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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 !W ~QT}
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 UoHd -
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建模任务 _W}(!TKO
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仿真干涉条纹 "oe!M'aj`1
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VirtualLab Fusion中的工作流程 I>aGp|4
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•设置输入场 or!!s
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−基本光源模型[教程视频] rI>LjHP
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ke\[wa_!6b
•定义元件的位置和方向 7E\g
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− LPD II：位置和方向[教程视频] 4gb'7'
•正确设置通道以进行非序列追迹 AuXs B
−非序列追迹的通道设置[用例] (0R2T"/
•使用参数运行检查影响/变化 +(&| u q^
−参数运行文档的使用[用例] l|q%% W0
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VirtualLab Fusion技术 ?A&%Cwj
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