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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 u Vo"_c w  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 4K|O?MUNS  
A~< cp)E  
^W~8)Rbf  
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建模任务 F;T;'!mb  
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概述  *qFl&*h}  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 O.{  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 eWr6@  
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8= g~+<A  
光线追迹仿真   Xi w  
4P#4R B  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 KWM}VZY:Z  
•单击go! ~6+>2|wIS  
•获得了3D光线追迹结果。 {4)d  
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光线追迹仿真 [I7=]X  
. "7-f]!  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Oc5f8uv  
•单击go! B[t>T>~  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 d ]jF0Wx*  
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场追迹仿真 N1" bH~  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 'lOQb)  
•单击go! =)a %,H  
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场追迹仿真(相机探测器) 9WV8ZP  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5Fbb5`(  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ZvK.X*~s  
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场追迹仿真(电磁场探测器) yw1Xxwc  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 12: Q`   
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A$L:,b(  
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场追迹仿真(电磁场探测器) K??jV&Xor  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Yu9VtC1  
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