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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 u{ 5+hZ
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Wgb L9'}B
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建模任务 OBL2W\{
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概述 MJ<jF(_=
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _B7+n"t\r
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2:G/Oj h&]
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光线追迹仿真 _~bG[lX !
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 W~j >&PK,?
•单击go！ YK>?;U+|
•获得了3D光线追迹结果。 ..Bf-)w
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光线追迹仿真 y' C
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Axw+zO
•单击go！ ,j(S'Pw
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 J+m1d\l Bu
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场追迹仿真 _2X6c,
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 La$?/\Dv)
•单击go！ xM?tdQ~VHY
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场追迹仿真（相机探测器） ` 5S Q4
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 lX64IvG8+o
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 <OTx79m
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场追迹仿真（电磁场探测器） d "25e"(~F
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )i<Qg.@MX
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场追迹仿真（电磁场探测器） !d &SVS^mo
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (Q"~bP{F
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