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2024-04-11 08:02 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 49S*f 1.p2{ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 9z>I&vcX B!: %^S [attachment=127826] kY d'6+m YC(7k7 设计任务 tf?syk+jB7 f;os\8JdM [attachment=127827] B",5"'id CG@3z@*?. 1级参数优化 d.wu r@e/< | |