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infotek 2024-04-11 07:55

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 3s"x{mtH  
tK0?9M.)  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ?9.SwIxU&  
Bh<)e5lP:  
[attachment=127807] um ,Zt  
?bW|~<X~  
建模任务 ~:v" TuuK  
3y<;fdS7  
[attachment=127808] g"^<LX-  
概述 9*U3uyPi  
m&cVda/  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^pIT,|myY7  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @LqLtr@A  
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[attachment=127809] +<7`Gn(n3  
;(5b5PA  
光线追迹仿真 cl/}PmYIZ  
N8_ c%6GE  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `2( )Vf  
•单击go! Y?ouB  
•获得了3D光线追迹结果。 #Fm,mO$v  
7G z f>n  
[attachment=127810] #+>8gq^5  
+a0q?$\  
光线追迹仿真 / p}^ Tpu  
o)GLh^g_I'  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2= S;<J  
•单击go! tY'fFz^Ho  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 !hdOH3h=  
HN?NY  
[attachment=127811] __O@w.  
DSf  
场追迹仿真 Wo+fMn(O  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jbZ%Y0km%  
•单击go! |L%}@e Vw_  
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[attachment=127812] P+K< /i  
l3[2b Qx  
场追迹仿真(相机探测器) x/7kcj!O  
mhpaPin*JS  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZgarxV*  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 }g&A=u_2  
% s&l^&ux  
[attachment=127813] F5s Pd  
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场追迹仿真(电磁场探测器) \k&2nYVHf  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T8'm{[C  
$S Kax#[  
[attachment=127814] ;=r_R!d@  
RKru hF  
场追迹仿真(电磁场探测器) u2\QhP 9  
oA+/F]XJ  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &puPn:_  
[C@ |q Ah  
[attachment=127815]
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