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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
[attachment=128447] ~:_10g]r 内容简介 E J6|y' Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 L!ms{0rJ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 i#4E*B_- 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 v Oo^H wn<k"6x
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 =PjdL32 目录 K3rsew
n Preface 1 z! k 内容简介 2 pg<cvok 目录 i 6Ol)SQE, 1 引言 1 ?$/W3Xn0% 2 光学薄膜基础 2 oVfRp.a 2.1 一般规则 2 O4a~(*f 2.2 正交入射规则 3 4QNwu7TeR 2.3 斜入射规则 6 d,j)JnY3V 2.4 精确计算 7 nnd-d+$ 2.5 相干性 8 Ipow
Jw^ 2.6 参考文献 10 ah!RQ2hDrV 3 Essential Macleod的快速预览 10 HXqG;Fds( 4 Essential Macleod的特点 32 Q b5vyV ` 4.1 容量和局限性 33 H}1XK|K3#H 4.2 程序在哪里? 33 f~p[izt 4.3 数据文件 35 x.(Sv]+[ 4.4 设计规则 35 cI<T/~P 4.5 材料数据库和资料库 37 i^}DIx{ 4.5.1材料损失 38 0{Zwg0& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 s=#[>^? 4.5.2 材料库 41 86Xf6Ea 4.5.3导出材料数据 43 uH)v\Js 4.6 常用单位 43 R}OjSiS\ 4.7 插值和外推法 46 dW|S\S'& 4.8 材料数据的平滑 50 >-CNHb 4.9 更多光学常数模型 54 eGbjk~,f' 4.10 文档的一般编辑规则 55 DpL|aRdbK 4.11 撤销和重做 56 U,~Z 2L 4.12 设计文档 57 emS7q|^ 4.10.1 公式 58 >>h0(G| 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 j5 W)9HW: 4.10.3 沉积密度 59 G`u";w_ 4.10.4 平行和楔形介质 60 nN[QUg 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ~ \7peH% 4.10.4 性能 61 'd< 1;Ayw 4.10.5 保存设计和性能 64 Gii1|pLZ1 4.10.6 默认设计 64 2wYY0=k2 4.11 图表 64 FWpb5jc)3 4.11.1 合并曲线图 67 \ 3l3,VYH 4.11.2 自适应绘制 68 ;J?zD9 4.11.3 动态绘图 68 ItQ3|-^ 4.11.4 3D绘图 69 {,o =K4CD 4.12 导入和导出 73 gG,gL9o 4.12.1 剪贴板 73 m' L8z
fX 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >xm:?W R
4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =>)4>WT8A 4.13 背景 77 <cR]-Yr~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 zCpXF<_C 4.15 生成Rugate 84 ?Ns aZ 4.16 参考文献 91 CDRz3Hu U 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +{{'3=x9 5.1 Jobs 92 9$N~OZ;-*x 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ]}N&I_mU 5.3 输入材料 94 xz vbjS W 5.4 设计数据文件夹 95 tc)4$"9) 5.5 默认设计 95 `bRt_XGPmF 6 细化和合成 97 #,\qjY 6.1 优化介绍 97 gn4Sz") 6.2 细化 (Refinement) 98 J[4IO 6.3 合成 (Synthesis) 100 ;rJ/Diz!g 6.4 目标和评价函数 101 mMtX: 6.4.1 目标输入 102 lEiOE] 6.4.2 目标 103 Hd0?}w\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 N:7;c}~ 6.5 层锁定和连接 104 =%G<S'2' 6.6 细化技术 104 ^)[jBUT 6.6.1 单纯形 105 P{h$> 6c 6.6.1.1 单纯形参数 106 c=\H&x3X 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 JnZlz?}^ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ugMfpT) 6.6.3 模拟退火算法 109 c27\S?\
Jd 6.6.3.1 模拟退火参数 109 s*.&DN 6.6.4 共轭梯度 111 Qo \;) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 FaE,rzn)iD 6.6.5 拟牛顿法 112 :=^_N} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9..! g: 6.6.6 针合成 113 Oxhc!9F 6.6.6.1 针合成参数 114 94xRKQ} 6.6.7 差分进化 114 aMycvYzH 6.6.8非局部细化 115 #[aHKq:?b 6.6.8.1非局部细化参数 115 >ay%
