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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 G*N[tw  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 &NBH'Rt  
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建模任务 I #1~CbR  
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概述 .1[.f}g$J  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %FYhq:j  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 g}0K@z3  
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光线追迹仿真 -Rw3[4>@O"  
06]3+s{{  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $L= Dky7  
•单击go! _+B y=B.'  
•获得了3D光线追迹结果。 Ts !g=F  
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] x)>q  
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光线追迹仿真 xJ$uoy3+  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 'l^Bb#)"  
•单击go! ;=,-C ;`  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 :o!Kz`J  
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场追迹仿真 IRQtA ZV$  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )<V!lsUx'-  
•单击go! } 9\_s*  
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场追迹仿真(相机探测器) 90}vFoy  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :o^ioX.J  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 /FN:yCf  
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场追迹仿真(电磁场探测器) Fl.?*KBz  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 - 2L(])t6  
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场追迹仿真(电磁场探测器) Q$U.vF7BnP  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #|E#Rkw!  
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