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2024-05-15 07:56 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 StE4n0V ,}bC 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 z E{.oi H|Eu,eq-E [attachment=128578] F3?v& :Y"f.> 设计任务 K@hv[4 ]3%Z [attachment=128579] z\v\T|C k38Ds_sW6d 1级参数优化 X)Kd'6zg >%xJ e' [attachment=128580] RS$e^_ W sLCL\dWT 结果-容差分析 F3+)bIz w+Ag!O}.L [attachment=128581] z}Xn>-N- Rj-<tR{ 结果-容差分析 =3sBWDB[ IF uz' [attachment=128582] ,Xao{o( Y6V56pOS VirtualLab Fusion一瞥 TfMuQ i'> .F9>|Xx[ [attachment=128583] :H6Ipa afH`<! VirtualLab Fusion中的工作流程 `_<K#AG Ai !J.qH%S5 构建光栅结构 .0nL;o −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Cdc6<8 −倾斜光栅高级设定[用例] 0F)Y[{h< •光栅衍射效率分析 'Exj|Y& −光栅阶序分析器[用例] w$pBACX •使用参数优化进行光栅参数优化 5PG%)xff* •使用参数运行的容差分析 T0v;8Ee /9;)zI [attachment=128584] m>~%.
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