首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2024-05-14 07:57
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
8,&pX ga
xX~; /e&,
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
|IZFWZd
{s3 j}&
\~#$o34V
0czEA
建模任务
w=x [=O
{SwvUWOf"
OE(!^"5?[
概述
Eemk2>iP?
1z-Q~m@@
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
D8=a +!l-
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
dk.VH!uVb
qM9> x:V
n_S)9C'=
3h4'DQ.g
光线追迹仿真
%&&;06GU}
psM&r
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
7NP Ny
•单击go!
$@eFSA5k,7
•获得了3D光线追迹结果。
9._Osbp3P
Nrfj[I
]GmXZi
QvDD
光线追迹仿真
+7$zL;ph=n
#RTiWD[o
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
*6QmYq6c<
•单击go!
Qe4"a*l-r
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
I7HP~v~
;2Za]%'
A>Xt 5vk+
|YK4V(5x
场追迹仿真
C^9bur/
4qg] oiT
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
]7 2wv#-
•单击go!
)kt,E}609
O_|p{65
}NF7"tOL
{PQ!o^7y
场追迹仿真(相机探测器)
>@i{8AD
#]e](j>]
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
J/ZC<dkYQ
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
hG qZB
>o8N@`@VK-
lPOcX'3\
Nh+ZSV4WJ:
场追迹仿真(电磁场探测器)
YY9Ub
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
Q2RO&dL 9
JTfG^Nv>K
6^vHFJ$
> @n?W"
场追迹仿真(电磁场探测器)
)+v'@]r
@Yzc?+x
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
\ 0aa0=
h$I 2T
;(~H(]D
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计