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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 H^s<{E0<
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #MRMNL@
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建模任务 hFH*B~*:#
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概述 g7O qX \
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @>W(1mRi
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 EUN81F?
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光线追迹仿真 Fsif6k=4
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 xwJH(_-
•单击go！ [Pq}p0cD
•获得了3D光线追迹结果。 F W/ W%^
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光线追迹仿真 aC%m- m
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }j*KcB_
•单击go！ QA5Qwe L
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 A-T]9f9
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场追迹仿真 l zYnw)Pv
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1@QZnF5 [
•单击go！ <;#~l*
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场追迹仿真（相机探测器） PzA|t;*
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `eIenA
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m6 ',SY9T
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场追迹仿真（电磁场探测器） WIv?}gi:
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~[\_N \rm
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场追迹仿真（电磁场探测器） 8erS t!oM
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =u+d_'P7-R
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