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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 %z=:P{0UQ
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 t+_\^Oa)
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建模任务 Bal e_s^
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仿真干涉条纹 C+g}+
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走进VirtualLab Fusion T*%rhnTv0
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VirtualLab Fusion中的工作流程 dNhb vzl(
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•设置输入场 1YQYZ^11
−基本光源模型[教程视频] Z,O* p,Gzn
•使用导入的数据自定义表面轮廓 T0Xm }i
•定义元件的位置和方向 rZ|p{ym
− LPD II：位置和方向[教程视频] (qvH=VT wP
•正确设置通道以进行非序列追迹 (xHu@l!]
−非序列追迹的通道设置[用例] @ &Z^WN,x
•使用参数运行检查影响/变化 -g m5E qi
−参数运行文档的使用[用例] c?e-2Dp(
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VirtualLab Fusion技术 "w%:5~u 9
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