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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 GQZUC\cB
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5,((JxX$
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建模任务 ]/'] {*T1
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概述 T7Ac4LA
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I{PN6bn{>
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u@E M,o
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光线追迹仿真 ]`XuE -Uh
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Sv@p!-m
•单击go！ h;KK6*Z*$E
•获得了3D光线追迹结果。 d"UW38K{
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光线追迹仿真 n y)P
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0gD0 }nH
•单击go！ tJPRR_nZv
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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场追迹仿真 \] A;EwC4C
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 y9li<u<PF
•单击go！ vGwD~R
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场追迹仿真（相机探测器） cC^C7AAq^
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *P R_Y=v%
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 J%:/<uC mZ
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场追迹仿真（电磁场探测器） V9j1j}
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M JKl]&
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场追迹仿真（电磁场探测器） CLY6 YB' R
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i<wU.JX&h
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