首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 W$MEbf%1  
7@y!R   
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 pffw5Tc  
>yT@?!/Q>'  
;pNbKf:  
K^qUlyv  
建模任务 "1`i]Y\'  
soVZz3F  
i e)1h  
概述 gK#fuQ$hH  
I^\bS  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 O7'^*"S  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 gJFpEA {  
l0_E9qh-i  
NF)\">Ye  
'S D|ObBY  
光线追迹仿真 A&lgiR*ObT  
-"dy z(  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RdVis|7o  
•单击go! "T1#*"{j  
•获得了3D光线追迹结果。 TYS\:ZdXF  
dpn&)?f  
`"=L  
(xSi6EZ6;  
光线追迹仿真 *rFbehfH  
rMg{j gD  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |e; z"-3  
•单击go! @NwM+^  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 2l/5i]Tq  
d!z).G  
j nA_!;b  
(Rg!km%2T  
场追迹仿真 {2*l :'  
I 3,e)Z  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )qP{X,Uf  
•单击go! 83,1d*`  
XoQk'7"f  
v4a4*rBI"  
U <$xp  
场追迹仿真(相机探测器) `k%#0E*H  
Qufv@.'AY  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /z?7ic0  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 KPe.AK,8  
BRzWZq%r3  
[T#a1!  
0uJzff!|  
场追迹仿真(电磁场探测器) ${6'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yy.:0:ema  
+rpd0s49  
_@;3$eB  
Xg3[v3m|  
场追迹仿真(电磁场探测器) &vvx"  
8 ]MzOGB8  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z'D{:q  
Ty:Ir  
^(JbJ@m/  
查看本帖完整版本: [-- 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计