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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 @Zhd/=2[  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 GE] QRKf  
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建模任务 % mPv1$FH  
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概述 ?vWF[ DRd'  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 UT{`'#iT  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;=P!fvHk  
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光线追迹仿真 ,V5fvHPH)8  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <M5fk?n,|  
•单击go! ,qB@agjvo<  
•获得了3D光线追迹结果。 |DsT $ ~D  
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Vy/G-IASb  
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光线追迹仿真 yfqe6-8U  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 WCqa[=v)t  
•单击go! 7;.Iat9gMf  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 T_wh)B4xW  
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场追迹仿真 inq {" 6  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 `{IL.9M!f  
•单击go! S&l [z,  
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场追迹仿真(相机探测器) w4Hq|N1-Y  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 L|b[6[XTHL  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 eMn'z]M&]  
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场追迹仿真(电磁场探测器) N<KsQsy=  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NTCFmdbs 6  
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B=r+ m;(  
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场追迹仿真(电磁场探测器) o7PS1qcya<  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y>8JHoV  
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