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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 @@ Q4{o
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 b^W&-Hh
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建模任务 yhH2b:nY(9
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概述 :|j[{;asY
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kepuh%KY[
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +Y?T r i
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光线追迹仿真 Z!v,;MW
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^A ]4
•单击go！ ~A0AB
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•获得了3D光线追迹结果。 ?qQ{]_q1&.
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光线追迹仿真 G]B0LUT6c
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?c.\\2>|F
•单击go！ U`*we43
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 | 6 AR!
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场追迹仿真 u8"s#%>N y
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 hTBJ\1
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•单击go！ % 3#g-
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场追迹仿真（相机探测器） uNf'Zeo
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6UI S4 _
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场追迹仿真（电磁场探测器） 55v=Ij?M
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z@q1&}D!
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5+GTK)D
场追迹仿真（电磁场探测器） jzi%[c<G
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ufR|V-BWx
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[attachment=127815]
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