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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 =.f-w0V
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4B =7:r
*4Thd:7 `
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建模任务 `#F{Waww'
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[attachment=127808] 591>rh )
概述 VRWAm>u
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 LSa,1{
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Q] Y* K
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[attachment=127809] 1an^1!
3oGt3 F{gZ
光线追迹仿真 :q$.,EZ4#n
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4IB9 ,?p
•单击go！ ]fx"4qKM
•获得了3D光线追迹结果。 m ,* QP*
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光线追迹仿真 ]
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?{P"O!I{
•单击go！ #a/5SZP
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 aE`c%T):`
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场追迹仿真 5L+>ewl
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 MW! srTQ_
•单击go！ nHnK)9\ N
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场追迹仿真（相机探测器） j@W. &- _
hv`~?n)D66
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !*s?B L
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~ZmN44?R
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[attachment=127813] JmF l|n/H
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场追迹仿真（电磁场探测器） eV 2W{vuI
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #ZJ _T`l
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场追迹仿真（电磁场探测器） %7"q"A r[
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |8&,b`Gfo
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[attachment=127815]
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