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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 {HJ`%xN|
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 z?) RF[
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建模任务 6_}){ZR
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概述 &8YI)G%
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 NVh>Q>B$_
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^)P5(fJ
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光线追迹仿真 ppo$&W
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ` r0
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•单击go！
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•获得了3D光线追迹结果。 ^A$XXH '
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光线追迹仿真 U,3K6AZA 7
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 MKYE]D;
•单击go！ K~~*M?.Z
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [-94=|S @
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场追迹仿真 ~ilBw:L- 3
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ]qG5 Ne _
•单击go！ G/;aZ
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场追迹仿真（相机探测器） "YU~QOGx@
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -r0 \
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6#63D>OWp
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场追迹仿真（电磁场探测器） +GtGyp
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %SFR.U0}yK
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场追迹仿真（电磁场探测器） KvOI)" 0(
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qCT \rZU
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