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infotek 2024-05-06 07:54

构造二维周期性光栅结构

复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 #@<9S{F  
• 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 =[b)1FUp  
• 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。 [sB 9gY(  
UMAgA!s  
初始化光栅工具箱 2hzsKkrA {  
• 初始化 ,) J~,^f6  
− 开始菜单栏 (Start) X}+>!%W!}  
光栅菜单栏(Grating)  /c uLc^(X  
通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) EoK~S\dS  
• 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅, 0c}  }Q  
可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 vZ.x{"n'~  
图(三维光栅)(Pillar Grating Light 0 $,SF3K  
Path Diagram(3D Gratings)) uj :%#u  
y;s`P .  
设置光栅结构 v`M3eh@$A  
ZYC<Wb)I  
• 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 Djg,Lvhm  
• VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 4$P0:  
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
tQS5hwm*  
• 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。 )c `7( nY  
基于材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅) l1f\=G?tmU  
堆栈编辑器 ?Y@N`S  
q FAT]{{  
在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 )jt #=9ZQ  
• 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。 Z]B~{!W1  
6oGYnu;UZ  
两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 <yd{tD$A*  
• 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质 gP;&e:/3  
1fpQLaT  
• 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 r,h%[JKM  
• 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 u:=7l  
• 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 3.*8)NW  
• 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 0N $v"uX@  
(颜色越深,折射率越高)。 1,% R;7J=g  
• 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
XT4{Pe7{[P  
0$ S8 fF@  
• 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 x^y'P<ypw  
• 选中的界面会以红色突出显示。 ev*k*0  
• 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指 Dy:|g1>  
最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 z*a:L}$  
• 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
]x(!&y:h  
c9&xe"v  
• 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 0@%v1Oja  
• 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。 R}!:'^  
• 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 TA4!$7b$  
• 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。 lE4HM$p   
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