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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 W HZe)|n
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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建模任务 CpBQ>!CW
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概述 '8]|E
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 TmRrub
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I ,?Fqg'sq
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光线追迹仿真 +?4*,8Tmmz
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hY4)W
•单击go！ I;bg?RsF
•获得了3D光线追迹结果。 ~;!i)[ -
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光线追迹仿真 )<H
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 b#/V ;
•单击go！ 4iL.4Uj{N
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ( ;Dn%kK
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场追迹仿真 ,=q7 }5o Y
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 v4Fnh`{
•单击go！ \\E_W9.u
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场追迹仿真（相机探测器） 32)&;
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @+T{M:&l
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Qzs\|KS
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场追迹仿真（电磁场探测器） 5{!a+
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;/hH=IT
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场追迹仿真（电磁场探测器） &EbD.>Ci
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i\DHIzGp[
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