首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 /C6k+0ApMT  
VSSu &Q  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 6*3.SGUY  
W' s  
i{`;R  
x= 5N3[5  
建模任务 D8xmE2%  
lGOgN!?i  
7D;cw\ |  
概述 4B^ZnFJ%m  
WUh$^5W  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {$wjO7Glp  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Ipf =ZD  
&MCbYph,  
{62n7'U{  
yp({>{u7  
光线追迹仿真 f>N!wgo[  
#N`~xZ|$  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6,0_)O}\b  
•单击go! L{8xlx`  
•获得了3D光线追迹结果。 HlH64w2^R  
yc?a=6q'm  
.n~M(59  
=fO5cA6Z  
光线追迹仿真 Yo|,]X>/  
mD^ jd+  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }n4V|f-  
•单击go! lx[oaCr  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 `|ASx8_!  
T>NDSami  
/K. !sQ$  
uA#P'?  
场追迹仿真 5) pj]S!]-  
]3X@_NYj  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2fWTY0  
•单击go! .~l=zu  
1f":HnLRM  
x3o ]U)^  
' <@3i[M  
场追迹仿真(相机探测器) 7G/1VeVjB  
$3s@}vLd  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 d'G0m9u2  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 \uaJ @{Vug  
CnG+Mc^  
.P7"e5g e  
x7eQ2h6O  
场追迹仿真(电磁场探测器) {M^3m5.^  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5Hw~2 ?a,  
LC'{p  
G}ob<`o|"  
+O*/"]h  
场追迹仿真(电磁场探测器) `s8{C b=}1  
,#L=v]  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Yd#/1!A7u  
=9fajRFTt  
WZ*ws[dVI  
查看本帖完整版本: [-- 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2024 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计