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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 [:nx);\
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 GP[6nw_'^
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建模任务 RHwaJ;:)#
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概述 >: F,-cx<
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gf68iR.Gs
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $5TepH0D
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光线追迹仿真 {J,6iP{>ZN
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *'9)H 0
•单击go！ 2E`~ qn
•获得了3D光线追迹结果。 ~Na=+}.q_
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光线追迹仿真 \4h>2 y
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 H+4=|mkQ
•单击go！ Sao>P[#x
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $h G;2v
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场追迹仿真 c%|vUAq*
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 i(Ip(n
•单击go！ _ Ry_K3K
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场追迹仿真（相机探测器） Ya}T2VX
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 NTqo`VWe
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +"]oc{W!
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场追迹仿真（电磁场探测器） \ Ut6;
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )-=2w-ZX
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场追迹仿真（电磁场探测器） H76E +AY
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `vudS?
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[attachment=127815]
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