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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 <1%$Vq
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6^Sa;
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建模任务 c "Sq~X
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[attachment=127808] 1 .X @;
概述 }75e:w[
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qFNes)_r
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9/7u *>:
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光线追迹仿真 Rh |nP&6
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *,m;
•单击go！ F>cv<l
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•获得了3D光线追迹结果。 *:NQ&y*uj
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光线追迹仿真 {_Gs *<.
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h@h! ,;
•单击go！ IMfqiH)
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (~en (
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场追迹仿真 LrK,_)r:~
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M xG W(p
•单击go！ hG:|9Sol,
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场追迹仿真（相机探测器） 2"S}bfrX
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 TuY CR>P[
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 d'I" jZ
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场追迹仿真（电磁场探测器） ?NP1y9Y]i
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _{Hj^}+$
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场追迹仿真（电磁场探测器） 0<B$ #8
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q1l ' 7N
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[attachment=127815]
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