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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 {13 !vS%5
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >qn/<??
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建模任务 VjbG(nB?_
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概述 0O2 n/`'
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h<p3'
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dl l%4Sd
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光线追迹仿真 l Q*eH1 0H
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 tSv0" L
•单击go！ 3gfimD$ _E
•获得了3D光线追迹结果。 zW4 O4b$T
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[attachment=127810] GVd48 *
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光线追迹仿真 6~5$s1Yc
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #iis/6"
•单击go！ $V 8vrT#:
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K5ZnS`c;
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场追迹仿真 +lp{#1q0
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @?2n]n6
•单击go！ )teFS %
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场追迹仿真（相机探测器） BpT"~4oV5
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sp8[cO=
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {HZS:AV0
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[attachment=127813] F +j O*F2h
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场追迹仿真（电磁场探测器） ]G 1R0 Q
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l L2-.!]R
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[attachment=127814] &d
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场追迹仿真（电磁场探测器） [y{E
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x*mc - &N
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[attachment=127815]
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