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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 BM& 95p
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 B -|:l 7
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建模任务 ?W1(
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概述 IX']s;b
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 o?b$}Qrl
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M '$n".,p
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光线追迹仿真 xV}E3Yj2#
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (WCpaC
•单击go！ K;,n?Q w
•获得了3D光线追迹结果。 Z 3m5D K
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光线追迹仿真 l6:k|hrm;
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 CSRcTxH
•单击go！ ]BP"$rs
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K!7o#"GM
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场追迹仿真 7C9qkQ
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2 .p7fu
•单击go！ Xnt`7L<L
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场追迹仿真（相机探测器） ZtlF]k:MV
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'M=( 5p
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 kn 5q1^
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场追迹仿真（电磁场探测器） QxwZ$?w%
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1 9$ufod
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场追迹仿真（电磁场探测器） TW(rK&
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W#$ pt>h)
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