共聚焦扫描显微镜的工作原理

gHrs|6q9   摘要 ` 3qf}=Z`   m- vn5OX   共聚焦扫描显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得专利，后来又以采用激光作为光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向分辨率和对比度。 在本例中，我们在VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属光栅作为测试对象来演示其工作原理。 H@=oVyn/   K8;SE!   建模任务 <\~v$ =G   ,PTM'O@aU#   共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的功率变化？ %o0b~R   Fo.Y6/}   焦点区域的探测场 /\w4k   4]h/t&ppq   pj$JA   测试对象的直接反射 <+oh\y16   rx1u*L   J:yv82   测试对象的直接反射 pCs3-&rI3   |Vx[   }qn>#ETi   测试对象的像 ,t9EL 21   ez,.-@O   ,|:.0g[n   测试对象的像 8tx*z"2S   eiKY az   "lh4Vg\7n   功率测量与测试对象的横向偏移   ^k=<+*9

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