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infotek 2024-05-06 07:54

构造二维周期性光栅结构

复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 {cYS0%Go  
• 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 =Eh~ wm  
• 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。 E\X:VQ9  
3fb"1z#  
初始化光栅工具箱 `!JcQ'u  
• 初始化 l1EI4Y9KG  
− 开始菜单栏 (Start) `L. kyL  
光栅菜单栏(Grating)  2brxV'tk  
通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) TsvF~Gdp  
• 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅, 7a0kat '\  
可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 xv+47.?N  
图(三维光栅)(Pillar Grating Light 8,l~e8&  
Path Diagram(3D Gratings)) zS6oz=  
t& *K  
设置光栅结构 uxKj7!(#  
SGp}(j>  
• 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 ;:%*h2  
• VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 "s6\l~+9l  
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
qrK\f  
• 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。 pSzO )j  
基于材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅) ';\v:dP  
堆栈编辑器 BwpSw\\?@  
;ye5HlH}.  
在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 y>5??q  
• 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。 ^`MGlI}   
sgc pH  
两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 T=kR!Gx  
• 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质 T08SGB]  
v{T%`WuPRf  
• 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 9Sy|:J0  
• 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 |@+/R .l  
• 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 DC-tBbQkk  
• 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 }C<<l5/ z  
(颜色越深,折射率越高)。 SdJGhU  
• 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
RdirEH *H  
3Aqw )B'"_  
• 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 Sp2<rI  
• 选中的界面会以红色突出显示。 3om_Z/k  
• 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指 Si:$zGL$(  
最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 ],3#[n[ m  
• 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
3rUuRsXn  
.:nV^+)  
• 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 \D<w:\P  
• 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。 y-/,,,r  
• 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 \%! t2=J!  
• 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。 QR#L1+Hn  
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