| infotek |
2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 q,3;m[c A
D>!6,m2
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 N<L`c/
tL+OCLF;
[attachment=127807] B<~U3b
:Yj) CGl$
建模任务 ZK'-U,Y.H7
'/I: ^ 9
[attachment=127808] "z*:'8;E
概述 4W#E`9
6u
HSIv Whg?p
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )*5G">) )p
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [, aqQ6S
+]@Az.E
[attachment=127809] iHp\o=#
nCKbgM' "
光线追迹仿真 pfd# N[c
=]>NDWqpHN
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6UE(f@
•单击go！ "|m|E/Z-9
•获得了3D光线追迹结果。 =D^TK-H
;_:Oo l,
[attachment=127810] dtAbc7
RA jkH`
光线追迹仿真 WM)F0@"
+}
mk>e/
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 i%#$*
•单击go！ M/*NM= -a
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 pX=,iOF[I
z\/5 3Sy<
[attachment=127811] ba3-t;S
{$M;H+Foh
场追迹仿真 ]/T -t1D
!?[oIQ)h
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $A}QY5`+~S
•单击go！ B/"2.,
*g;-H&`
[attachment=127812] f '6|OsVQ
1IgHc.s
场追迹仿真（相机探测器） Z7jX9e"L
A7P`lJgv
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -n*;W9
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 T!Sj<,r+j
\nqo%5XL
[attachment=127813] }xlKonk
&D#+6M&LK{
场追迹仿真（电磁场探测器） Z v0C@r
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x "(9II*
K<v:-TjQZ:
[attachment=127814] e(1k0W4 B
?G? gy2
场追迹仿真（电磁场探测器） m h;X~.98
>m _v5K
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iS@\ =CK
e@F|NCQ.9
[attachment=127815]
|
|