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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 C 7YS>?^]
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 7loWqZ
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建模任务 +k0UVZZX?
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概述 Ylgr]?Db*
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #F6M<V'
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lsgZ
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光线追迹仿真 : ?>yi7w
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 y I[kaH"J
•单击go！ Z4m+GFY
•获得了3D光线追迹结果。 V >~\~H2Y
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[attachment=127810] LC e6](Z
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光线追迹仿真 J0o,ZH9
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 pIKfTkSqH
•单击go！ Z2-"N B
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #T 8Pgm R
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场追迹仿真 jHV)
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Pj5:=d8z(
•单击go！ ~ K
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场追迹仿真（相机探测器） ( -@I'CFd
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 h dqr~9
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 OU*skc>
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场追迹仿真（电磁场探测器） &egP3
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r&~]6
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场追迹仿真（电磁场探测器） }n
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Yqv!ZJ6
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[attachment=127815]
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