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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 x&J\ swN9
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3
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建模任务 oB!Y)f6H1
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概述 e0TxJ *
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 mzM95 yQ^Z
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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光线追迹仿真 u"oO._a(
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 tb oQn~&4
•单击go！ b'SP, }s5"
•获得了3D光线追迹结果。 3^&`E} r
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光线追迹仿真 KI#v<4C$P
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 SX'NFdY
•单击go！ R#ZJLT
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ]D5Maid+
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场追迹仿真 Z@x&
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iNl<<0a
•单击go！ (i(E~^O
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场追迹仿真（相机探测器） D}}?{pe
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 bG"FN/vg
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 kk<%VKC
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场追迹仿真（电磁场探测器） + PsR*T
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N lm }'Xt
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[attachment=127814] +,R!el!o~u
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场追迹仿真（电磁场探测器） 6A5.n?B{
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |zfFB7}v
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[attachment=127815]
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