| infotek |
2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 S'^ q
!&Q?AS JH
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 DzMg^Kp
i`e[Vwe2x@
[attachment=127807] \"$P :Uv
bK!h{ Rr
建模任务 .'A1Eoo0d
5qH*"i+|s
[attachment=127808] _BA; H+M
概述 ip<VRC5`5
SF-E> s!XL
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~}j +~
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lCUYE"o
)bih>>H
[attachment=127809] {H(l"KuL
(/<Nh7C1c
光线追迹仿真 sQA_ 6]`
OnE%D|Tq=
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 a(6h`GHo
•单击go！ q/zU'7 %@
•获得了3D光线追迹结果。 >U`G3(#7S
C{m%]jKH
[attachment=127810] <A=1]'1\r
?e6>dNw
光线追迹仿真 2?
yo
e(/F:ZEh
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 hsrf 2Xw[
•单击go！ mrR id}2
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >w<w *pC
v=ii S}s
[attachment=127811] UJh ; Hp:
pD({"A.x9z
场追迹仿真 X-nC2[tu'W
W;=Ae~
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2<B'PR-??y
•单击go！ 3%5YUG@
FHU6o910
[attachment=127812] P~{8L.w!>W
2`riI*fQ
场追迹仿真（相机探测器） DqQ p47kp
0D 2I)E72o
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 F4G81^H
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 H}kSXKO8!8
>nSt<e
[attachment=127813] T4wk$R
L
8 O]`3oa>
场追迹仿真（电磁场探测器） 2rT^OGw6
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m=l'9j"D
ciODTq?
[attachment=127814] D {Ol8:
2lsUCQI;
场追迹仿真（电磁场探测器） Bz_'>6w
vb]kh _
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tjFX(;^[
e1-tp D:J
[attachment=127815]
|
|