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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 '/U[ ui0{ _x 'R8/ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 `,d*> SV16]Vc [attachment=127807] h`dtcJ0 "Wr5:T-; 建模任务 [hA%VF.9 s42M[BW] [attachment=127808] y0cHs|8 概述 *JE%bQ2Q <uUQ-]QOIh •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S-{[3$ •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R;&C6S km2('t7? [attachment=127809] D].!u{## tGnBx)J| 光线追迹仿真 aAZS^S4v S[!K •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =LV7K8FSd •单击go! /^^t>L •获得了3D光线追迹结果。 ,d n9tY3 gRv5l3k [attachment=127810] e5KsKzu a J$ 光线追迹仿真 CY#|VE M t!QuM_i3 •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &C<K|F!j! •单击go! z(2pl} •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 B*7Y5_N 73B,I 0U [attachment=127811] eznt "Rr2 &v|Uy}h&%1 场追迹仿真 E^w2IIw Q\Dx/?g!vx •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 .?R~!K{` •单击go! K}"xZy Tm1 P'.MwS [attachment=127812] uKc x$ [P.M>"c\ 场追迹仿真(相机探测器) 0fwmQ'lW( twElLOE •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 n&ZArJ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 g^|}e? u(l[~r>8W; [attachment=127813] d%_=r." Y #\s*>Z 场追迹仿真(电磁场探测器) C'&)""3d •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 VuA7rIF$66 +v.uP [H [attachment=127814] "%fh`4y3\
"1O!Ck_n 场追迹仿真(电磁场探测器) abiZ"?( hkV;(Fr&z •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &_Kb;UVRj e$]` [attachment=127815]
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