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infotek 2024-04-11 07:55

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 GQZUC\cB  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 5,((JxX$  
I.<#t(io  
[attachment=127807] n{yjH*\Z  
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建模任务 ]/'] {*T1  
Q}T9NzOH%  
[attachment=127808] ,i,=LGn  
概述 T7Ac4LA  
({9!P30:  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I{PN6bn{>  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u@E M,o  
!T~d5^l!  
[attachment=127809] lBdF9F<  
_2Z3?/Y  
光线追迹仿真 ]`XuE-Uh  
v^pP& <G  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Sv@p!-m  
•单击go! h;KK6*Z*$E  
•获得了3D光线追迹结果。 d"UW38K{  
Fzs'@*  
[attachment=127810] \ c&)8.r  
0Y 2^}u@5  
光线追迹仿真 n y)P  
%6'D!H?d  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0gD0}nH  
•单击go! tJPRR_nZv  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 77d`N  
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[attachment=127811] 'kvFU_)  
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场追迹仿真 \]A;EwC4C  
QCfpDE}  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 y9li<u<PF  
•单击go! vGwD~R  
YB~t|m65  
[attachment=127812] m`IQ+, e  
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场追迹仿真(相机探测器) cC^C7AAq^  
|QOJ9~hxD  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *P R_Y=v%  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 J%:/<uCmZ  
Rgfhs[Z  
[attachment=127813] 0nn]]B@l  
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场追迹仿真(电磁场探测器) V9j1j}  r  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MJKl]&  
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[attachment=127814] 'gZbNg=&[  
gMBQtPNM  
场追迹仿真(电磁场探测器) CLY6 YB' R  
fb"J Bc}X  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i<wU.JX&h  
P"9@8aLB  
[attachment=127815]
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