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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 fC7rs 5
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 lH#C:n
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建模任务 "AcC\iq
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[attachment=127808] XGCjB{IV
概述 tP0\;W
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 K275{ydN
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 nd4Z 5=X
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[attachment=127809] LjEG1$F>
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光线追迹仿真 yRyUOTK
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 e\7AtlW"
•单击go！ # X`t~Y'
•获得了3D光线追迹结果。 C4H $w:bVk
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光线追迹仿真 m<liPl
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E gD$A!6N8
•单击go！ o^8Z cN>
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j' }4ZwEh
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场追迹仿真 %)#yMMhR
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Memb `3
•单击go！ 7I=vgT1F
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场追迹仿真（相机探测器） E@J}(76VS
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +|6E~#zklY
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 JE_ GWgwdv
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场追迹仿真（电磁场探测器） ufB9\yl{~
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %zYTTPLZ
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场追迹仿真（电磁场探测器） hH]oJ}H \
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TdL/tg!
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