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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 O12eH  
=B. F;4 0  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 vv26I  
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建模任务 a&vY!vx 3  
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概述 nS>8bub30  
_V`DWR *  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (5\N B0  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Z0l+1iMx  
37}D9:#5C  
p,"g+ MwP  
4j)tfhwd8  
光线追迹仿真 ToYAW,U[d  
1^gl}^|B  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Bj7gQ%>H4  
•单击go! %D *OO{  
•获得了3D光线追迹结果。 (W}bG>!#Q8  
$ MC)}l  
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'(/7[tJ  
光线追迹仿真  O#I1V K  
z?35=%~w   
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6uR^%W8]  
•单击go! +@r*}  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ({o'd=nO  
S{3nM<  
)m. 4i=X  
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场追迹仿真 =JmT:enV  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /t(C>$ }p  
•单击go! RD.V'`n"  
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场追迹仿真(相机探测器) 71l%MH  
Ps<d('=  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 k!{p7*0  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 GAAm0;  
Si~vDQ7"  
QPq7R  
AoyX\iqQ  
场追迹仿真(电磁场探测器) $cZUM}@  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Lco& Fp  
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2@ Z(P.Gh  
e>AE8T  
场追迹仿真(电磁场探测器) Sf r&p>{,  
?^N3&ukkyo  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3g6j?yYqb  
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