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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 H -t" Z}
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 *&tv(+P
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建模任务 Vu;z|L
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仿真干涉条纹 }TRVCF1
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走进VirtualLab Fusion /- &2>4I
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ZG8Xr "
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•设置输入场 /7igPNhx
−基本光源模型[教程视频] Ir6g"kwCKq
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Xd5uF/w
•定义元件的位置和方向 C=&;4In
− LPD II：位置和方向[教程视频] Vr hd \
•正确设置通道以进行非序列追迹 H0-v^H>^
−非序列追迹的通道设置[用例] U:uF rb,
•使用参数运行检查影响/变化 Lc_cB`
−参数运行文档的使用[用例] 6xoCB/]
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VirtualLab Fusion技术 t4<+]]
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