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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 jp~C''Sj
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &YSjw Rr
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建模任务 XLog+F$`
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概述 R\^n2gK
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &jg..R
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }m`+E+T4
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光线追迹仿真 ,?'":T1[
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 U_X /
•单击go！ l8$7N=Y
•获得了3D光线追迹结果。 #>]o' KQx
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光线追迹仿真 )kBN]>&R
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 VGHy|5K$
•单击go！ A6 D@#(D
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 myR}~Cj;q
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场追迹仿真 wDL dmrB
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B{In
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•单击go！ J:N4F.o&K
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场追迹仿真（相机探测器） zFR=inI
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 O%$XgEJ8p
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 z v Dg1p
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场追迹仿真（电磁场探测器） 4X()D {uR
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "EE=j$8u+
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场追迹仿真（电磁场探测器） NIzx SGk|
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tW=,o&C=
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[attachment=127815]
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