infotek |
2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 GQZUC\cB 8say"Qz 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 5,((JxX$ I.<#t(io [attachment=127807] n{yjH*\Z 4yM8W\je 建模任务 ]/']{*T1 Q}T9NzOH% [attachment=127808] ,i,=LGn 概述 T7Ac4LA ({9!P30: •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I{PN6bn{> •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u@EM,o !T~d5^l! [attachment=127809] lBdF9F< _2Z3?/Y 光线追迹仿真 ]`XuE-Uh v^pP&
<G •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Sv@p!-m •单击go! h;KK6*Z*$E •获得了3D光线追迹结果。 d"UW38K{ Fzs'@* [attachment=127810] \ c&)8.r 0Y2^}u@5 光线追迹仿真 n y)P %6'D!H?d •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0gD0}nH •单击go! tJPRR_nZv •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
77d`N ;x^,t@ xge [attachment=127811] 'kvFU_) Td1ba ^J 场追迹仿真 \]A;EwC4C QCfpDE} •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 y9li<u<PF •单击go! vGwD~R YB~t|m65 [attachment=127812] m`IQ+,e m8j-lNu 场追迹仿真(相机探测器) cC^C7AAq^ |QOJ9~hxD •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *P R_Y=v% •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 J%:/<uCmZ Rgfhs[Z [attachment=127813] 0nn]]B@l ]p&< nK, 场追迹仿真(电磁场探测器) V9j1j}
r •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MJKl]& mzE$aFu8 [attachment=127814] 'gZbNg=&[ gMBQtPNM 场追迹仿真(电磁场探测器) CLY6 YB' R fb"J Bc}X •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i<wU.JX&h P"9@8aLB [attachment=127815]
|
|