024-05-17 08:57)  h.7 1O"N  
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学习了
cwl563590 2024-12-08 20:27
ouyuu:和离子源能量强度有关,哪怕同一个离子源,新栅网和旧栅网的能量差距也有50%以上。前处理的目的主要是 "jpjBH:c$  
1,用氧离子氧化表面的脏污(脏污的主要成分是碳、氮、氢、氧,氧化后都变成气体挥发了) k(7! W  
2,用重离子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的结合力。 JTb<uC  
所以也和你清洗效果,清洗 .. (2024-05-17 08:57)  7"QcvV@p  
w?5b:W,  
学习了。感谢版主分享。
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