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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 {:b N/zV#
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ]]2k}A[-I
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建模任务 +Rwx% =
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仿真干涉条纹 E7nFb:zlV
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走进VirtualLab Fusion aC!EWgwW[
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VirtualLab Fusion中的工作流程 NmpnJu|8
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•设置输入场 z wk.bf>m
−基本光源模型[教程视频] =:=/Gz1
•使用导入的数据自定义表面轮廓 IRW^ok.'b!
•定义元件的位置和方向 n?xTkkr0
− LPD II：位置和方向[教程视频] n lGHT
•正确设置通道以进行非序列追迹 eGL<vX
−非序列追迹的通道设置[用例] Udgqkl
•使用参数运行检查影响/变化 2S ~R !
−参数运行文档的使用[用例] 7 K;!iX<d
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VirtualLab Fusion技术 S,jZ3^
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