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2024-05-15 07:56 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 G#w^:UL %o@['9U[j 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 a|QE *s. xHJ8?bD p [attachment=128578] ZU|6jI} _ktK+8*6` 设计任务 Dxt),4%P ;8*XOC;[ [attachment=128579] Jcz]J)|5v
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