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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 YPy))>Q>cK  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 mfN@tMp  
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建模任务 ` j<tI6[e  
S+y2eP G  
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概述 GKtQ>39B  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ibc/x v2  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `~]ReJ!X%  
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光线追迹仿真 a !K;8#xc  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7&)F;;H  
•单击go! JrAc]=  
•获得了3D光线追迹结果。 dZgfls  
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光线追迹仿真 k>CtWV5B  
m^.C(}  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /,UkT*+>!  
•单击go! \^4$}@*]  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 2AW{qwk7  
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场追迹仿真 BD-=y  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |=T<WU1$  
•单击go! [1^wy#  
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场追迹仿真(相机探测器) [Mc5N  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vqi$}=%n?W  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 9nS!  
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场追迹仿真(电磁场探测器) Wb )l8[=  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i(iP}: 3  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 8I0T u  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !gfhEz Y  
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