| infotek |
2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 z|Xt'?9&n
x B?! nd
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Qw F.c28[
:D>flZi
[attachment=127807] {ehYE ^%N
b NtO qhi
建模任务 iEy2z+/"^
d(9Sk Xr
[attachment=127808] v<g#/X8
概述 R`@7f$;wG
K:Z, 4Y
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7Wiwnv_"
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?qn4 ea-\P
F8{T/YhZ
[attachment=127809] v p d!|/
kI5LG6
光线追迹仿真 <Nc9F['&#
`ZP[-: `
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 XuZgyt"=r
•单击go！ Y2 N$&]O{
•获得了3D光线追迹结果。 L=s8em]7l
/w2IL7}
[attachment=127810] dr(e)eD(R>
S_VzmCi
光线追迹仿真 @w P .Rd
2!{_x8,n
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 R_Bf JD .
•单击go！ BCd0X. m(
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 gB,Q4acjj
9+5F(pd(
[attachment=127811] [`KQ \4u
7Bf4ojKt
场追迹仿真 =U:]x'g(
U^-J _ yq
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 pH@yE Vf
•单击go！ T).}~ i;!
`<Hc,D; p
[attachment=127812] }:0HM8B7!
wc~ 9zh
场追迹仿真（相机探测器） TF h Yu
AJRiwP|H+
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 td#m>S
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 b~8&P_
YsO`1D
[attachment=127813] >S ?7-2X
: R8+jO
场追迹仿真（电磁场探测器） u/\Ipk/
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~H]d9C
dQ<e}wtg
[attachment=127814] kQ)2DCb dn
=)]RD%Oq
场追迹仿真（电磁场探测器） ^1--7#H
2"Y=*s
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 BTE&7/i 21
6b!1j,\Vx
[attachment=127815]
|
|