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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 `+T"^{
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |#O>DdKHT
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建模任务 6Iv &c2
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概述 X:OU u;
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |Y;[)s =q
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "l-R|>6~
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[attachment=127809] 0-I L@Di`F
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光线追迹仿真
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8/ PS# dM\
•单击go！ h5
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•获得了3D光线追迹结果。 h9l 6AnbJ
)8JM.:,
[attachment=127810] LCemM; o
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光线追迹仿真 AP/# ?
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 t,30 8Z
•单击go！ 5/m}v'S%
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 g,}_&+q:.M
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场追迹仿真 ow K)]t
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 x^)W}p"
•单击go！ a<l DT _2b
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场追迹仿真（相机探测器） ygYy [IZ
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 cSYMnB
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 tYCVVs`?
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场追迹仿真（电磁场探测器） > - U+o.o
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t_jnp $1m
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[attachment=127814] 8\Hz FB
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场追迹仿真（电磁场探测器） v:]z -zU
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )8;At'q}
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[attachment=127815]
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