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infotek 2024-04-11 07:55

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 '/U[ ui0{  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 `,d*>  
SV16]Vc  
[attachment=127807] h`dtcJ0  
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建模任务 [hA%VF.9  
s42M[BW]  
[attachment=127808] y0cHs|8  
概述 *JE%bQ2Q  
<uUQ-]QOIh  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S-{[3$  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R;&C6S  
km2('t7?  
[attachment=127809] D].!u{##  
tGnBx)J|  
光线追迹仿真 aAZS^S4v  
 S[!K  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =LV7K8FSd  
•单击go! /^^t>L  
•获得了3D光线追迹结果。 ,dn9tY3  
gRv5l3k  
[attachment=127810] e5KsKzu a  
J$  
光线追迹仿真 CY#|VE M  
t!Q uM_i3  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &C<K|F!j!  
•单击go! z(2pl}  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 B*7Y5_N  
73B,I 0U  
[attachment=127811] eznt "Rr2  
&v|Uy}h&%1  
场追迹仿真 E^w2IIw  
Q\Dx/?g!vx  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 .?R~!K{`  
•单击go! K}"xZy Tm1  
P' .MwS  
[attachment=127812] uKc x$  
[P.M>"c\  
场追迹仿真(相机探测器) 0fwmQ'lW(  
twElLOE  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 n&ZA rJ  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 g^|}e?  
u(l[~r>8W;  
[attachment=127813] d%_=r." Y  
#\s*>Z  
场追迹仿真(电磁场探测器) C'&)""3d  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 VuA7rIF$66  
+v.uP [H  
[attachment=127814] "%fh`4y3\  
"1 O!Ck_n  
场追迹仿真(电磁场探测器) abiZ"?(  
hkV;(Fr&z  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &_Kb;UVRj  
e$]`  
[attachment=127815]
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