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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 K-Y;[+#g1o
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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建模任务 j/ow8Jmc*
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仿真干涉条纹 sWa`-gc
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走进VirtualLab Fusion 7vF+Di(B
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VirtualLab Fusion中的工作流程 4l_!OUvt
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•设置输入场 DQui7dr)l
−基本光源模型[教程视频] CD]"Q1
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 )O;6S$z9Y
•定义元件的位置和方向 Wl\.*^`k
− LPD II：位置和方向[教程视频] mu@He&w"
•正确设置通道以进行非序列追迹 {(Jbgsxm
−非序列追迹的通道设置[用例] 1Tm,#o
•使用参数运行检查影响/变化 FN0)DN2d}
−参数运行文档的使用[用例] # 3UrGom
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VirtualLab Fusion技术 (#KSwWo{ed
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