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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 8,&pX ga  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 |IZFWZd  
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建模任务 w=x [=O  
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概述 Eemk2>iP?  
1z-Q~m@@  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 D8=a+!l-  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dk.VH!uVb  
qM9> x:V  
n_ S)9C'=  
3h4'DQ.g  
光线追迹仿真 %&&;06GU}  
psM&r  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7NP Ny  
•单击go! $@eFSA5k,7  
•获得了3D光线追迹结果。 9._Osbp3P  
Nrfj[I  
]GmXZi  
QvDD   
光线追迹仿真 +7$zL;ph=n  
#RTiWD[o  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *6QmYq6c<  
•单击go! Qe4"a*l-r  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 I7HP~v~  
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A>Xt 5vk+  
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场追迹仿真 C^9bur/  
4qg] oiT  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ]7 2wv#-  
•单击go! )kt,E}609  
O_|p{65  
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场追迹仿真(相机探测器) >@i {8AD  
#]e](j>]  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 J/ZC<dkYQ  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 hG qZB  
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Nh+ZSV4WJ:  
场追迹仿真(电磁场探测器) YY9Ub  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q2RO&dL 9  
JTfG^Nv>K  
6^v HFJ$  
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场追迹仿真(电磁场探测器) )+v' @]r  
@ Yzc?+x  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \ 0aa0=  
h$I 2T  
;(~H(]D  
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