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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 &><b/,]  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 *(]ZdB_2  
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建模任务  fWs*u[S  
6^BT32,'  
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概述 \GioSg  
mC(YO y  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2!b##`UjA7  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 H}CmSo8&  
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光线追迹仿真 "*MF=VB1  
Xi\c>eALO  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 WoNY8 8hT  
•单击go! pDvznpQ  
•获得了3D光线追迹结果。 Ra H1aS(  
0plX"NU  
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wg\ p&avvb  
光线追迹仿真 L$kB(Brw  
tp&|*M3  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )%n $_N n  
•单击go! ?`O^;f  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 r}D#(G$  
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K1]3zLnS  
场追迹仿真 3hUP>F8  
6f ?,v5  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;_E|I=%'E  
•单击go! WBm)Q#1:  
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场追迹仿真(相机探测器) wEJzLFCn  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K4YD}[  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Ek6 g?rj_  
o; U!{G(X  
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uLPBl~Y  
场追迹仿真(电磁场探测器) _nxH;Za  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h8(>$A-  
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(K84J*;  
;B[(~LCyT  
场追迹仿真(电磁场探测器) Z*UVbyC  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kV4Oq.E  
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