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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 =k\Qx),Ir  
2OZ<t@\OY  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Vu5Djx'  
1TlMB  
XE($t2x,M  
0WQd#l  
建模任务 S5/p3;O\c  
MHQM'  
KmpKyc[  
概述 3DOc,}nI~@  
* 3#RS  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 uFnq3m^u  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _jM+;=f  
-7u_\XFk  
Rc(E';uc  
lXip%6c7  
光线追迹仿真 ~tZy-1  
k2:mIp\  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 D!rD-e  
•单击go! 1 &-%<o  
•获得了3D光线追迹结果。 ;7U"wI_~c  
cpu|tK.t  
,% *Jm  
(V<pz2\  
光线追迹仿真 Yv"-_  
K`8$+JDP+  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 KvmXRf*z  
•单击go! o+g\\5s  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ~F13}is  
$D;-;5[-/r  
nVoP:FHH  
jwO7r0?\`G  
场追迹仿真 Lm7fz9F%  
M9QxF  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,+!|~1  
•单击go! 'tY y_  
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场追迹仿真(相机探测器) ;"]?&ri  
V`xE&BI  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9 =D13s(C  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 "#]V^Rzxh  
pykRi#[UrX  
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XL`i9kV?  
场追迹仿真(电磁场探测器) $!K,5^+  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xPMX\aI|l  
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#Ti5G"C  
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场追迹仿真(电磁场探测器) v<E_n;@9k  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5](,N^u{):  
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v2}>/b)  
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