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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 :_!8
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 sC9&Dgkk
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建模任务 E b=}FuV
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[attachment=127808] (SKVuR%Jj
概述 ]X I*Wsn
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u m9_ru~
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FQ=@mjh
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光线追迹仿真 &hRvol\J
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J~#;<e{\"
•单击go！ d/i`l*
•获得了3D光线追迹结果。 (\SA *.)
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光线追迹仿真 qi_Jywd:w
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 TY1I=8
•单击go！ OoWyPdC+P
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 m auI42
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场追迹仿真
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '0FhL)x?"T
•单击go！ U~pV) J
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场追迹仿真（相机探测器） 5-M&5f.
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 SLh (9%S;
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |o\8
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场追迹仿真（电磁场探测器） bFW =ylF9
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $ C `;fA
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场追迹仿真（电磁场探测器） <WcR ,d
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 62Z#Y Q}x
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[attachment=127815]
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