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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 z9"U!A4  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 kf9X$d6   
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建模任务 MOC/KNb  
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概述 3XKf!P  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <naz+QK'  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8EY:t zw  
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光线追迹仿真 2zpr~cB=  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :KO2| v\  
•单击go! *ui</+  
•获得了3D光线追迹结果。 d5d@k  
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=M-p/uB]  
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光线追迹仿真 `mqMLo *  
kVL.PY\K  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ca\6vR  
•单击go! V.Mry`9-  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 %)n=x ne  
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场追迹仿真 2pAW9R#UV-  
W!<U85-#S  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 PW4q~rc=:  
•单击go! 28nFRr  
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F!do~Z  
场追迹仿真(相机探测器) 4\i[m:e=@  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 = / 8cp  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 E.f%H(b  
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场追迹仿真(电磁场探测器) (w{j6).3Dj  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YK\X+"lB  
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W%J\qA  
场追迹仿真(电磁场探测器) ;=N# `l  
q*KAk{kR(v  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9VT;ep  
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