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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 cq4~(PXT g  
SO$Af!S:bB  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ?*fY$93O  
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建模任务 6:ettdj  
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概述 ^+_rv  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r)*23&Ojs  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ("9bV8:@B  
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光线追迹仿真 D.K""*ula  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MCKN.f%lP  
•单击go! 7n7Xyb  
•获得了3D光线追迹结果。 -s3`mc}*  
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光线追迹仿真 4q}+8F`0F  
6"Uu;Q  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tT}b_r7h(1  
•单击go! S,m(  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 I/O3OD  
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Q{l,4P  
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场追迹仿真 D:z'`v0j  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 fiGTI}=P  
•单击go! }"D;?$R!  
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场追迹仿真(相机探测器) ingG  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $}9jv3>)  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Aa ~W,  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ,aP6ct  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1 G>Ud6(3<  
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2"IV  
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场追迹仿真(电磁场探测器) `3;EJDEdbi  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }y(t')=9  
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