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2024-05-15 07:56 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 2 {xf{)hO?
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 U?xa^QVhj
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设计任务 <xly k/
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结果-容差分析 6(/*E=bOKV
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VirtualLab Fusion一瞥 .1:B\ R((
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VirtualLab Fusion中的工作流程 1nR\ m+{
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构建光栅结构 Ae*
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−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] "I
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−倾斜光栅高级设定[用例] PU-L,]K
•光栅衍射效率分析 s]pNT1,
−光栅阶序分析器[用例] [JEf P/n|.
•使用参数优化进行光栅参数优化 m>f8RBp]'
•使用参数运行的容差分析 t]hfq~Ft
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VirtualLab Fusion技术 1cS *T>`
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