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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 eOt T*  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 :=+s^K  
f\!*%xS;  
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建模任务 NDm@\<MIzB  
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{6!Mf+Xq  
概述 HWxk>F0  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `zAV#   
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 i DO`N!  
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Ash"D~  
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光线追迹仿真 mHE4Es0  
J*F-tRuEw  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m0t 5oO  
•单击go! #m1e_[   
•获得了3D光线追迹结果。 j01.`G7Q  
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S3PW[R@=  
l7Y^C1hM  
光线追迹仿真 j0L9Q|s  
.J#xlOa-  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 WZ&/l 65J  
•单击go! NDglse  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ={ c=8G8T  
M. 1R]x( |  
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B< P H7  
场追迹仿真 2/RK pl &  
.Ej `!  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,G S8Gu  
•单击go! \K9XG/XIx  
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场追迹仿真(相机探测器) e2*0NT^R  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 )I9AF,K  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 UTc$zc7  
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场追迹仿真(电磁场探测器) k{Vc5F  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d{0b*l%  
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EShc1KPqc  
,WR$xi.j  
场追迹仿真(电磁场探测器) HWT0oh]  
aDb@u3X@  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y}7'OM  
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