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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 PYWp2V/
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )Zx;Z[
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[attachment=127807] Y]
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建模任务 VNKtJm t
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[attachment=127808] 0N02 E
概述 yhnhORSY;
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n^C o
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^~iu),gu
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[attachment=127809] CjW`c Hd
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光线追迹仿真 0< i]ph
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 d8l T+MS=
•单击go！ 9X<o8^V
•获得了3D光线追迹结果。 c s0;:H*N*
b [}f]pB@n
[attachment=127810] tNsiokOm
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光线追迹仿真 #
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)*!"6d)^
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 JBY`Y ]V3
•单击go！ 3q +C8_:
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 pO^goo V\
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[attachment=127811] Z4+S4cqnh
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场追迹仿真 khS b|mR)
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 HR0t[*
•单击go！ H oA[U T
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[attachment=127812] t^N
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场追迹仿真（相机探测器） k [6%+
d1 &RK2
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *dB^B5
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]xJ5}/
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[attachment=127813] -Ucj|9+(a
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场追迹仿真（电磁场探测器） e+Qq a4
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 n.}A
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[attachment=127814]
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场追迹仿真（电磁场探测器） 2L=+z1%I
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Jxyeh1z qB
p1zT]
[attachment=127815]
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