| infotek |
2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 $
M8ZF(W
TSPFi0PP
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ck ;>9>
Kj+=?R~}S
[attachment=127807] k M>Bk \
]'%Z&1 w
建模任务 T*'?;u
7E}. P1
[attachment=127808] -*QxZiKD
概述 x U1](O
Mjr19_.S
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,Zs "r}G^
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1lf 5xm.
V7pe|]%r
[attachment=127809] 5VXI/Lw#
6y4&nTq[
光线追迹仿真 L +rMBa
oU`J~6.&S
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Uql|32j
•单击go！ '%} k"&t$i
•获得了3D光线追迹结果。 ]l~TI8gC
z(yJ/~m
[attachment=127810] e=yQFzQT)
SMMs XH
光线追迹仿真 jEkO #xI
R}S@u@mOE
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >;9+4C<z0
•单击go！ pm.Zc'23
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 x)h|!T=B~
`wzb}"gLsM
[attachment=127811] z3\WcW7|
Hfw*\=p
场追迹仿真 n*Q~< `T
Qel2OI `b
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 LZ ?z5U:
•单击go！ vs`"BQYf
oQ=v:P]
[attachment=127812] xlW`4\ Pa
V2 &O ]bR
场追迹仿真（相机探测器） VXM5
B
bJ$6[H-:
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 KO ~_
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4=T.rVS[
?aMV{H*Q*
[attachment=127813] 3 kc.U
@`,~d{ziF
场追迹仿真（电磁场探测器） HoTg7/iK
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
dkr[B' n
.o._`"V
[attachment=127814] p,)~w1|
9;L5# /E
场追迹仿真（电磁场探测器） Exy|^Dr 0
zn=I fz)#|
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jIzkI)WC|
\ fk%^1XY
[attachment=127815]
|
|