首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2024-05-14 07:57
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
&><b/,]
Rm$( X5x>o
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
*(]ZdB_2
xkSVD6Km
i=P}i8,^=
3tkCmB
建模任务
fWs*u[S
6^BT32,'
$cm9xW&
概述
\ Gi oSg
mC(YO y
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
2!b##`UjA7
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
H}CmSo8&
-2 8bJ,
;/+U.I%z
:LdPqFXj
光线追迹仿真
"*MF=VB1
Xi\c>eALO
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
WoNY8 8hT
•单击go!
pDvznpQ
•获得了3D光线追迹结果。
Ra H1aS(
0plX"NU
;mwnAO
wg\p&avvb
光线追迹仿真
L$kB(Brw
tp&|*M3
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
)%n$_N n
•单击go!
?`O^;f
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
r}D#(G$
u-mD"
(-&d0a9N
K1]3zLnS
场追迹仿真
3hUP>F8
6f ?,v5
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
;_E|I=%'E
•单击go!
WBm)Q#1:
~oT*@
2' ^7G@%
0'YP9-C3
场追迹仿真(相机探测器)
wEJzLFCn
n&?)gKL0g
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
K4YD}[
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
Ek6g?rj_
o; U!{G(X
g-"G Zi
uLPBl~Y
场追迹仿真(电磁场探测器)
_nxH;Za
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
h8(>$A-
#(i pF
(K84J*;
;B[(~LCyT
场追迹仿真(电磁场探测器)
Z*UVbyC
, c{ckm
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
kV4Oq.E
'=#fELMW
IOdxMzF`m
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计