!X@3" 6.7 我应该使用哪种技术? 116 !Won<:.[0 6.7.1 细化 116 0 P-eC|0 6.7.2 合成 117 ]W>kbHImz 6.8 参考文献 117 ]2o? Gnn@ 7 导纳图及其他工具 118 I~P]_DmM 7.1 简介 118 SLMnEtyTS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 eZ[O:W vk: 7.2.1 四分之一波长规则 119 sT|FgB 7.2.2 导纳图 120 ` p)$7! 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 OKp0@A)8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 is [p7- 7.5 斜入射导纳图 141 MZInS:Vj 7.6 对称周期 141 q_|YLs` 7.7 参考文献 142 i*g>j <` 8 典型的镀膜实例 143 idh5neyL 8.1 单层抗反射薄膜 145 )kiC/Y}k 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 mU3 @|a/@0 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 y&$v@]t1 8.4 W-膜层 148 8KrqJN0\ 8.5 V-膜层 149 S;]][h= 8.6 V-膜层高折射基底 150 QCvz| ) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 F7~T=X)1 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 1:r 8p6 8.9 四层抗反射薄膜 153 y.'5*08S0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 x^ruPiH 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 .W)%*~ O!; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ic_q<Y} 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 gnPu{-Ec* 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 :yTpjC-S] 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ggn:DE" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 bW9a_m yE 8.17 1/4波长堆栈 162 5D#Mhgun 8.18 陷波滤波器 163 c8cPGm#i 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 3"ii_#1 8.20 褶皱 165 b^~"4 fU 8.21 消偏振分光器1 169 SZ[,(h 8.22 消偏振分光器2 171 lQSKY}h 8.23 消偏振立体分光器 172 93aRWEu3 8.24 消偏振截止滤光片 173 3RyB 0
n 8.25 立体偏振分束器1 174 U94Tp A6 8.26 立方偏振分束器2 177 A=S_5y 8.27 相位延迟器 178 7"c^$fj 8.28 红外截止器 179 wNX2* 8.29 21层长波带通滤波器 180 bm+
#OI 8.30 49层长波带通滤波器 181 KkJK5dZo 8.31 55层短波带通滤波器 182 ^mA ^7jB 8.32 47 红外截止器 183 gISG<!+X^ 8.33 宽带通滤波器 184 +hJ@w-u,G 8.34 诱导透射滤波器 186 iVg3=R)[1 8.35 诱导透射滤波器2 188 XAb!hc
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 g]hTz)8fF 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 )ZcwG(o0 8.35 增益平坦滤波器 193 vl{G;[6 8.38 啁啾反射镜 1 196 1D6F
WYV8 8.39 啁啾反射镜2 198 HoIK^t~VT# 8.40 啁啾反射镜3 199 ph;ds+b 8.41 带保护层的铝膜层 200 ~x:B@Ow 8.42 增加铝反射率膜 201 y p}a&Dg 8.43 参考文献 202 iksd^\]f 9 多层膜 204 lLb"><8a 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 G{ 9p.Q 9.2 内部透过率 204 tTzPT< 9.3 内部透射率数据 205 sKvz<7pag 9.4 实例 206 k_^|%xJ 9.5 实例2 210 0"*!0s~
9.6 圆锥和带宽计算 212 bCv^za]P6 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Sas&P:#r 10 光学薄膜的颜色 216 ZT\=:X*e 10.1 导言 216 aOj(=s 10.2 色彩 216 W.fsW<{4j 10.3 主波长和纯度 220 Vlk] 10.4 色相和纯度 221 -f+U:/'.>v 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 QR+{Yp 10.6 色差 226 91
] "D;NN 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 _.ny<r:g 10.8 颜色渲染指数 234 _wC4n }J 10.9 色差计算 235 ]CFh0N|(L 10.10 参考文献 236 /Lf+*u>" 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 <d$L}uQwg 11.1 短脉冲 238 SP,#KyWP0) 11.2 群速度 239 zO)>(E? 11.3 群速度色散 241 OqaVp/, 11.4 啁啾(chirped) 245 Y_H|Fl^ 11.5 光学薄膜—相变 245 <K$X>&Ts 11.6 群延迟和延迟色散 246 >8pmClVvmR 11.7 色度色散 246 5L'bF2SI 11.8 色散补偿 249 jP]I>Tq 11.9 空间光线偏移 256 VeJM=s.y7 11.10 参考文献 258 Bbb_}y|CA 12 公差与误差 260 <0Mc\wy 12.1 蒙特卡罗模型 260 lO Rym:P 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Jj~c&LxrO 12.2.1 误差工具 267 )<.BN
