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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 3s"x{mtH
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?9.SwIxU&
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[attachment=127807] u m ,Zt
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建模任务 ~:v" TuuK
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[attachment=127808] g"^<LX-
概述 9*U3uyPi
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^pIT,|myY7
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @LqLtr@A
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[attachment=127809] +<7`Gn(n3
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光线追迹仿真 cl/}PmYIZ
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `2( )Vf
•单击go！ Y?ouB
•获得了3D光线追迹结果。 #Fm, mO$v
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[attachment=127810] #+>8gq^5
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光线追迹仿真 / p}^ Tpu
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2= S;<J
•单击go！ t Y'fFz^Ho
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !hdOH3h =
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场追迹仿真 Wo+fMn( O
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jbZ%Y0km%
•单击go！ |L%}@e
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场追迹仿真（相机探测器） x/7kcj!O
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZgarxV*
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }g&A=u_2
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[attachment=127813] F5s Pd
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场追迹仿真（电磁场探测器） \k&2nYVHf
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T8'm {[C
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场追迹仿真（电磁场探测器） u2\ QhP 9
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &p uPn:_
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