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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 _vLT!y
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 , h`D(,?X
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[attachment=127807] <r`J n49
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建模任务 uv!qE1z@':
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概述 5XUI7Q %
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r8?Lr-;
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~JP zjE
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[attachment=127809] wP1VQUL
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光线追迹仿真 RWQW/Gw x
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 D"f(nVEr
•单击go！ 5nq-b@?L
•获得了3D光线追迹结果。 uBkn y;
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[attachment=127810] /)4r2 x
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光线追迹仿真 ?8}jJw2 H
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 q;Pz B4#
•单击go！ qWRMwvN{
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 k$_]b0D{4
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[attachment=127811] x2wWp-Z
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场追迹仿真 2=M!lB
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 X*"O'XCA
•单击go！ 9d}nyJ
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[attachment=127812] @BhAFv,7
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场追迹仿真（相机探测器） U7eQ-r
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 W3rvKqdw5
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ve^MqW &S
X}Z%@ tL
[attachment=127813] Bcon4
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场追迹仿真（电磁场探测器） i~L7h=__
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v[3sg2.
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[attachment=127814] BniVZC ct
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场追迹仿真（电磁场探测器） obolDh a
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a8aqcDs>O
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[attachment=127815]
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