p 12.2.2 灵敏度工具 271 {iyO96YI[^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 C;u8qVI 12.2.2.2 灵敏度分布 275 L=7U#Q/DE 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ,}("es\b 12.3 参考文献 276 cZ!%#Az 13 Runsheet 与Simulator 277 @+9x8*~S' 13.1 原理介绍 277 /GzA89N( 13.2 截止滤光片设计 277 ]w3-No 14 光学常数提取 289 <`B4+:;w6 14.1 介绍 289 *bl*R'; 14.2 电介质薄膜 289 U_ -9rkUa 14.3 n 和k 的提取工具 295 0X`sQNx 14.4 基底的参数提取 302 f`8]4ms" 14.5 金属的参数提取 306 [@l:C\2 14.6 不正确的模型 306 7 +RsZu 14.7 参考文献 311 DE{tpN 15 反演工程 313 muAI$IRR 15.1 随机性和系统性 313 36NENzK 15.2 常见的系统性问题 314 rQ^X3J*` 15.3 单层膜 314 w3,1ImrXp 15.4 多层膜 314 J?yNZK$WqN 15.5 含义 319 f{b$Y3 15.6 反演工程实例 319 P,$|.pd' 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _1s\ztDpw 15.6.2 反演工程提取折射率 327 '8auj 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 PRs[!EB6 16.1 光学性质的热致偏移 329 [7K-L6X 16.2 应力工具 335 q'07 16.3 均匀性误差 339 kIm)Um 16.3.1 圆锥工具 339 Ur`jmB 16.3.2 波前问题 341 ,qx;kJJ 16.4 参考文献 343 0@FZQ$- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 8{m5P8w' 17.1 引言 345 l5> H\ 17.2 操作数 345 $.a4Og2 18 如何在Function中编写脚本 351 hdi/ k!9[\ 18.1 简介 351 eV?._-G 18.2 什么是脚本? 351 cJ6n@\ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 `}b#O}z)^ 18.4 基础 352 e|`QW|9 . 18.4.1 Classes(类别) 352 NTnjVU
} 18.4.2 对象 352 >)/,5VSE 18.4.3 信息(Messages) 352 C^}2::Qu 18.4.4 属性 352 X~aD\%kC7 18.4.5 方法 353 j}0W|* 18.4.6 变量声明 353 `zr%+ 18.5 创建对象 354 9t
3mU: 18.5.1 创建对象函数 355 a/9R~DwN 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 XZ@;Tyn0, 18.5.3 丢弃对象 356 Kt(Z&@ 18.5.4 总结 356 tBtG- X2 18.6 脚本中的表格 357 QB<9Be@e 18.6.1 方法1 357 ~Rs_ep'+Q2 18.6.2 方法2 357 a3&&7n 18.7 2D Plots in Scripts 358 hAPWEh^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 Kq`C5 18.9 注释 360 %i7bkdcwk 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 yPgDb[V+ 18.11 一个更高级的脚本 362 %J*z!Fe8s 18.12 <esc>键 364 D1&%N{ 18.13 包含文件 365 *O>OHX 18.14 脚本被优化调用 366 ogcEv>0 18.15 脚本中的对话框 368 `$IuN* 18.15.1 介绍 368 M;BDo(1 18.15.2 消息框-MsgBox 368 &WSxg&YG)\ 18.15.3 输入框函数 370 zJp}JO 18.15.4 自定义对话框 371 W`baD!* 18.15.5 对话框编辑器 371 hXsd12 18.15.6 控制对话框 377 %/l9$>{ 18.15.7 更高级的对话框 380 }gk37_}X\I 18.16 Types语句 384 xc%\%8C} 18.17 打开文件 385 P@gVzx)M 18.18 Bags 387 ^DL}J>F9G 18.13 进一步研究 388 s
"KPTV 19 vStack 389 L* k[Vc 19.1 vStack基本原理 389 ?(9/V7HQ.5 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :r?gD2q 19.3 五棱镜 393 "62vwWrwO 19.4 光束距离 396 <h(KIY9T 19.5 误差 399 7H$0NMP 19.6 二向分色棱镜 399 `[hc{ynO| 19.7 偏振泄漏 404 }T@^wY_Ow 19.8 波前误差—相位 405 nXgnlb= 19.9 其它计算参数 405 )E--E+j 20 报表生成器 406 3F5Y#[L` 20.1 入门 406 'j^A87\M_ 20.2 指令(Instructions) 406 ` ZO#n 20.3 页面布局指令 406 hT`kma 20.4 常见的参数图和三维图 407 p2]@yE7w 20.5 表格中的常见参数 408 +.Pv:7gh 20.6 迭代指令 408 +mM=`[Z`?? 20.7 报表模版 408 /.Yf&2X\ 20.8 开始设计一个报表模版 409 6jv_j[[ 21 一个新的project 413
9"KO!w 21.1 创建一个新Job 414 ?hpT"N,hF9 21.2 默认设计 415 !N\<QRb\q 21.3 薄膜设计 416 pGQP9r% 21.4 误差的灵敏度计算 420 m3Mo2};? 21.5 显色指数计算 422 T&M*sydA 21.6 电场分布 424 j]-0m4QF 后记 426 tDWW
4H 有兴趣可以扫码加微咨询[attachment=128443] &`#k1t'
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