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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 $6IJ P\
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 N;%6:I./
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建模任务 8 z\ xrY
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仿真干涉条纹 F!K>K z
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走进VirtualLab Fusion U6s[`H3I{
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VirtualLab Fusion中的工作流程 LDa1X2N
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•设置输入场 _)-o1`*-
−基本光源模型[教程视频] <~= Vg
•使用导入的数据自定义表面轮廓 q@2siI~W
•定义元件的位置和方向 EoDA]6?Lj
− LPD II：位置和方向[教程视频] 8q7b_Pq1U
•正确设置通道以进行非序列追迹 lu/
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−非序列追迹的通道设置[用例] &%Tj/ Qx
•使用参数运行检查影响/变化 yS I !d|_
−参数运行文档的使用[用例] 7 X 4LJf
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VirtualLab Fusion技术 &cTU
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