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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 0NB6S&lI^k
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "3*Chc
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建模任务 -k
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概述 .3%eSbt0
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 q9RCXo>Y+1
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 28;D >6c
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光线追迹仿真 zv]-(<B
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~EIY(^|py
•单击go！ mAFqA
•获得了3D光线追迹结果。 n<p`OKIV3
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光线追迹仿真 bh &,*Y6=
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~pn9x;N%H
•单击go！ 2h V#3i
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 w| x=^
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场追迹仿真 >w jWX{&?
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !Zb NW4rIP
•单击go！ 0K 'lr;
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场追迹仿真（相机探测器） zh'TR$+\hO
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 a\\B88iRRZ
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 sJX/YG Ht
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场追迹仿真（电磁场探测器） g/so3F%v
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S(5.y%"<
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场追迹仿真（电磁场探测器） 5oplV(<?*S
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z.eqOPW
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