| infotek |
2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 x&p=vUuukP
_Y~?. hs^
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >0$5H]1u
I<#kw)W!
[attachment=127807] pYQs|5d
Yq.@7cJ
建模任务 M](U"K?
jlZNANR3
[attachment=127808] (ZJ_&8C#
概述 4QDzG~N4)|
M?97F!\U
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v]sGdZ(6-
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O^ hV<+CX
yK;I<8+>_
[attachment=127809] CQ ?|=cN
B5S1F4
光线追迹仿真 U[u6UG
~yg9ZM
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 bSzb! hT`
•单击go！ =#Jb9=zdR
•获得了3D光线追迹结果。 q3t@)+l>*
iBt5aUt
[attachment=127810] g'@+#NMw
XO>Y*7rO
光线追迹仿真 y uq E
Nq8A vBwo4
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >~ : ]+q
•单击go！ uNDkK o<M
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _\zf XHp
L M[<?`%p
[attachment=127811] 'rg V]Oy
hR2. w/2j
场追迹仿真 eX/$[SL[
zjS<e
XLs[
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "`wq:$R
•单击go！ "k/x+%!Spc
NgQl; $
[attachment=127812] / e,lD)
ZBWe,Xvq
场追迹仿真（相机探测器） S3r\)5%;
qYs6P LC
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g}7B0 yo
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9v A`\\9
+J }M$e Q
[attachment=127813] - =Hr|AhE
P#C`/%$ S
场追迹仿真（电磁场探测器） \v<}{\.|$
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >=(e}~5y
iJK 9 -k~
[attachment=127814] =G`m7!Q)
ZL
Aq8X
场追迹仿真（电磁场探测器） h =aHZ6v
T/ov0l_
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i8]r }a
s?G@ k} {
[attachment=127815]
|
|