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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 Q@cYHFi~+  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 zz-X5PFn  
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建模任务 :<xf'.  
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概述 X^d}eWP`I  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S vW{1  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 PH=O>a`a_O  
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光线追迹仿真 F& ['w-n%  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Q57Z~EsF  
•单击go! 9zaSA,}  
•获得了3D光线追迹结果。 6bBNC2K$-  
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j +Ro?  
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光线追迹仿真 AnQUdU  
l/56;f\IA  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6tup^Rlo;$  
•单击go! 2z9N/SyN  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 +e&Q<q!,q  
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场追迹仿真 *%2,= p  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _sF Ad`  
•单击go! ?1Uq ud  
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场追迹仿真(相机探测器) 8lF:70wia  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 MG74,D.f  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 [<VyH.  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ~uEI}z  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ikgia:/-Z  
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'BNZUuUl  
场追迹仿真(电磁场探测器) UsdUMt!u  
&p.7SPQ8/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qj,^"rp1:  
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