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2024-04-11 08:02 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 Q(x/&]7=V
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 `]a0z|2'!
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设计任务 F3L+X5D.yu
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1级参数优化 d\2 5
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结果-容差分析 %p qB/
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结果-容差分析 amQTPNI
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VirtualLab Fusion一瞥 cIcu=U
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Vhr 6bu]
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构建光栅结构 ;>S|?M4GZ
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] be $']}cP
−倾斜光栅高级设定[用例] IW-|"5?9'
•光栅衍射效率分析 2+Oz$9`.
−光栅阶序分析器[用例] n{&;@mgI
•使用参数优化进行光栅参数优化 b=U3&CV9
•使用参数运行的容差分析 *2rc Y
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VirtualLab Fusion技术 yH>C7M7 t
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