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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 3s"x{mtH tK0?9M.) 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ?9.SwIxU& Bh<)e5lP: [attachment=127807] u m,Zt ?bW|~<X~ 建模任务 ~:v" TuuK 3y<;fdS7 [attachment=127808] g"^<LX- 概述 9*U3uyPi m&cVda/ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^pIT,|myY7 •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @LqLtr@A Jwgd9a5 [attachment=127809] +<7`Gn(n3 ;(5b5PA 光线追迹仿真 cl/}PmYIZ N8_
c%6GE •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `2()Vf •单击go! Y?ouB •获得了3D光线追迹结果。 #Fm, mO$v 7G zf>n [attachment=127810] #+>8gq^5 +a0q?$\ 光线追迹仿真 /p}^Tpu o)GLh^g_I' •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2= S;<J •单击go! t Y'fFz^Ho •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 !hdOH3h = HN?NY [attachment=127811] __O@w. DSf 场追迹仿真 Wo+fMn(O _[SW8 9zk •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jbZ%Y0km% •单击go! |L%}@e
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Qx 场追迹仿真(相机探测器) x/7kcj!O mhpaPin*JS •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZgarxV* •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 }g&A=u_2 %s&l^&ux [attachment=127813] F5s Pd f2ea|l 场追迹仿真(电磁场探测器) \k&2nYVHf •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T8'm{[C $S Kax#[ [attachment=127814] ;=r_R!d@ RKru
hF 场追迹仿真(电磁场探测器) u2\QhP 9 oA+/F]XJ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &p | |