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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 -Cj_B\
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 IA4+ad'\E
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建模任务 8kbBz
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概述 x(6vh2#v D
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @zs1>\J7
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 YX `%A6
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光线追迹仿真 9Z9l:}bO
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Y UZKle
•单击go！ \*9Ua/H
•获得了3D光线追迹结果。 4
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光线追迹仿真 jNqVdP]d\
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;(`e^I Vf
•单击go！ f -]><z
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ]c,l5u}A$
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场追迹仿真 R }.3|0
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 HYFN?~G
•单击go！ M)tv;!eQ
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场追迹仿真（相机探测器） :4] J2U\@
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'M
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 XP4jZCt9
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场追迹仿真（电磁场探测器） E7gL~4I
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tUrNp~ve,
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场追迹仿真（电磁场探测器） ,=x
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M .t@@wq
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