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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 bC{8yV=)  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 T!a[@,)_  
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建模任务 T_Y}1n|7[  
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概述 ,AM-cwwT:u  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ;LE @Ezx  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -JENY|6  
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光线追迹仿真 Z5[:Zf?h7J  
[;AcV73  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 [ d7]&i}*|  
•单击go! 6w;|-/:`  
•获得了3D光线追迹结果。 9`{2h$U  
*^Y0}?]qT  
QZox3LM1&.  
*KH@u  
光线追迹仿真 'e64%t  
T6roz  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :Qo  
•单击go! Y`?X Fy:  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 p'k+0=  
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场追迹仿真 MwqT`;lb  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3og$'#6P  
•单击go! ( v:ek_  
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场追迹仿真(相机探测器) Pm(:M:a  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "nno)~)u  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 yWi0 tE{  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 2\B9o `Y  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >TnQ4^;v.  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 9XqAjez\  
65#:2,s  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Wo+CQH6(  
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