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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 VRg
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H- eHX3c7
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建模任务 gCbS$Pw
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[attachment=127808] 34L1Gxf
概述 Dy{lgT 0k
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xEufbFAN?
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k|$?b7)"@
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光线追迹仿真 .u]d5z
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Sx1OY0)s
•单击go！ z~ ua#(z1S
•获得了3D光线追迹结果。 2_TFc2d
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[attachment=127810] Z7k ku :9
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光线追迹仿真 u[nLrEnD
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 cGlpJ)'-{
•单击go！ c7nbHJi
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 DX ZZZ[#
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场追迹仿真 BE!l{
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 D-e?;<
•单击go！ 3CPSyF
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场追迹仿真（相机探测器） V;hO1xfR3&
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fh` }~ aQ
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 x+v&3YF
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场追迹仿真（电磁场探测器） Iu^I?c[
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WA.c .{w\
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[attachment=127814] cv. j
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场追迹仿真（电磁场探测器） <YrsS-9
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #"C!-kS'=
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[attachment=127815]
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